ZJ-52K 真空規(guī)管（電阻規(guī)/皮拉尼規(guī)）
上海雙旭 ZJ-52K 真空規(guī)管（電阻規(guī)/皮拉尼規(guī)）介紹
產(chǎn)品概述
上海雙旭 ZJ-52K 為復(fù)合式真空測量規(guī)管，集成電阻規(guī)與皮拉尼規(guī)功能，可在寬量程范圍連續(xù)監(jiān)測真空度。適用于低至中高真空環(huán)境，常用于科研、半導(dǎo)體制造、真空爐、分析儀器及工業(yè)真空系統(tǒng)。
產(chǎn)品參數(shù)
- 規(guī)管類型：電阻規(guī) + 皮拉尼規(guī)復(fù)合結(jié)構(gòu)
- 測量原理：電阻規(guī)（熱傳導(dǎo)變化）/ 皮拉尼規(guī)（氣體熱導(dǎo)率變化）
- 測量范圍：1×10⁵ Pa ~ 1×10⁻² Pa（電阻規(guī)段：1×10³ ~ 1×10⁻² Pa；皮拉尼規(guī)段：1×10⁵ ~ 1×10³ Pa）
- 精度等級(jí)：±15%（全量程典型值）
- 工作溫度：-20℃ ~ +80℃（環(huán)境溫度）
- 烘烤溫度：≤150℃（短時(shí)間，帶保護(hù)）
- 供電電壓：DC 24V ±10%
- 輸出信號(hào)：0~10V 或 4~20mA（可定制）
- 加熱電流：約 30 mA（電阻絲）
- 啟動(dòng)時(shí)間：<5 s（常溫穩(wěn)定讀數(shù)）
- 功耗：<1 W
- 接口形式：DN16 ISO-KF / CF（可選）
- 材質(zhì)：不銹鋼外殼，鎢絲/鉑絲傳感器
- 壽命：>10,000 h（常規(guī)工況）
使用注意事項(xiàng)
- 安裝前確認(rèn)規(guī)管接口與真空系統(tǒng)匹配，法蘭密封面清潔無損傷，避免漏氣。
- 通電前確保真空度不低于規(guī)管最大耐受壓力（1×10⁵ Pa），禁止在大氣壓下長時(shí)間通電加熱，防止傳感器燒毀。
- 規(guī)管不耐高壓沖擊，系統(tǒng)排氣需緩慢升壓，避免瞬間超壓損壞敏感元件。
- 皮拉尼段在高真空（<10⁻² Pa）靈敏度下降，應(yīng)依賴電阻規(guī)段讀數(shù)；避免在超高真空直接使用皮拉尼模式。
- 測量含腐蝕性氣體、油蒸氣或顆粒物的介質(zhì)時(shí)，須加裝冷阱或過濾裝置，防止污染傳感器。
- 烘烤系統(tǒng)須控制溫度≤150℃，過高溫度會(huì)導(dǎo)致規(guī)管內(nèi)部結(jié)構(gòu)變形或引線斷裂。
- 規(guī)管應(yīng)避免機(jī)械振動(dòng)和沖擊，安裝位置遠(yuǎn)離泵體脈動(dòng)區(qū)，減少讀數(shù)波動(dòng)。
- 長期停用應(yīng)保存在干燥環(huán)境，再次使用前檢查加熱絲阻值是否正常。
- 更換規(guī)管時(shí)先斷電并卸壓，防止殘余電荷或高溫引燃?xì)埩魵怏w。
- 輸出信號(hào)接線須屏蔽抗干擾，遠(yuǎn)離強(qiáng)電磁場源，保證信號(hào)穩(wěn)定性。
ZJ-52K 真空規(guī)管（電阻規(guī)/皮拉尼規(guī)）
以下是上海雙旭ZJ-52K真空規(guī)管（電阻規(guī)/皮拉尼規(guī)）的產(chǎn)品使用說明和優(yōu)點(diǎn)的HTML格式內(nèi)容： ```html
上海雙旭ZJ-52K真空規(guī)管（電阻規(guī)/皮拉尼規(guī)）產(chǎn)品說明
一、產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
1. 寬量程覆蓋：ZJ-52K規(guī)管可實(shí)現(xiàn)低真空到高真空的寬范圍測量，量程可達(dá)10⁻¹~10⁵Pa，滿足大多數(shù)工業(yè)真空?qǐng)鼍暗臋z測需求，適用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空熱處理等多領(lǐng)域。
2. 高精度與穩(wěn)定性：采用先進(jìn)的皮拉尼電阻測量原理，結(jié)合優(yōu)質(zhì)的金屬絲傳感元件，在不同環(huán)境溫度下仍能保持穩(wěn)定的測量精度，數(shù)據(jù)重復(fù)性好，為真空系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行提供可靠依據(jù)。
3. 耐用性強(qiáng)：規(guī)管內(nèi)部結(jié)構(gòu)采用耐高溫、抗腐蝕的材料制造，具備良好的抗污染能力，即使在含有少量雜質(zhì)氣體的真空環(huán)境中，也能維持較長的使用壽命，降低維護(hù)成本。
4. 安裝便捷：規(guī)管采用標(biāo)準(zhǔn)化的接口設(shè)計(jì)，適配常見的真空系統(tǒng)法蘭，安裝過程簡單高效，無需復(fù)雜的調(diào)試步驟，便于用戶快速集成到現(xiàn)有設(shè)備中。
5. 適配性廣：可與上海雙旭系列真空計(jì)及市面上多數(shù)主流真空控制設(shè)備兼容，支持模擬信號(hào)輸出，方便用戶進(jìn)行數(shù)據(jù)采集與遠(yuǎn)程監(jiān)控，滿足自動(dòng)化生產(chǎn)的需求。
二、產(chǎn)品使用說明
1. 安裝準(zhǔn)備：安裝前需確認(rèn)真空系統(tǒng)內(nèi)部已完成清潔，無顆粒雜質(zhì)或油污；檢查規(guī)管接口與系統(tǒng)法蘭的密封性，確保匹配規(guī)格一致（通常為KF或CF系列法蘭），避免因密封不嚴(yán)影響測量精度。
2. 正確安裝：將規(guī)管垂直或水平安裝于真空系統(tǒng)的合適位置，避免安裝在氣體流速過快或易積聚雜質(zhì)的區(qū)域；安裝時(shí)使用專用工具緊固法蘭，注意力度適中，防止損壞規(guī)管內(nèi)部傳感元件。
3. 接線規(guī)范：按照設(shè)備說明書連接規(guī)管與真空計(jì)的信號(hào)線，確保正負(fù)極接線正確，避免因接線錯(cuò)誤導(dǎo)致規(guī)管損壞；連接完成后檢查線路是否牢固，防止松動(dòng)引發(fā)信號(hào)干擾。
4. 預(yù)熱與校準(zhǔn)：首次使用或長期停用后重新啟用時(shí)，需對(duì)規(guī)管進(jìn)行15~30分鐘的預(yù)熱，確保傳感元件達(dá)到穩(wěn)定工作狀態(tài)；定期使用標(biāo)準(zhǔn)真空校準(zhǔn)裝置進(jìn)行精度校準(zhǔn)，建議每6~12個(gè)月校準(zhǔn)一次，保證測量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。
5. 日常維護(hù)：定期檢查規(guī)管表面及接口的密封性，若發(fā)現(xiàn)有漏氣跡象及時(shí)處理；避免規(guī)管接觸腐蝕性氣體或大量粉塵，如遇污染，可在低真空狀態(tài)下通入干燥氮?dú)膺M(jìn)行吹掃清潔；長期不使用時(shí)，應(yīng)將規(guī)管置于干燥、無腐蝕的環(huán)境中存放。
6. 注意事項(xiàng)：規(guī)管工作時(shí)需避免突然的壓力劇烈變化，防止傳感元件受損；禁止在規(guī)管未安裝到位時(shí)啟動(dòng)真空系統(tǒng)，避免雜質(zhì)進(jìn)入規(guī)管內(nèi)部；若出現(xiàn)測量數(shù)據(jù)異�；驘o信號(hào)輸出，應(yīng)先檢查線路連接，再聯(lián)系專業(yè)人員進(jìn)行檢修，切勿自行拆解規(guī)管。
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