MX51半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡遼寧省盤錦市售前售后




USPM-RU III鏡片反射率測定儀
USPM-RU III反射儀可精確測量當(dāng)前分光儀無法測量的微小、超薄樣本的光譜反射率,不會與樣本背面的反射光產(chǎn)生干涉。 是最適合測量曲面反射率、鍍膜評價、微小部品的反射率測定系統(tǒng)。用物鏡對焦于樣本表面的微小光斑(?60 μm),可以測定鏡片曲面及鍍膜層是否均勻。
1、采用特殊光學(xué)系統(tǒng),消除背面反射光。
2、不必進(jìn)行背面的防反射處理,可正確測定表面的反射率。
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MX51半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡遼寧省盤錦市售前售后
上海雙旭MX51半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡使用說明及優(yōu)點(diǎn)
產(chǎn)品概述
上海雙旭MX51是一款專為半導(dǎo)體晶圓和FPD(平板顯示器)缺陷檢測設(shè)計的高精度工業(yè)顯微鏡。適用于遼寧省盤錦市的光電、半導(dǎo)體生產(chǎn)及研發(fā)企業(yè),具備亞微米級分辨率。
售前使用說明(安裝與準(zhǔn)備)
1. 開箱后檢查主機(jī)、物鏡組(5×/10×/50×/100×)、LED光源、載物臺及校準(zhǔn)標(biāo)片是否齊全。
2. 將顯微鏡置于防振臺或穩(wěn)定桌面上,接通電源(AC 100-240V,50/60Hz)。
3. 安裝物鏡轉(zhuǎn)盤,按倍率從低到高順序旋入物鏡,聽到卡扣聲即鎖定。
4. 放置樣品(晶圓或FPD玻璃基板),使用XY電動/手動載物臺移動至觀察區(qū)域。
5. 調(diào)節(jié)粗/微調(diào)對焦旋鈕,直至圖像清晰。建議從低倍物鏡開始聚焦,避免撞片。
6. 若進(jìn)行暗場或DIC(微分干涉對比)觀察,需安裝對應(yīng)濾鏡和偏光組件。
售后維護(hù)與故障排除
1. 清潔:每日使用后,用無水乙醇擦拭物鏡前片,避免破壞鍍膜。載物臺用無塵布清理。
2. 光源更換:LED壽命約30000小時,若亮度下降,聯(lián)系上海雙旭售后訂購原廠模組(盤錦區(qū)域可撥打400-826-8812)。
3. 常見故障:
- 圖像模糊:檢查物鏡是否松動,或重新校準(zhǔn)齊焦校正環(huán)。
- 載物臺卡頓:檢查導(dǎo)軌是否積塵,用氣吹清理后涂專用潤滑脂。
- 電控失效:重啟控制器,檢查USB連接或替換電源適配器。
4. 技術(shù)支持:盤錦用戶享受免費(fèi)上門調(diào)試(保修期內(nèi)),工程師響應(yīng)時間≤48小時。
核心優(yōu)點(diǎn)
1. 高分辨率光學(xué)系統(tǒng):采用無限遠(yuǎn)校正物鏡,NA值達(dá)0.95(100×物鏡),可分辨0.2μm缺陷。
2. 復(fù)合觀察模式:明場、暗場、DIC、偏光一鍵切換,適配不同材料和鍍膜層檢測。
3. 大視野載物臺:行程300mm×200mm,兼容12英寸晶圓和Gen 5.5 FPD基板。
4. 模塊化設(shè)計:支持升級自動對焦、自動掃描和AI缺陷識別模塊(選配)。
5. 耐用性:全鑄鋁機(jī)身,環(huán)境耐受溫度0-45℃,適應(yīng)盤錦濕度變化(≤90% RH)。
6. 成本效益:相比進(jìn)口同級機(jī)型,價格低30%,且配件通用性強(qiáng),維護(hù)成本可控。 |