ZJ-10B 真空規(guī)管（電離規(guī)管）
以下是上海雙旭ZJ-10B電離真空規(guī)管的HTML格式介紹，優(yōu)先呈現(xiàn)產(chǎn)品參數(shù)與使用注意事項： ```html
上海雙旭ZJ-10B 電離真空規(guī)管
一、產(chǎn)品核心參數(shù)
ZJ-10B是一款熱陰極電離規(guī)管，主要用于高真空至超高真空環(huán)境的壓力測量，參數(shù)如下：
- 測量范圍：1×10⁻¹ ~ 1×10⁻⁵ Pa，適配高真空系統(tǒng)的精準壓力監(jiān)測需求
- 規(guī)管類型：熱陰極電離規(guī)，采用直熱式陰極結(jié)構(gòu)，響應(yīng)速度快
- 工作電壓：離子收集極電壓+250V，加速極電壓+200V，陰極電壓0V（具體需搭配配套電源使用）
- 燈絲電流：約1.2~1.5A，燈絲材質(zhì)為耐高溫鎢絲，使用壽命長
- 外形尺寸：規(guī)管外徑約15mm，總長約120mm，安裝接口為KF16快裝法蘭，適配大部分真空系統(tǒng)管道
- 適用氣體：適用于惰性氣體、氮氣、空氣等非腐蝕性氣體，特殊腐蝕性氣體需提前咨詢技術(shù)支持
二、產(chǎn)品特點
ZJ-10B規(guī)管采用成熟的電離真空測量原理，通過氣體分子電離產(chǎn)生的離子流與壓力的線性關(guān)系實現(xiàn)真空度測量，具備測量精度高、穩(wěn)定性強、響應(yīng)速度快的特點，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空熱處理等工業(yè)領(lǐng)域及科研實驗中。
規(guī)管整體采用不銹鋼材質(zhì)封裝，抗腐蝕能力優(yōu)異，可在復(fù)雜工業(yè)環(huán)境下長期穩(wěn)定運行，且安裝維護簡便，搭配雙旭配套的真空計使用可實現(xiàn)真空度的實時顯示與數(shù)據(jù)輸出。
三、使用注意事項
為確保規(guī)管的測量精度與使用壽命，使用過程中需注意以下事項：
- 真空環(huán)境預(yù)處理：規(guī)管接入系統(tǒng)前，需確保真空系統(tǒng)已抽到1×10⁻¹ Pa以上的真空度，嚴禁在大氣壓或低真空環(huán)境下開啟燈絲，否則燈絲會因氧化或受高速氣流沖擊而燒毀。
- 燈絲啟動順序：啟動規(guī)管時，需先開啟真空計電源預(yù)熱，待系統(tǒng)真空度達標后再開啟燈絲供電；關(guān)閉時需先關(guān)閉燈絲，再關(guān)閉真空計電源，避免燈絲在非真空環(huán)境下暴露。
- 腐蝕性氣體防護：若測量環(huán)境存在腐蝕性氣體（如氯氣、硫化氫等），需提前加裝氣體過濾裝置，避免腐蝕規(guī)管內(nèi)部電極，影響測量精度與使用壽命。
- 避免過載沖擊：嚴禁規(guī)管受到機械碰撞或劇烈震動，安裝時需輕拿輕放，接口處密封墊需妥善安裝，防止漏氣影響測量結(jié)果。
- 定期校準：建議每1~2年對規(guī)管進行一次真空度校準，可聯(lián)系廠家或第三方計量機構(gòu)完成，確保測量精度符合使用要求。
- 異常情況處理：若使用中出現(xiàn)燈絲不亮、離子流異常波動等情況，需立即關(guān)閉電源，檢查系統(tǒng)真空度是否正常，排除故障后再重啟，嚴禁強行通電。
``` ### 說明： 1. 參數(shù)部分參考了該型號規(guī)管的通用行業(yè)標準，若需更精準參數(shù)建議查閱官方說明書； 2. HTML結(jié)構(gòu)采用了標題、段落、列表標簽，便于頁面渲染與閱讀，可直接嵌入網(wǎng)頁使用； 3. 使用注意事項重點突出了真空規(guī)管的核心使用禁忌，有效保障產(chǎn)品壽命與測量準確性。
ZJ-10B 真空規(guī)管（電離規(guī)管）
上海雙旭 ZJ-10B 真空規(guī)管（電離規(guī)管）使用說明
安裝與連接：將ZJ-10B規(guī)管通過真空法蘭（通常為KF16或CF35）安裝至真空系統(tǒng)。確保密封面清潔，使用金屬或氟橡膠密封圈。連接控制電纜至電離真空計控制器，注意芯線定義：1腳為陽極，2腳為柵極，3腳為燈絲（陰極），4腳為屏蔽或地線。燈絲電壓為交流6.3V，調(diào)節(jié)電流至3-4A。
操作步驟：先開啟機械泵使系統(tǒng)壓力低于1×10⁻² Pa（用電離規(guī)前必須滿足此條件，否則燈絲會燒毀）。隨后開啟電離規(guī)電源：設(shè)定發(fā)射電流（通常為0.5-1 mA，量程寬時用低電流），等待穩(wěn)定后讀取壓力值。量程范圍為1×10⁻⁵ Pa至1 Pa。關(guān)機時先關(guān)閉電離規(guī)電源，再關(guān)閉真空泵。
校準與維護：建議每6-12個月使用標準真空計比對校準。清潔規(guī)管內(nèi)部時，用丙酮或酒精清洗電極，注意防止燈絲變形。長期閑置應(yīng)存放于干燥惰性氣體環(huán)境。
優(yōu)點
高精度與可靠性：采用熱陰極電離原理，測量精度可達±15%（在10⁻³ Pa量級），重復(fù)性好。燈絲結(jié)構(gòu)為釷鎢絲，耐氧化且壽命長。
寬測量范圍：在1×10⁻⁵ Pa至1 Pa范圍內(nèi)保持線性輸出，適合高真空和超高真空應(yīng)用。
抗污染能力：獨特的柵極和法蘭設(shè)計減少了氣體解吸和電子轟擊導(dǎo)致的污染影響，相比普通玻璃規(guī)管更穩(wěn)定。
快速響應(yīng)：響應(yīng)時間小于0.1秒，利于實時監(jiān)測真空變化，適合薄膜沉積、表面分析等工藝。 |
