上海雙旭ZDF-5310復合真空計
一、核心產品參數
ZDF-5310復合真空計是一款集成熱偶規(guī)與電離規(guī)的高精度真空測量設備，適用于從低真空到高真空的寬范圍測量場景，具體參數如下：
- 測量范圍：熱偶規(guī)1×10⁵Pa～1×10⁻¹Pa，電離規(guī)1×10⁻¹Pa～5×10⁻⁶Pa，實現1×10⁵Pa～5×10⁻⁶Pa全量程覆蓋
- 測量精度：熱偶規(guī)±10%（滿量程），電離規(guī)±15%（滿量程）
- 規(guī)管配置：標配熱偶規(guī)管（如ZJ-51）和電離規(guī)管（如ZJ-27），支持規(guī)管校準功能
- 顯示方式：四位LED數字顯示，可切換顯示壓強數值、單位（Pa/mmHg/Torr可選）及規(guī)管工作狀態(tài)
- 控制功能：具備過壓保護、規(guī)管自動切換、超量程報警功能，支持手動/自動測量模式切換
- 接口配置：配備RS232/RS485通訊接口，可實現數據遠程傳輸與設備聯動控制；預留規(guī)管擴展接口
- 電源參數：AC220V±10%，50Hz，功率≤20W
- 工作環(huán)境：溫度0℃～40℃，相對濕度≤80%（無冷凝），無強磁場、振動干擾環(huán)境
- 外形尺寸：臺式機型約280mm×220mm×120mm，嵌入式機型可定制面板尺寸
二、產品特點與應用場景
ZDF-5310復合真空計結合熱偶規(guī)與電離規(guī)的優(yōu)勢，既滿足低真空環(huán)境的穩(wěn)定測量需求，又能實現高真空區(qū)間的精準檢測，操作界面簡潔，無需復雜調試即可快速投入使用。
廣泛應用于電子制造（如真空鍍膜、半導體封裝）、科研實驗（如真空烘箱、質譜分析）、冶金化工（如真空熔煉、氣相沉積）等領域，適合對真空度測量范圍要求廣、精度要求高的工業(yè)與科研場景。
三、使用注意事項
為確保設備測量精度與使用壽命，使用過程中需注意以下事項：
- 規(guī)管安裝與校準：規(guī)管需垂直安裝于真空系統(tǒng)的無死角位置，避免蒸汽、粉塵直接沖刷規(guī)管；首次使用或更換規(guī)管后，需通過設備校準功能進行零點校準與量程校準，校準需在標準真空環(huán)境下完成。
- 開機與預熱要求：開機后需預熱15～30分鐘，待規(guī)管與電路系統(tǒng)穩(wěn)定后再進行測量；電離規(guī)管啟動前需確認真空系統(tǒng)壓強低于1×10⁻¹Pa，避免規(guī)管燈絲因高氧環(huán)境燒毀。
- 過壓保護操作：當真空系統(tǒng)壓強高于熱偶規(guī)測量上限時，禁止啟動電離規(guī)；設備觸發(fā)超量程報警時，需立即關閉真空系統(tǒng)進氣閥，排查泄漏點，待壓強降至安全范圍后再恢復測量。
- 日常維護與清潔：定期檢查規(guī)管連接接口的密封性，避免因松動導致測量誤差；若規(guī)管表面有粉塵或油污沉積，需停機后用無水乙醇擦拭清潔，禁止用硬物刮擦規(guī)管電極。
- 環(huán)境與電源防護：設備需放置于通風良好、干燥的環(huán)境，避免陽光直射；電源需配備穩(wěn)壓裝置，防止電壓波動損壞電路系統(tǒng)；長期不使用時，需關閉電源并拔掉插頭，妥善存放于干燥環(huán)境。
- 故障排查與處理：若出現測量數值異常、規(guī)管不工作等故障，需先檢查電源連接、規(guī)管接口及真空系統(tǒng)密封性，非專業(yè)人員禁止拆解設備內部電路，需聯系廠家售后或專業(yè)維修人員處理。
