ZDR-10B 熱陰極電離真空計
上海雙旭ZDR-10B熱陰極電離真空計
一、核心產(chǎn)品參數(shù)
ZDR-10B熱陰極電離真空計是一款用于高真空測量的專業(yè)儀器，核心參數(shù)如下：
- 測量范圍: 1×10⁻¹ ~ 5×10⁻⁶ Pa，覆蓋高真空至超高真空區(qū)間，滿足工業(yè)生產(chǎn)、科研實驗等多場景真空度檢測需求。
- 顯示方式: 采用三位半數(shù)字顯示，真空度數(shù)值直觀清晰，支持單位自動切換，無需人工換算。
- 陰極類型: 選用抗氧化熱陰極材料，具備更長的使用壽命，在復(fù)雜真空環(huán)境下仍能保持穩(wěn)定的發(fā)射性能。
- 供電要求: AC 220V±10%，50Hz，適配常規(guī)工業(yè)及實驗室供電環(huán)境，開機后預(yù)熱時間約15分鐘即可進(jìn)入穩(wěn)定工作狀態(tài)。
- 輸出功能: 配備0~10V模擬信號輸出，可與數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)、真空控制系統(tǒng)聯(lián)動，實現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控與自動化調(diào)節(jié)。
- 外形尺寸: 主機尺寸約280×200×100mm，傳感器探頭小巧便攜，可靈活安裝于各類真空腔體接口。
二、產(chǎn)品特點
作為一款成熟的真空測量設(shè)備，ZDR-10B兼顧實用性與穩(wěn)定性：
其一，具備過壓保護(hù)與陰極過載保護(hù)功能，當(dāng)真空度低于測量下限（高于1×10⁻¹ Pa）時，儀器自動切斷陰極供電，防止陰極因氧化燒毀；其二，校準(zhǔn)方式簡單，支持現(xiàn)場手動校準(zhǔn)與標(biāo)準(zhǔn)真空源校準(zhǔn)，確保長期使用的測量精度；其三，整機結(jié)構(gòu)緊湊，主機操作面板布局簡潔，僅需通過少量按鍵即可完成量程切換、零點校準(zhǔn)等操作，上手難度低。
三、使用注意事項
為保證儀器測量精度與使用壽命，使用過程中需重點關(guān)注以下事項：
1. 開機與預(yù)熱規(guī)范: 開機前需確認(rèn)真空系統(tǒng)已達(dá)到預(yù)真空狀態(tài)（真空度不低于1Pa），嚴(yán)禁在大氣壓下開啟陰極供電，否則會直接燒毀熱陰極；開機后必須完成15~20分鐘預(yù)熱，待儀器顯示穩(wěn)定后再進(jìn)行讀數(shù)，避免預(yù)熱不充分導(dǎo)致的測量誤差。
2. 環(huán)境與安裝要求: 主機應(yīng)安裝在干燥、通風(fēng)、無腐蝕性氣體的環(huán)境中，避免高溫（＞40℃）、強電磁干擾（如大型電機、高頻設(shè)備）影響測量精度；傳感器探頭需垂直或水平安裝于真空腔體，探頭與腔體的連接部位需確保密封良好，防止漏氣影響真空度與測量結(jié)果。
3. 維護(hù)與保養(yǎng): 定期檢查傳感器探頭的清潔度，若發(fā)現(xiàn)探頭內(nèi)部有油污、灰塵沉積，需斷電后用無水乙醇浸泡清洗并烘干；長期停用前，需先關(guān)閉儀器電源，待真空系統(tǒng)保持低真空狀態(tài)（＜1Pa）后再關(guān)閉真空機組，避免外界空氣快速進(jìn)入腔體污染探頭。
4. 故障排查要點: 若儀器顯示“超量程”，需先檢查真空系統(tǒng)是否正常抽氣，確認(rèn)真空度是否低于測量上限；若出現(xiàn)數(shù)值跳動不穩(wěn)定，可排查探頭連接線纜是否松動、真空腔體是否存在漏氣點，或嘗試重新校準(zhǔn)零點。
四、適用場景
ZDR-10B廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空熱處理、空間模擬實驗等領(lǐng)域，可精準(zhǔn)監(jiān)控真空腔體內(nèi)部的真空度變化，為真空工藝的穩(wěn)定性提供數(shù)據(jù)支撐，是工業(yè)生產(chǎn)與科研實驗中可靠的真空測量工具。
ZDR-10B 熱陰極電離真空計
上海雙旭ZDR-10B熱陰極電離真空計是一款用于測量高真空和超高真空環(huán)境的專業(yè)儀器，以下為您詳細(xì)介紹其產(chǎn)品使用說明與核心優(yōu)點：
產(chǎn)品使用說明
- 開機前準(zhǔn)備：首先檢查儀器外觀是否完好，連接電源與真空系統(tǒng)時，確保接口密封良好，避免漏氣。確認(rèn)真空系統(tǒng)已達(dá)到初步真空狀態(tài)（通常需低于10Pa），防止熱陰極因氧化損壞。
- 開機操作：接通電源后，打開儀器主開關(guān)，預(yù)熱10-15分鐘，讓熱陰極穩(wěn)定工作。根據(jù)測量需求，選擇合適的測量量程，儀器會自動切換對應(yīng)檔位。
- 測量過程：待儀器顯示穩(wěn)定后，讀取真空度數(shù)值。測量期間需避免強電磁干擾，同時關(guān)注熱陰極的工作狀態(tài)，若出現(xiàn)異常閃爍或數(shù)值波動，需檢查真空系統(tǒng)是否漏氣或陰極是否老化。
- 關(guān)機與維護(hù)：測量結(jié)束后，先將儀器切換至低量程或待機模式，再關(guān)閉電源。定期清潔真空接口，防止灰塵堆積影響密封性能；若熱陰極使用時間過長出現(xiàn)損耗，需及時更換同型號陰極組件。
產(chǎn)品核心優(yōu)點
- 寬量程高精度：覆蓋10⁻¹⁰Pa至10Pa的寬真空測量范圍，不同量程下均保持穩(wěn)定的測量精度，滿足從高真空到超高真空的多樣檢測需求。
- 智能化設(shè)計：配備自動量程切換功能，無需手動調(diào)整即可適應(yīng)真空環(huán)境變化；數(shù)字顯示屏清晰直觀，支持?jǐn)?shù)據(jù)實時讀取與記錄，提升操作便捷性。
- 耐用性強：熱陰極采用耐高溫抗氧化材料制作，使用壽命長；儀器整體結(jié)構(gòu)堅固，具備良好的抗干擾能力，適合長時間連續(xù)工作。
- 兼容性好：標(biāo)準(zhǔn)化真空接口可適配多數(shù)真空系統(tǒng)，安裝簡便；同時支持?jǐn)?shù)據(jù)輸出功能，可與電腦或其他設(shè)備連接，實現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)分析。
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