ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
上海雙旭ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
上海雙旭ZJ-52T真空規(guī)管是一款基于皮拉尼電阻原理的真空測(cè)量器件，通過(guò)檢測(cè)規(guī)管內(nèi)部熱敏電阻的阻值變化來(lái)反映環(huán)境真空度，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空干燥、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域的真空系統(tǒng)中，為真空度的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)提供穩(wěn)定可靠的信號(hào)輸出。
核心產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)類(lèi)別 |
具體參數(shù) |
| 測(cè)量范圍 |
105 Pa ~ 10-1 Pa |
| 規(guī)管類(lèi)型 |
皮拉尼電阻規(guī)（熱傳導(dǎo)式） |
| 工作電壓 |
配套真空計(jì)供電（通常為DC 12V或定制適配電壓，需匹配對(duì)應(yīng)型號(hào)真空計(jì)） |
| 輸出信號(hào) |
模擬信號(hào)（電壓/電流信號(hào)，具體需結(jié)合配套真空計(jì)定義） |
| 規(guī)管材質(zhì) |
不銹鋼外殼，內(nèi)部熱敏電阻元件采用耐高溫合金材質(zhì) |
| 連接方式 |
KF16快裝接口（標(biāo)準(zhǔn)配置，可定制其他接口類(lèi)型） |
| 工作溫度范圍 |
-10℃ ~ +60℃（存儲(chǔ)溫度：-20℃ ~ +80℃） |
| 響應(yīng)時(shí)間 |
≤3s（真空度變化≥一個(gè)數(shù)量級(jí)時(shí)） |
| 重復(fù)性誤差 |
≤±5%（滿量程范圍內(nèi)） |
使用注意事項(xiàng)
- 規(guī)管預(yù)熱要求：規(guī)管接入真空系統(tǒng)并通電后，需預(yù)熱15~30分鐘，待熱敏電阻元件溫度穩(wěn)定后再進(jìn)行真空度測(cè)量，避免初始測(cè)量數(shù)據(jù)波動(dòng)。
- 清潔與維護(hù)：
- 避免規(guī)管暴露在高濃度腐蝕性氣體、油污或粉塵環(huán)境中，防止熱敏電阻元件被污染，影響測(cè)量精度；
- 若規(guī)管內(nèi)部被污染，需在專(zhuān)業(yè)人員指導(dǎo)下進(jìn)行清潔，禁止自行拆解規(guī)管內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
- 真空系統(tǒng)適配：
- 規(guī)管需與上海雙旭配套的ZJ系列真空計(jì)（如ZDF-5227等型號(hào)）搭配使用，不同型號(hào)真空計(jì)的校準(zhǔn)曲線不同，混用可能導(dǎo)致測(cè)量誤差；
- 規(guī)管接入真空系統(tǒng)前，需確保系統(tǒng)已完成初步抽真空，避免大氣狀態(tài)下長(zhǎng)時(shí)間通電，防止熱敏電阻因過(guò)熱損壞。
- 安裝規(guī)范：
- 安裝時(shí)需保證規(guī)管接口密封良好，可使用真空硅脂輔助密封，防止漏氣影響測(cè)量結(jié)果；
- 規(guī)管應(yīng)垂直安裝，避免規(guī)管內(nèi)部熱敏電阻受重力影響導(dǎo)致測(cè)量偏差；
- 安裝位置應(yīng)遠(yuǎn)離真空系統(tǒng)中的放氣源、發(fā)熱源，避免局部環(huán)境干擾真空度測(cè)量。
- 過(guò)載保護(hù)：禁止在規(guī)管未接入真空系統(tǒng)的情況下長(zhǎng)時(shí)間通電，大氣環(huán)境下連續(xù)通電超過(guò)2小時(shí)可能導(dǎo)致熱敏電阻元件燒毀。
- 校準(zhǔn)與校準(zhǔn)周期：
- 新規(guī)管投入使用前需進(jìn)行校準(zhǔn)，后續(xù)每1~2年或在測(cè)量精度出現(xiàn)明顯偏差時(shí)，應(yīng)聯(lián)系廠家或?qū)I(yè)計(jì)量機(jī)構(gòu)重新校準(zhǔn)；
- 校準(zhǔn)需在標(biāo)準(zhǔn)真空環(huán)境中進(jìn)行，嚴(yán)格按照校準(zhǔn)規(guī)程完成曲線標(biāo)定。
- 儲(chǔ)存與運(yùn)輸：未使用的規(guī)管需密封包裝，存放于干燥、無(wú)腐蝕氣體的環(huán)境中，運(yùn)輸過(guò)程中避免劇烈震動(dòng)和碰撞。
特別提示：ZJ-52T真空規(guī)管僅作為真空度檢測(cè)的傳感元件，無(wú)法直接顯示真空度數(shù)值，必須搭配對(duì)應(yīng)的真空計(jì)使用，真空計(jì)將規(guī)管輸出的信號(hào)轉(zhuǎn)換為直觀的真空度讀數(shù)。使用過(guò)程中若出現(xiàn)測(cè)量數(shù)據(jù)異常，需先排查真空系統(tǒng)密封性、真空計(jì)狀態(tài)及規(guī)管連接情況，確認(rèn)故障來(lái)源后再進(jìn)行處理。
ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
上海雙旭 ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）產(chǎn)品使用說(shuō)明
1. 產(chǎn)品概述
ZJ-52T 是一款基于皮拉尼（Pirani）熱導(dǎo)原理的電阻式真空規(guī)管，主要用于低真空和粗真空區(qū)域的壓力測(cè)量。其測(cè)量范圍通常覆蓋 1×10⁻¹ Pa 至 1×10⁵ Pa（取決于配套儀表校準(zhǔn)）。該規(guī)管通過(guò)測(cè)量加熱絲在氣體中散熱變化引起的電阻變化來(lái)推算真空壓力，適用于工業(yè)真空鍍膜、冷凍干燥、真空爐、科研實(shí)驗(yàn)等場(chǎng)景。
2. 安裝與連接
規(guī)管采用標(biāo)準(zhǔn) KF16、KF25 或 CF35 真空接口（根據(jù)型號(hào)版本），安裝時(shí)確保密封圈潔凈且無(wú)劃傷。電氣連接為五芯插頭或航空插頭，定義如下：引腳 1 和 2 連接加熱絲（通常 2-4 歐姆），引腳 3 和 4 連接補(bǔ)償電阻（約 100 歐姆），引腳 5 為屏蔽接地。建議使用屏蔽電纜，最長(zhǎng)距離不超過(guò) 50 米。
3. 操作步驟
通電前確認(rèn)規(guī)管已安裝在真空系統(tǒng)中。將 ZJ-52T 連接到配套的真空計(jì)控制儀表（如上海雙旭 ZDF 系列），儀表需設(shè)置為“電阻規(guī)”模式。通電后預(yù)熱 5-10 分鐘以使溫度穩(wěn)定。在 1×10⁵ Pa（大氣壓）下，儀表應(yīng)顯示約 1.0×10⁵ Pa（或 760 Torr）；若偏差較大，需通過(guò)儀表菜單執(zhí)行“大氣校準(zhǔn)”。測(cè)量時(shí)避免氣流直接沖擊規(guī)管，否則可能導(dǎo)致讀數(shù)波動(dòng)。
4. 維護(hù)與注意事項(xiàng)
規(guī)管測(cè)量精度受環(huán)境溫度影響（每 10°C 漂移約 1-2%），建議在 15-35°C 范圍內(nèi)使用。長(zhǎng)期暴露于腐蝕性氣體、油蒸汽或粉塵會(huì)縮短壽命，此時(shí)需更換規(guī)管。清潔時(shí)可用無(wú)水乙醇擦拭外殼，但嚴(yán)禁拆解內(nèi)部敏感結(jié)構(gòu)。若讀數(shù)不穩(wěn)定或明顯偏離預(yù)期，首先檢查密封漏氣、電纜接觸不良或規(guī)管污染。
5. 故障排除
- 無(wú)顯示或顯示“Err”：檢查電源和電纜連接；
- 讀數(shù)偏大：可能存在漏氣或規(guī)管污染，需清潔或更換；
- 讀數(shù)偏�。杭訜峤z斷路（電阻無(wú)窮大）或儀表設(shè)置錯(cuò)誤；
- 讀數(shù)跳變：接地不良或存在電磁干擾。
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
1. 寬測(cè)量范圍與良好線性： ZJ-52T 在 10⁻¹ Pa 到 10⁵ Pa 范圍內(nèi)保持較穩(wěn)定的輸出信號(hào)，尤其在中低真空段（1-1000 Pa）線性度優(yōu)于傳統(tǒng)熱偶規(guī)管，減少頻繁校準(zhǔn)需求。
2. 高響應(yīng)速度： 加熱絲熱容小，響應(yīng)時(shí)間約 50-200 毫秒（取決于壓力變化幅度），適合快速真空系統(tǒng)或動(dòng)態(tài)過(guò)程監(jiān)控，如真空鍍膜機(jī)中工藝氣體切換監(jiān)測(cè)。
3. 抗污染能力強(qiáng)： 相比于電離規(guī)或電容薄膜規(guī)，皮拉尼規(guī)對(duì)水蒸氣、油蒸汽和輕度灰塵的耐受性更好，在工業(yè)環(huán)境中維護(hù)周期更長(zhǎng)。加熱絲表面自熱作用可部分驅(qū)散吸附分子。
4. 結(jié)構(gòu)緊湊且成本低廉： 全金屬封裝設(shè)計(jì)（不銹鋼外殼），體積小巧（約 Ø25×100 mm），便于集成到空間有限的真空設(shè)備中。價(jià)格僅為電容薄膜規(guī)的 1/10 左右，適合批量使用。
5. 兼容性極佳： 采用通用電氣接口和標(biāo)準(zhǔn)真空法蘭，可直接替換其他主流品牌的皮拉尼規(guī)管（如 INFICON、Pfeiffer 等同類(lèi)型號(hào)），無(wú)需更改儀表設(shè)置。
6. 長(zhǎng)期穩(wěn)定性優(yōu)秀： 采用鎳鉻合金加熱絲和鉑電阻溫度補(bǔ)償元件，在正常工況下連續(xù)工作 2 萬(wàn)小時(shí)以上仍可保持 ±5% 以內(nèi)精度漂移，遠(yuǎn)優(yōu)于早期熱偶規(guī)管。 |
