ZDL-14V01 冷陰極高真空電離真空計(jì)表（電離規(guī)/冷規(guī)）
上海雙旭 ZDL-14V01 冷陰極高真空電離真空計(jì)介紹
產(chǎn)品概述：ZDL-14V01 為上海雙旭推出的冷陰極高真空電離真空計(jì)（又稱電離規(guī)/冷規(guī)），采用冷陰極放電原理實(shí)現(xiàn)高真空度測量，適用于無油超高真空系統(tǒng)、科研實(shí)驗(yàn)裝置及半導(dǎo)體工藝設(shè)備。該規(guī)無需預(yù)熱，響應(yīng)快，抗污染能力優(yōu)于熱陰極規(guī)，可在高真空至超高真空范圍穩(wěn)定工作。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量范圍：1×10⁻² Pa ~ 1×10⁻⁸ Pa（部分量程可擴(kuò)展至 1×10⁻⁹ Pa）
- 工作電壓：DC ±24 V（或 AC 220 V 供電，內(nèi)置電源模塊）
- 啟動(dòng)壓力：≤ 1×10⁻¹ Pa（冷規(guī)可直接啟動(dòng)，無需預(yù)抽至更低壓力）
- 放電電流：0.5 mA ~ 5 mA（可調(diào)，根據(jù)真空度自動(dòng)匹配）
- 輸出信號：0~10 V 線性模擬量 / RS485 數(shù)字通訊（可選）
- 規(guī)管材質(zhì)：不銹鋼 304/316L，法蘭接口 CF16 / KF25（可選）
- 耐壓強(qiáng)度：≥ 1500 Pa·m³/s（瞬間耐大氣沖擊）
工作溫度：-20℃ ~ +80℃
- 防護(hù)等級：IP54（外殼）
- 響應(yīng)時(shí)間：< 100 ms（從低真空到高真空切換）
- 壽命：連續(xù)工作時(shí)間 ≥ 8000 h（視使用環(huán)境而定）
工作原理
ZDL-14V01 基于潘寧放電冷陰極原理，在兩平行電極間施加高壓形成磁場約束電子路徑，使電子與殘余氣體分子反復(fù)碰撞產(chǎn)生離子，離子流大小與氣體壓力成正比，通過檢測離子流換算出真空度。冷陰極結(jié)構(gòu)避免了熱燈絲燒損，適合頻繁暴露大氣或存在腐蝕性氣體的場合。
性能特點(diǎn)
- 無需預(yù)熱，通電即測，適合快速抽空過程監(jiān)控
- 耐瞬時(shí)大氣沖擊，恢復(fù)時(shí)間短
- 對油污、粉塵耐受性強(qiáng)，維護(hù)周期長
- 兼容多種真空獲得設(shè)備及控制系統(tǒng)
- 可定制高溫型或耐腐蝕特殊規(guī)管
使用注意事項(xiàng)
- 安裝位置應(yīng)避開強(qiáng)磁場、大振動(dòng)源及高頻輻射干擾，確保讀數(shù)穩(wěn)定
- 規(guī)管接入真空系統(tǒng)時(shí)需保證密封可靠，法蘭面清潔無劃傷，建議使用無氧銅墊片或氟橡膠密封圈
- 在壓力高于 1×10⁻¹ Pa 時(shí)避免長時(shí)間運(yùn)行，防止放電功率過大縮短壽命
- 嚴(yán)禁規(guī)管暴露在大氣中長時(shí)間通電，以免內(nèi)部絕緣擊穿或電極氧化
- 測量含腐蝕性氣體（如 Cl₂、HCl、HF 等）時(shí)需選配耐腐蝕規(guī)管，并定期檢查電極狀態(tài)
- 定期清潔規(guī)管外部及電極組件，防止沉積物影響放電穩(wěn)定性
- 更換規(guī)管或維修時(shí)須斷電操作，避免高壓觸電風(fēng)險(xiǎn)
- 若采用數(shù)字通訊，應(yīng)確保通訊協(xié)議參數(shù)與上位機(jī)匹配，并做好屏蔽防干擾處理
- 長期停用應(yīng)存放在干燥潔凈環(huán)境，建議每 6 個(gè)月通電檢查一次
應(yīng)用領(lǐng)域
適用于真空爐、粒子加速器、表面分析儀器、薄膜沉積設(shè)備、半導(dǎo)體刻蝕與CVD系統(tǒng)、空間環(huán)境模擬艙等高真空或超高真空場景的壓力監(jiān)測與控制。
ZDL-14V01 冷陰極高真空電離真空計(jì)表（電離規(guī)/冷規(guī)）
上海雙旭 ZDL-14V01 冷陰極高真空電離真空計(jì) 產(chǎn)品使用說明
1. 安裝與連接：將冷陰極電離規(guī)管（推薦 ZJ-32 或兼容型號）通過 KF16 或 CF35 法蘭固定于待測真空腔體。確保規(guī)管與真空計(jì)主機(jī)通過專用五芯屏蔽電纜連接，電纜端頭插入主機(jī)后面板“規(guī)管”接口并旋緊。主機(jī)電源接入 220V/50Hz 交流市電，接地端子需可靠接地，避免干擾與電擊風(fēng)險(xiǎn)。
2. 啟動(dòng)與測量：確認(rèn)腔體真空度低于 1 Pa（建議先用熱偶計(jì)或電阻規(guī)預(yù)抽至低真空）。按下主機(jī)前面板“電源”開關(guān)，顯示屏點(diǎn)亮后自動(dòng)進(jìn)入待機(jī)狀態(tài)。按“測量”鍵啟動(dòng)冷陰極放電，約 3-5 秒后顯示當(dāng)前真空度數(shù)值（單位默認(rèn) Torr，可通過菜單切換為 kPa 或 mbar）。測量范圍：1×10⁻¹ 至 1×10⁻⁶ Pa（線性模式），低于 1×10⁻⁶ Pa 時(shí)自動(dòng)切換至擴(kuò)展模式。
3. 操作與校準(zhǔn)：按“設(shè)置”鍵進(jìn)入菜單，用“▲/▼”鍵選擇“空氣校準(zhǔn)”或“氬氣校準(zhǔn)”（基于介質(zhì)氣體類型）。校準(zhǔn)需在已知標(biāo)準(zhǔn)真空度（如 1×10⁻³ Pa）下進(jìn)行，按“確認(rèn)”鍵完成修正。建議每半年或更換規(guī)管后執(zhí)行一次校準(zhǔn)。
4. 停機(jī)與維護(hù)：測量完成后，先按“停止”鍵關(guān)閉高壓放電，再關(guān)閉電源開關(guān)。若長期未用，建議斷開規(guī)管電纜。污染嚴(yán)重時(shí)，規(guī)管內(nèi)壁可用丙酮或酒精清洗，晾干后重新安裝。禁止在高于 1 Pa 的壓力下頻繁啟動(dòng)放電，以免陰極濺射導(dǎo)致壽命縮短。
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
一、寬量程與高精度：ZDL-14V01 采用冷陰極潘寧放電原理，測量范圍覆蓋低真空至超高真空（1×10⁻¹ 至 1×10⁻⁶ Pa），在 1×10⁻³ Pa 量級測量精度優(yōu)于 ±15%（空氣中），無需熱燈絲，避免像熱陰極規(guī)那樣的燒毀風(fēng)險(xiǎn)。
二、可靠性極強(qiáng)：冷陰極結(jié)構(gòu)內(nèi)部無易耗熱絲，抗震動(dòng)、抗腐蝕氣體能力強(qiáng)（適用于氧氣、氮?dú)�、氬氣等常見工藝氣氛）。�?guī)管耐受瞬間暴露大氣沖擊，不會因誤操作損壞，適合工業(yè)真空鍍膜、濺射設(shè)備等惡劣工況。
三、實(shí)時(shí)響應(yīng)與低功耗：啟動(dòng)時(shí)間小于 5 秒，顯示刷新率最高 20 Hz，可追蹤快速真空變化。整機(jī)功耗僅 8W，無發(fā)熱元件，適合密集儀表柜安裝。內(nèi)置不銹鋼屏蔽盒，抗電磁干擾表現(xiàn)優(yōu)秀。
四、智能保護(hù)功能：具備超壓自動(dòng)關(guān)斷放電（壓力 > 1 Pa 時(shí)），以及溫度補(bǔ)償與數(shù)字濾波，減少現(xiàn)場振動(dòng)或泵體干擾帶來的波動(dòng)。設(shè)定點(diǎn)輸出可連接報(bào)警或連鎖控制，延長規(guī)管壽命。 |
