ZDF-5227BZ 復(fù)合真空計(jì)(電阻電離真空計(jì))
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上海雙旭ZDF-5227BZ 復(fù)合真空計(jì)(電阻電離真空計(jì))
產(chǎn)品概述
上海雙旭ZDF-5227BZ復(fù)合真空計(jì)是一款集成電阻真空計(jì)與電離真空計(jì)功能的高精度真空測(cè)量設(shè)備,可實(shí)現(xiàn)從低真空到高真空的寬范圍連續(xù)測(cè)量。設(shè)備結(jié)合了電阻式真空計(jì)在低真空段的穩(wěn)定性和電離真空計(jì)在高真空段的高靈敏度,廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空熱處理、科研實(shí)驗(yàn)室等對(duì)真空度測(cè)量有嚴(yán)格要求的場(chǎng)景。
核心技術(shù)參數(shù)
- 測(cè)量范圍:電阻計(jì)10⁵~10⁻¹ Pa,電離計(jì)10⁻²~10⁻⁵ Pa,復(fù)合量程覆蓋10⁵~10⁻⁵ Pa
- 測(cè)量精度:電阻計(jì)±10%(滿量程),電離計(jì)±15%(滿量程)
- 顯示方式:4位LED數(shù)碼管顯示,可切換電阻/電離測(cè)量模式,實(shí)時(shí)顯示真空度數(shù)值及單位
- 控制功能:具備真空度超限報(bào)警功能,可自定義上下限報(bào)警閾值;支持繼電器輸出,可聯(lián)動(dòng)控制真空設(shè)備
- 規(guī)管配置:標(biāo)配ZJ-52T電阻規(guī)管+ZJ-27電離規(guī)管,規(guī)管與主機(jī)采用航空插頭連接,安裝便捷
- 電源要求:AC 220V±10%,50Hz,功耗≤30W
- 工作環(huán)境:溫度0~40℃,相對(duì)濕度≤80%(無冷凝),無強(qiáng)電磁場(chǎng)干擾環(huán)境
- 外形尺寸:主機(jī)160mm×80mm×220mm(寬×高×深),符合標(biāo)準(zhǔn)機(jī)柜安裝尺寸(19英寸2U規(guī)格)
- 接口配置:RS485通訊接口(可選),支持MODBUS協(xié)議,可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)采集
使用注意事項(xiàng)
1. 規(guī)管安裝與維護(hù):規(guī)管應(yīng)垂直安裝于真空系統(tǒng)的平直管道段,避免靠近閥門、泵口或氣流死角;電阻規(guī)管需定期清潔電極表面,電離規(guī)管在暴露大氣后需進(jìn)行除氣處理(開啟規(guī)管除氣功能10~30分鐘),防止污染影響測(cè)量精度。
2. 開機(jī)與操作規(guī)范:開機(jī)前需確認(rèn)真空系統(tǒng)已達(dá)到低真空狀態(tài)(≤10 Pa),再開啟電離計(jì)模式,禁止在大氣壓下啟動(dòng)電離規(guī)管,否則會(huì)燒毀規(guī)管燈絲;切換測(cè)量模式時(shí),需等待2~3秒讓系統(tǒng)穩(wěn)定后讀取數(shù)據(jù)。
3. 環(huán)境與電源防護(hù):設(shè)備應(yīng)避免安裝在高溫、高濕或有腐蝕性氣體的環(huán)境中,主機(jī)需可靠接地;電源線路需避免與大功率設(shè)備同路,防止電壓波動(dòng)損壞內(nèi)部電路。
4. 故障排查與保養(yǎng):若出現(xiàn)顯示不穩(wěn)定或數(shù)值異常,先檢查規(guī)管連接是否松動(dòng),真空系統(tǒng)是否存在泄漏;長(zhǎng)期不使用時(shí),需關(guān)閉電源并將規(guī)管密封保存,防止灰塵進(jìn)入;每12個(gè)月需對(duì)設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn),可聯(lián)系廠家或第三方計(jì)量機(jī)構(gòu)進(jìn)行精度校準(zhǔn)。
5. 電離規(guī)管燈絲保護(hù):電離規(guī)管燈絲為易損件,連續(xù)工作時(shí)間建議不超過8小時(shí);當(dāng)真空度高于10⁻² Pa時(shí),應(yīng)及時(shí)關(guān)閉電離計(jì),延長(zhǎng)燈絲使用壽命。
``` 該內(nèi)容優(yōu)先突出產(chǎn)品核心參數(shù),并針對(duì)復(fù)合真空計(jì)的使用場(chǎng)景補(bǔ)充了規(guī)管維護(hù)、模式切換等關(guān)鍵注意事項(xiàng),HTML結(jié)構(gòu)清晰,便于嵌入網(wǎng)頁或產(chǎn)品手冊(cè)中。
ZDF-5227BZ 復(fù)合真空計(jì)(電阻電離真空計(jì))
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上海雙旭ZDF-5227BZ復(fù)合真空計(jì)(電阻電離真空計(jì))
一、產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
1. 寬量程覆蓋:集成電阻真空計(jì)與電離真空計(jì)功能,可實(shí)現(xiàn)從低真空到超高真空的連續(xù)測(cè)量,量程范圍寬泛,滿足多場(chǎng)景真空度檢測(cè)需求。
2. 高精度測(cè)量:采用先進(jìn)的傳感技術(shù)與信號(hào)處理算法,測(cè)量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠,精度高,能為實(shí)驗(yàn)或生產(chǎn)過程提供精準(zhǔn)的真空度數(shù)據(jù)支撐。
3. 智能化功能:具備自動(dòng)量程切換、數(shù)據(jù)顯示鎖定、超量程報(bào)警等功能,操作便捷,降低人工操作誤差,提升使用安全性。
4. 耐用性強(qiáng):選用高品質(zhì)元器件與抗干擾設(shè)計(jì),適應(yīng)復(fù)雜工業(yè)環(huán)境,設(shè)備使用壽命長(zhǎng),維護(hù)成本低。
5. 便捷操作界面:配備清晰的數(shù)字顯示屏與簡(jiǎn)潔的操作按鍵,參數(shù)設(shè)置直觀易懂,新手也能快速上手使用。
二、產(chǎn)品使用說明
(一)開機(jī)前準(zhǔn)備
1. 檢查設(shè)備外觀是否完好,連接線路有無破損、松動(dòng)情況,確保供電電源符合設(shè)備額定電壓要求。
2. 將真空計(jì)的傳感器正確連接至被測(cè)真空系統(tǒng),保證接口密封良好,避免漏氣影響測(cè)量精度。
(二)開機(jī)操作
1. 接通電源,按下開機(jī)按鍵,設(shè)備啟動(dòng)后進(jìn)入自檢模式,等待自檢完成,顯示屏顯示初始狀態(tài)信息。
2. 根據(jù)被測(cè)真空系統(tǒng)的大致真空度范圍,手動(dòng)選擇對(duì)應(yīng)測(cè)量模式(電阻計(jì)模式或電離計(jì)模式),或開啟自動(dòng)量程切換功能。
(三)測(cè)量操作
1. 設(shè)備進(jìn)入測(cè)量狀態(tài)后,顯示屏實(shí)時(shí)顯示當(dāng)前真空度數(shù)值,可通過按鍵切換顯示單位(如Pa、Torr等)。
2. 若需鎖定當(dāng)前測(cè)量數(shù)據(jù),按下數(shù)據(jù)鎖定按鍵,數(shù)值將保持顯示,再次按下可解除鎖定,恢復(fù)實(shí)時(shí)測(cè)量。
3. 當(dāng)測(cè)量值超出設(shè)備量程范圍時(shí),設(shè)備會(huì)發(fā)出聲光報(bào)警提示,此時(shí)需檢查真空系統(tǒng)或切換至對(duì)應(yīng)量程模式。
(四)關(guān)機(jī)與維護(hù)
1. 測(cè)量完成后,先關(guān)閉測(cè)量模式,再按下關(guān)機(jī)按鍵切斷電源,斷開傳感器與真空系統(tǒng)的連接。
2. 定期清潔傳感器表面,避免灰塵、油污附著影響測(cè)量精度;若設(shè)備出現(xiàn)異常,請(qǐng)勿自行拆卸,應(yīng)聯(lián)系專業(yè)售后人員檢修。
(五)注意事項(xiàng)
1. 電離計(jì)模式僅適用于高真空及以上環(huán)境,低真空環(huán)境下使用會(huì)損壞電離規(guī)管,需嚴(yán)格按照量程范圍選擇測(cè)量模式。
2. 設(shè)備應(yīng)避免放置在強(qiáng)電磁干擾、高溫高濕環(huán)境中,確保測(cè)量數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性與設(shè)備的使用壽命。
3. 長(zhǎng)期不使用時(shí),應(yīng)斷開電源,將傳感器妥善存放,避免碰撞和腐蝕。
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