上海雙旭ZJ-10電離真空規(guī)管產(chǎn)品使用說明
一、安裝規(guī)范
安裝前需確保真空系統(tǒng)內(nèi)部清潔無雜質(zhì)，避免規(guī)管因異物污染影響測量精度。規(guī)管采用垂直安裝方式，使規(guī)管的收集極處于下方，以減少冷凝物沉積對電極的干擾。安裝過程中注意輕拿輕放，避免碰撞電極組件，連接真空系統(tǒng)時需保證密封接口緊密，防止漏氣導致測量數(shù)據(jù)偏差。
二、接線要求
規(guī)管需與配套的電離真空計控制器連接，嚴格按照標識對應接線：燈絲引腳連接控制器的燈絲供電端，收集極引腳連接信號輸入端，柵極引腳連接控制器的柵極供電端。接線完成后檢查線路是否牢固，避免虛接導致設備無法正常工作，同時注意避免線路短路損壞規(guī)管及控制器。
三、操作流程
開機前需確認真空系統(tǒng)已達到預真空狀態(tài)（通常需低于1Pa），防止燈絲在高氣壓下氧化燒毀。開啟控制器電源后，先預熱燈絲5-10分鐘，待燈絲穩(wěn)定后再啟動測量模式。測量過程中避免頻繁切換量程，如需調(diào)整量程，需按照控制器操作說明逐步進行，防止瞬間電流沖擊損壞規(guī)管。關機時先關閉測量模式，再關閉燈絲供電，最后切斷總電源。
四、維護與保養(yǎng)
定期檢查規(guī)管的密封性能，如發(fā)現(xiàn)真空度異常下降，需排查接口密封性或規(guī)管是否損壞。若規(guī)管燈絲老化導致測量靈敏度降低，應及時更換同型號燈絲，更換過程需在真空環(huán)境下操作，防止電極氧化。長期不使用時，需將規(guī)管保持在真空狀態(tài)下存放，避免大氣中雜質(zhì)污染電極。
上海雙旭ZJ-10電離真空規(guī)管產(chǎn)品優(yōu)點
一、寬量程測量優(yōu)勢
ZJ-10電離規(guī)管具備10^-1 ~ 10^-5 Pa的寬測量量程，可覆蓋從低真空到高真空的多種真空環(huán)境需求，無需更換不同規(guī)管即可完成不同真空區(qū)間的精準測量，適用于真空鍍膜、半導體制造、真空冶煉等多領域的真空檢測場景。
二、高精度與穩(wěn)定性
采用優(yōu)化的電極結(jié)構(gòu)設計，確保電離過程的穩(wěn)定性，測量精度可達滿量程的±5%以內(nèi)。規(guī)管內(nèi)部電極經(jīng)過特殊工藝處理，具備良好的抗污染能力，在復雜真空環(huán)境中仍能保持長時間穩(wěn)定的測量數(shù)據(jù)，減少頻繁校準的需求。
三、長使用壽命
燈絲采用耐高溫、抗氧化的特殊材料制成，在合理操作條件下使用壽命可達數(shù)千小時。規(guī)管整體結(jié)構(gòu)堅固，具備良好的抗振動性能，適應工業(yè)現(xiàn)場的復雜環(huán)境，降低設備更換頻率，減少使用成本。
四、兼容性強
規(guī)管接口采用行業(yè)通用標準設計，可與大多數(shù)主流品牌的電離真空計控制器兼容，無需額外定制適配設備，便于用戶進行設備升級或替換，提升設備配置的靈活性。
