MX61A半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡浙江省溫州市使用要求
USPM-RU III鏡片反射率測定儀
USPM-RU III反射儀可精確測量當(dāng)前分光儀無法測量的微小、超薄樣本的光譜反射率，不會與樣本背面的反射光產(chǎn)生干涉。 是最適合測量曲面反射率、鍍膜評價、微小部品的反射率測定系統(tǒng)。用物鏡對焦于樣本表面的微小光斑（?60 μm），可以測定鏡片曲面及鍍膜層是否均勻。
1、采用特殊光學(xué)系統(tǒng)，消除背面反射光。
2、不必進行背面的防反射處理，可正確測定表面的反射率。
MX61A半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡浙江省溫州市使用要求
DSX510光學(xué)數(shù)碼顯微鏡，EMT220AN ，JLKJ-Z雙向拉繩開關(guān)，KLB-T-Z雙向拉繩開關(guān)，SC1K-A4，LSKGIIZ雙向拉繩開關(guān)，BY110 ，GUT-62 ，BFXH3-B01，YH-BF，RNS-I雙向拉繩開關(guān)，BSLS-Ⅱ雙向拉繩開關(guān)，HFKLT2-O雙向拉繩開關(guān)，DPLSI雙向拉繩開關(guān)，XLLSP雙向拉繩開關(guān) ，VC63B ，BC-8-Y，TGSG-06A，JHLSI雙向拉繩開關(guān)，HZ-KLT2-II雙向拉繩開關(guān)，Y/LT-22雙向拉繩開關(guān)，JYB/KSII雙向拉繩開關(guān)，JKPT-1雙向拉繩開關(guān)，CVY-200 ，BC-2II，TRM-12，KSD-II雙向拉繩開關(guān)，JLK3Z-100雙向拉繩開關(guān)，RHLYA雙向拉繩開關(guān)，JSB/KLS1雙向拉繩開關(guān)，SDJ-9001 ，IPLEX YS工業(yè)視頻內(nèi)窺鏡，LTE-1101，YHL-I雙向拉繩開關(guān)，DSL-11雙向拉繩開關(guān)，Ф4mm覆塑鋼絲繩，JSB/KLS-2雙向拉繩開關(guān)，YPZLD-10A雙向拉繩開關(guān)，AM63A ，Labino MPXL UV H135超強紫外線燈，GP-11078T，LSF-I雙向拉繩開關(guān)，LLP7-I雙向拉繩開關(guān)，XTD-LS雙向拉繩開關(guān)，ZWL-II-C雙向拉繩開關(guān)，ZS-75雙向拉繩開關(guān)，HX6301 ，NKLS-I雙向拉繩開關(guān)，fmd-263，Y350A-A9J，LLP6AL雙向拉繩開關(guān)，YF/BLKT2-1雙向拉繩開關(guān)，LLT2A-II雙向拉繩開關(guān)，YFBLKT-I雙向拉繩開關(guān)，HZD-B ，HFKLT2-II雙向拉繩開關(guān)，
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MX61A半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡浙江省溫州市使用要求
上海雙旭MX61A半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡使用說明及優(yōu)點
一、使用要求（浙江省溫州市區(qū)域）
1. 環(huán)境條件：請在溫度10-35℃、相對濕度低于80%的無塵或潔凈室環(huán)境下使用。溫州地區(qū)濕度較高，建議配套除濕機或干燥箱以防止光學(xué)部件霉變。
2. 電源要求：輸入電壓AC 220V±10%，頻率50Hz，需接地良好。電壓波動頻繁區(qū)域建議加裝穩(wěn)壓器。
3. 安裝放置：應(yīng)置于防震臺或穩(wěn)固桌面上，避免陽光直射及氣流干擾。溫州沿海地帶需注意防潮防鹽霧腐蝕。
4. 樣品準(zhǔn)備：待檢查晶圓或FPD基板需清潔干燥，避免粉塵污染物鏡。使用前需確認載物臺行程和樣品尺寸匹配。
5. 操作安全：開機前檢查LED光源模塊是否牢固，避免長時間高亮度照射損傷眼睛。物鏡轉(zhuǎn)換時需輕旋，防止碰撞樣品。
6. 維護保養(yǎng)：每日使用后遮蓋防塵罩，每月清潔物鏡和目鏡（使用專用拭鏡紙及無水乙醇）。鏡頭內(nèi)部不可自行拆解，異常時聯(lián)系上海雙旭售后。
二、主要優(yōu)點
1. 高清晰度成像：采用無限遠校正光學(xué)系統(tǒng)，配合高數(shù)值孔徑物鏡，可清晰分辨0.5μm以下微細缺陷，適用于半導(dǎo)體晶圓和FPD面板的精密檢查。
2. 長工作距離設(shè)計：物鏡工作距離達10mm以上，便于操作探針或調(diào)整樣品，尤其適合大尺寸FPD基板的觀察和測量。
3. 模塊化結(jié)構(gòu)：支持明場、暗場、偏光、微分干涉等多種觀察方式，可根據(jù)質(zhì)檢需求快速切換，無需更換主機。
4. 大行程載物臺：配備X/Y/Z三軸精密移動機構(gòu)，行程覆蓋200mm×200mm，滿足12英寸晶圓及大尺寸FPD面板的全表面掃描。
5. 人機工程優(yōu)化：低位調(diào)焦手輪和傾斜式目鏡筒設(shè)計，減輕長時間操作的頸椎疲勞；高亮度LED光源壽命長達50000小時，免頻繁更換。
6. 防震降噪特性：機身材料采用鋁合金防震結(jié)構(gòu)，溫州地區(qū)使用時可有效抑制環(huán)境振動對成像質(zhì)量的干擾，確保檢測穩(wěn)定性。 |
