ZJ-14 高真空規(guī)管（潘寧規(guī)/冷陰極電離規(guī)）
上海雙旭ZJ-14 高真空規(guī)管（潘寧規(guī)/冷陰極電離規(guī)）
產(chǎn)品概述
ZJ-14為高真空測量用冷陰極電離規(guī)（潘寧規(guī)），基于潘寧放電原理工作，無熱燈絲，適用于高真空及超高真空環(huán)境測量。結(jié)構(gòu)緊湊、抗污染能力強，可在有少量殘余氣體或輕度放氣條件下穩(wěn)定工作，廣泛用于真空爐、鍍膜設(shè)備、半導(dǎo)體制造及科研真空系統(tǒng)。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量范圍：1×10⁻¹ Pa ～ 1×10⁻⁷ Pa（部分工況可擴展至1×10⁻⁸ Pa）
- 工作電壓：DC 2.5 kV ～ 4.0 kV（典型值3.5 kV）
- 啟動壓強：≤ 1×10⁻¹ Pa（低于此值需預(yù)抽或輔助啟動）
- 電極材料：陽極不銹鋼，陰極鎢/鈦合金
- 工作溫度：-20℃ ～ +80℃（外殼允許范圍）
- 烘烤溫度：≤ 150℃（短時）/ ≤ 120℃（連續(xù)）
- 耐壓強度：≥ 8 kV（直流）
- 接口類型：DN16 CF / KF16（可選法蘭安裝）
- 尺寸（不含法蘭）：長度≤ 120 mm，直徑≤ 25 mm
- 重量：≤ 100 g
- 壽命：≥ 5000 h（在潔凈真空環(huán)境下）
工作原理
ZJ-14利用潘寧放電效應(yīng)，在陰極與陽極間施加高壓形成磁場輔助電子振蕩，使電子與氣體分子碰撞產(chǎn)生電離，離子流與壓強成一定函數(shù)關(guān)系，經(jīng)校準后輸出對應(yīng)真空度信號。冷陰極結(jié)構(gòu)避免熱燈絲燒毀，可在較高壓強啟動并在低真空段快速響應(yīng)。
使用注意事項
- 啟動前確保系統(tǒng)真空度≤ 1×10⁻¹ Pa，否則放電不穩(wěn)定或無法起輝；若壓強過高需先用前級泵或粗抽降低。
- 嚴禁在大氣或高壓強下長時間通電，防止電極燒蝕或絕緣擊穿。
- 規(guī)管必須可靠接地，避免高壓泄漏造成設(shè)備損壞或人身危險。
- 避免油蒸氣、粉塵、金屬蒸汽等污染物進入規(guī)管，污染會顯著降低靈敏度和壽命。
- 不可在含氧量高的環(huán)境中工作，氧會與陰極材料反應(yīng)導(dǎo)致性能衰減。
- 規(guī)管烘烤時嚴格控制在額定溫度內(nèi)，超溫會損壞內(nèi)部絕緣和電極。
- 更換或維護時須斷電并確認放電完全停止，防止高壓殘余觸電。
- 安裝時保持規(guī)管軸向與氣流方向一致，避免遮擋影響測量精度。
- 定期校準，建議每6～12個月或在更換工況環(huán)境后重新標定。
- 運輸及儲存應(yīng)避免劇烈震動與潮濕環(huán)境，以防結(jié)構(gòu)位移或絕緣下降。
適用范圍
適用于高真空/超高真空系統(tǒng)的在線監(jiān)測，尤其適合需要頻繁啟停、存在輕度放氣或要求長壽命免維護的工業(yè)與科研場合，如磁控濺射、電子束蒸發(fā)、離子注入、真空釬焊、高能物理實驗裝置。
ZJ-14 高真空規(guī)管（潘寧規(guī)/冷陰極電離規(guī)）
上海雙旭ZJ-14 高真空規(guī)管（潘寧規(guī)/冷陰極電離規(guī)）產(chǎn)品使用說明
1. 安裝前需確保真空系統(tǒng)已關(guān)閉并處于安全狀態(tài)。將ZJ-14規(guī)管插入標準CF或KF真空接口，使用金屬密封圈（如無氧銅墊）確保密封。避免手直接接觸電極，防止污染。推薦使用配套的高壓電連接線（通常含1kV以上隔離）。
2. 接通電源前檢查內(nèi)部電極無短路或異物。輸入電源：通常為220VAC/50Hz，部分型號需24VDC適配器，務(wù)必核對標簽。啟動時先打開真空系統(tǒng)抽至低真空（<10Pa），嚴禁在大氣壓下開啟高壓，否則會損壞規(guī)管或引發(fā)放電危險。
3. 調(diào)節(jié)測量模式：ZJ-14基于冷陰極潘寧放電原理，測量范圍1×10⁻¹ ~ 1×10⁻⁵ Pa。通過顯示面板或控制器選擇壓強單位（Pa/mbar/Torr）。等待30秒穩(wěn)定后讀取數(shù)值。若讀數(shù)為零或異常閃爍，檢查是否真空度未達啟動閾值，或電極老化。
4. 維護與報廢：每使用2000小時或發(fā)現(xiàn)點火困難時，用丙酮和無塵布清潔陰極表面（需斷電并泄壓后操作）。禁止用砂紙或化學(xué)溶劑擦拭陶瓷絕緣件。報廢時按電子廢棄物處理，內(nèi)部含釷涂層（放射性極微量，但需專業(yè)回收）。
主要優(yōu)點
1. 耐高壓啟動：無需熱燈絲，冷陰極設(shè)計避免熱燈絲在低真空下燒斷風(fēng)險，適合頻繁啟停的工業(yè)腔體（如濺射鍍膜機）。
2. 寬量程線性輸出：在1×10⁻¹至1×10⁻⁵ Pa范圍內(nèi)輸出對數(shù)信號，配合控制器可實現(xiàn)自動切換量程，精度±15%。
3. 抗污染性強：電極結(jié)構(gòu)堅固，對油蒸氣、碳氫化合物和水汽耐受度高于熱陰極規(guī)（抗中毒能力提升3倍以上）。
4. 低維護成本：無熱源部件，壽命通常超過5000小時；僅需定期清潔電極，無燈絲更換費用。
5. 緊湊與兼容性：體積僅為標準DN16法蘭尺寸，可替換市場上多數(shù)潘寧規(guī)（如Edwards AIG17、MKS 421）。 |
