ZDF-5210-2 復(fù)合真空計(jì)
上海雙旭 ZDF-5210-2 復(fù)合真空計(jì)
產(chǎn)品概述：ZDF-5210-2 復(fù)合真空計(jì)由上海雙旭電子科技有限公司研制，集成熱偶真空計(jì)與電離真空計(jì)功能，可覆蓋從大氣壓至超高真空范圍的連續(xù)測(cè)量。適用于科研、半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析儀器等需要寬量程、高精度真空監(jiān)測(cè)的場(chǎng)合。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量范圍：熱偶段 1×10⁵ ~ 1×10⁻¹ Pa；電離段 1×10⁻¹ ~ 1×10⁻⁸ Pa（可選擴(kuò)展至 1×10⁻⁹ Pa）
- 顯示分辨率：熱偶段 0.1 Pa；電離段 0.01 Pa（依量程自動(dòng)切換）
- 測(cè)量精度：熱偶段 ±15% FS；電離段 ±10% RD（在穩(wěn)定條件下）
- 響應(yīng)時(shí)間：≤1 s（熱偶段）；≤2 s（電離段，滿(mǎn)量程變化）
- 控制接口：RS-485/RS-232 可選，支持 Modbus RTU 協(xié)議；模擬輸出 0~5 V / 4~20 mA
- 供電電源：AC 220 V±10%，50 Hz，功耗 ≤30 W
- 工作溫度：0℃ ~ +40℃；存儲(chǔ)溫度 -20℃ ~ +60℃
- 傳感器類(lèi)型：熱偶規(guī) ZJ-52T（標(biāo)配），電離規(guī) ZJ-27（標(biāo)配）/ ZJ-14（選配）
- 安裝方式：面板嵌入式或支架式安裝，適配 DN16~DN35 CF法蘭或KF法蘭
- 防護(hù)等級(jí)：IP20（室內(nèi)使用）
功能特點(diǎn)
具備自動(dòng)量程切換與手動(dòng)切換模式，支持零點(diǎn)校準(zhǔn)與滿(mǎn)度校準(zhǔn)；內(nèi)置過(guò)壓保護(hù)與反接保護(hù)電路；具有真空度超限報(bào)警及繼電器觸點(diǎn)輸出；可同時(shí)顯示熱偶值與電離值，便于快速判斷系統(tǒng)狀態(tài)；配備大屏 LED/LCD 數(shù)字顯示，讀數(shù)直觀。
使用注意事項(xiàng)
- 安裝前確認(rèn)系統(tǒng)與真空計(jì)測(cè)量范圍匹配，避免超量程導(dǎo)致傳感器損壞。
- 電離規(guī)對(duì)油污、水汽敏感，必須在潔凈真空環(huán)境下使用，初次啟動(dòng)或長(zhǎng)期停用后需按規(guī)程除氣。
- 熱偶規(guī)不可用于高真空段測(cè)量，強(qiáng)磁場(chǎng)環(huán)境會(huì)影響熱偶測(cè)溫準(zhǔn)確性，應(yīng)遠(yuǎn)離電磁干擾源。
- 禁止在壓力高于 1×10⁵ Pa 時(shí)開(kāi)啟電離規(guī)燈絲，否則會(huì)燒毀燈絲。
- 進(jìn)行高壓測(cè)試或維修前必須斷開(kāi)電源，防止電擊及設(shè)備損壞。
- 傳感器拆裝需佩戴潔凈手套，避免污染規(guī)管影響測(cè)量精度。
- 定期執(zhí)行零點(diǎn)和滿(mǎn)度校準(zhǔn)，建議每三個(gè)月或在重要工藝前校驗(yàn)一次。
- 設(shè)備應(yīng)置于通風(fēng)良好處，避免高溫、潮濕及腐蝕性氣體侵蝕。
- 模擬輸出信號(hào)線需采用屏蔽電纜，并做好接地，降低噪聲干擾。
ZDF-5210-2 復(fù)合真空計(jì)
上海雙旭ZDF-5210-2 復(fù)合真空計(jì)使用說(shuō)明
產(chǎn)品概述：ZDF-5210-2 是一款基于電阻式（Pirani）和電離式（熱陰極）傳感器組合的復(fù)合真空計(jì)，適用于寬量程真空測(cè)量。量程范圍通常為10^5 Pa至10^-5 Pa，具體取決于傳感器配置。操作前請(qǐng)確保傳感器清潔且連接正確。
安裝與接線：將電阻規(guī)和電離規(guī)分別連接到真空系統(tǒng)指定接口，避免漏氣。使用配套電纜連接主機(jī)與傳感器，注意極性標(biāo)識(shí)。接通電源前，檢查電源電壓（通常為220V AC或110V AC，請(qǐng)參考銘牌）。
操作步驟：1. 啟動(dòng)電源，等待系統(tǒng)自檢完成。2. 當(dāng)系統(tǒng)壓強(qiáng)高于10^1 Pa時(shí)，僅電阻規(guī)工作，顯示低真空段壓力。3. 當(dāng)壓強(qiáng)降至10^1 Pa以下且電離規(guī)燈絲加熱后，電離規(guī)自動(dòng)或手動(dòng)啟動(dòng)，切換至高真空測(cè)量。4. 定期使用標(biāo)準(zhǔn)氣體校準(zhǔn)零點(diǎn)，尤其當(dāng)測(cè)量氣體種類(lèi)變化時(shí)。5. 避免電離規(guī)暴露于高氣壓環(huán)境（>10^1 Pa），否則燈絲易燒毀。
維護(hù)與故障提示：常見(jiàn)故障包括“傳感器故障”或“壓力讀數(shù)漂移”。檢查傳感器是否污染（如油蒸汽或顆粒），必要時(shí)用酒精清洗電阻規(guī)或更換電離規(guī)燈絲。長(zhǎng)時(shí)間不用時(shí)，關(guān)閉電源并保持真空環(huán)境。
上海雙旭ZDF-5210-2 復(fù)合真空計(jì)優(yōu)點(diǎn)
寬量程覆蓋：復(fù)合設(shè)計(jì)結(jié)合電阻規(guī)和電離規(guī)，實(shí)現(xiàn)從大氣壓到超高真空的連續(xù)測(cè)量，無(wú)需切換多個(gè)儀表，簡(jiǎn)化操作流程。
高精度與穩(wěn)定性：采用數(shù)字信號(hào)處理技術(shù)，在全量程范圍內(nèi)提供±0.5%至1%的讀數(shù)精度，且溫度漂移補(bǔ)償設(shè)計(jì)確保長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
自動(dòng)切換與保護(hù)：內(nèi)置邏輯電路自動(dòng)識(shí)別壓力范圍并切換傳感器，同時(shí)配合燈絲過(guò)流保護(hù)，有效防止電離規(guī)因誤操作損壞，延長(zhǎng)使用壽命。
易用性與兼容性：配備大屏幕LCD顯示和RS-232/485通訊接口，支持?jǐn)?shù)據(jù)記錄與遠(yuǎn)程監(jiān)控。可適配多種工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)真空法蘭（KF25/CF35等），安裝靈活。
經(jīng)濟(jì)性：相比獨(dú)立購(gòu)買(mǎi)電阻計(jì)和電離計(jì)，此復(fù)合方案節(jié)省空間和成本，且模塊化設(shè)計(jì)便于維修更換，降低長(zhǎng)期使用費(fèi)用。 |
