ZJ-51 熱偶規(guī)管（真空規(guī)管）
上海雙旭 ZJ-51 熱偶規(guī)管（真空規(guī)管）介紹
產(chǎn)品概述：ZJ-51 熱偶規(guī)管為上海雙旭電子有限公司生產(chǎn)的電阻加熱式熱偶真空測(cè)量器件，基于氣體熱導(dǎo)率隨壓力變化的原理工作，適用于中低真空范圍的壓力檢測(cè)，常用于真空爐、鍍膜設(shè)備、分析儀器及科研實(shí)驗(yàn)裝置。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量范圍：1×10⁻¹ Pa ～ 1×10³ Pa（0.001 mbar ～ 10 mbar）
- 工作電壓：AC 220V ±10% / DC 24V（依型號(hào)配置）
- 加熱絲工作電流：約 20 mA（穩(wěn)態(tài)）
- 熱偶類型：K型熱電偶
- 輸出信號(hào)：毫伏級(jí)熱電動(dòng)勢(shì)（可直接接顯示儀表或變送器）
- 耐壓能力：≤ 1.5 倍滿量程絕對(duì)壓力
- 響應(yīng)時(shí)間：≤ 2 s（從大氣壓到 1×10⁻¹ Pa 階躍變化）
- 工作溫度：環(huán)境溫度 -10℃ ～ +50℃，規(guī)管內(nèi)加熱區(qū) ≤ 250℃
- 材質(zhì)：不銹鋼外殼，耐高溫玻璃絕緣，耐腐蝕
- 接口形式：KF16、KF25、CF35 等（可按需定制）
- 重量：約 120 g
使用注意事項(xiàng)
- 嚴(yán)禁在高于測(cè)量上限的壓力下長時(shí)間工作，避免加熱絲過熱燒毀。
- 不可用于含高活性化學(xué)氣體（如強(qiáng)酸蒸氣、氟化物等）環(huán)境，防止規(guī)管腐蝕失效。
- 安裝時(shí)需保證規(guī)管與真空腔體密封良好，密封圈選用耐溫耐腐蝕材料（如氟橡膠）。
- 測(cè)量前確保系統(tǒng)真空度不低于 1×10⁻¹ Pa，否則熱偶規(guī)線性差且易過載。
- 規(guī)管加熱絲脆弱，搬運(yùn)及安裝時(shí)避免碰撞、震動(dòng)，禁止用手直接接觸金屬部分以防靜電或機(jī)械損傷。
- 長期停用應(yīng)存放在干燥無腐蝕性氣體的環(huán)境中，建議每 6~12 個(gè)月通電預(yù)熱檢查一次。
- 更換規(guī)管時(shí)應(yīng)斷電操作，確認(rèn)電路完全斷開后再拆卸，防止觸電或誤觸發(fā)。
- 校準(zhǔn)周期建議為 12 個(gè)月或使用環(huán)境條件惡劣時(shí)縮短，采用標(biāo)準(zhǔn)真空校準(zhǔn)裝置進(jìn)行比對(duì)。
典型應(yīng)用
ZJ-51 熱偶規(guī)管適合用于真空獲得設(shè)備的中段監(jiān)控、薄膜沉積工藝過程壓力控制、真空干燥箱壓力指示以及實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)的安全保護(hù)監(jiān)測(cè)，兼容多數(shù)國產(chǎn)及進(jìn)口真空計(jì)表頭。
ZJ-51 熱偶規(guī)管（真空規(guī)管）
上海雙旭ZJ-51熱偶規(guī)管（真空規(guī)管）產(chǎn)品使用說明
一、安裝與連接：將ZJ-51熱偶規(guī)管通過其標(biāo)準(zhǔn)接口（通常為KF16或DN16法蘭）連接到真空系統(tǒng)的測(cè)量端口。確保密封圈完好，接口緊固以防止漏氣。規(guī)管電氣部分需匹配對(duì)應(yīng)真空計(jì)控制器（如雙旭ZJ系列儀表），使用專用電纜連接電極，注意電源極性。
二、工作條件：規(guī)管適用于測(cè)量低真空范圍（通常10⁻¹至10⁻⁴ Pa）。工作環(huán)境溫度建議在5-40℃，相對(duì)濕度≤80%。避免劇烈震動(dòng)或直接暴露于腐蝕性氣體中。
三、啟動(dòng)與校準(zhǔn)：開啟真空系統(tǒng)后，給真空計(jì)控制器通電。待系統(tǒng)壓力穩(wěn)定后，根據(jù)控制器指示進(jìn)行零點(diǎn)或滿度校準(zhǔn)（部分儀表自動(dòng)校準(zhǔn)）。使用前檢查熱偶絲是否完好，如有斷裂需更換。
四、測(cè)量操作：將規(guī)管接通至待測(cè)真空腔，等待約1-2分鐘使其熱平衡。讀取控制表頭顯示的壓力值。若數(shù)值跳動(dòng)或異常，檢查系統(tǒng)漏氣或規(guī)管污染情況。
五、維護(hù)與儲(chǔ)存：定期用無水乙醇清潔規(guī)管內(nèi)部，擦除灰塵與油垢。不使用時(shí)存放于干燥清潔環(huán)境中，避免熱偶絲氧化。若測(cè)量精度下降，可通過控制器再生功能或返廠校準(zhǔn)處理。
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
1. 高靈敏度與寬量程：基于熱電偶原理，ZJ-51對(duì)低真空壓力變化敏感，測(cè)量范圍覆蓋10⁻¹至10⁻⁴ Pa，滿足多數(shù)工業(yè)與科研真空要求。
2. 長期穩(wěn)定性：采用耐腐蝕金屬外殼和優(yōu)質(zhì)熱偶絲，抗污染能力強(qiáng)，連續(xù)工作下漂移小，減少頻繁標(biāo)定需求。
3. 快速響應(yīng)：熱偶結(jié)構(gòu)熱慣性低，響應(yīng)時(shí)間短，適合實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)真空系統(tǒng)壓力波動(dòng)。
4. 兼容性高：標(biāo)準(zhǔn)法蘭接口設(shè)計(jì)，適配主流真空系統(tǒng)；雙旭原裝控制器確保即插即用，也可匹配其他品牌儀表（需驗(yàn)證信號(hào)類型）。
5. 經(jīng)濟(jì)實(shí)用：相較于高真空規(guī)管（電離式等），ZJ-51成本較低，維護(hù)簡(jiǎn)單，適合低真空?qǐng)鼍暗囊?guī)模化應(yīng)用。 |
