ZJ-27 高真空規(guī)管(電離規(guī)玻璃)
上海雙旭 ZJ-27 高真空規(guī)管(電離規(guī)玻璃)
產(chǎn)品概述
ZJ-27 是一種熱陰極電離真空規(guī)管,用于高真空和超高真空范圍的精確測(cè)量。其玻璃外殼適用于大多數(shù)常規(guī)真空系統(tǒng),通過(guò)測(cè)量氣體分子電離產(chǎn)生的離子流來(lái)反推真空度。
主要技術(shù)參數(shù)
- 測(cè)量范圍: 1.0×10⁻¹ Pa ~ 1.0×10⁻⁵ Pa(常規(guī)型)
- 陰極(燈絲)材料: 鎢絲
- 柵極電壓: +225 V(典型工作值)
- 收集極電壓: -25 V(典型工作值)
- 發(fā)射電流: 通常為 1 mA 或 10 mA(可切換)
- 靈敏度(氮?dú)獾刃В?/strong> 約 0.15 Pa⁻¹(具體值以出廠校準(zhǔn)為準(zhǔn))
- 連接方式: 標(biāo)準(zhǔn)玻璃芯柱,配相應(yīng)電連接器
- 外殼材質(zhì): 硼硅玻璃
- 安裝方式: 通常為標(biāo)準(zhǔn)法蘭(如CF、KF或金屬法蘭接口,具體取決于型號(hào)配置)
使用注意事項(xiàng)
- 大氣保護(hù): 規(guī)管必須在真空度優(yōu)于 10⁻¹ Pa 時(shí)才能開(kāi)啟燈絲加熱,絕對(duì)禁止在大氣或低真空狀態(tài)下通電,否則將瞬間燒毀燈絲。
- 安裝方向: 建議開(kāi)口向下或水平安裝,避免顆粒物落入規(guī)管內(nèi)部。
- 清潔與烘烤: 如系統(tǒng)需要烘烤,烘烤溫度不得超過(guò)玻璃承受極限(通常≤450°C),且應(yīng)斷開(kāi)規(guī)管電連接。避免油脂或污染物接觸規(guī)管內(nèi)部。
- 燈絲使用: 通常配備兩根燈絲,可切換使用以延長(zhǎng)壽命。當(dāng)一根燈絲斷裂或污染后,可切換至備用燈絲。
- 氣體影響: 測(cè)量讀數(shù)對(duì)氣體種類(lèi)敏感,校準(zhǔn)系數(shù)通常針對(duì)氮?dú)。測(cè)量活性氣體或有機(jī)蒸汽可能導(dǎo)致靈敏度變化、燈絲中毒或碳化,影響精度與壽命。
- 電氣連接: 確保電極電壓(柵壓、收集極電壓、燈絲電壓)嚴(yán)格符合配套控制器要求,錯(cuò)誤接線(xiàn)會(huì)導(dǎo)致規(guī)管損壞或測(cè)量失準(zhǔn)。
- 振動(dòng)與沖擊: 玻璃外殼易碎,應(yīng)避免機(jī)械沖擊和劇烈振動(dòng)。
- 存放: 存放于干燥清潔環(huán)境,最好保持真空或充干燥惰性氣體密封。
典型應(yīng)用
廣泛應(yīng)用于科研實(shí)驗(yàn)室、真空鍍膜、粒子加速器、半導(dǎo)體工藝、空間模擬、真空冶金等高真空和超高真空系統(tǒng)。
ZJ-27 高真空規(guī)管(電離規(guī)玻璃)
### 上海雙旭ZJ-27高真空規(guī)管(電離規(guī)玻璃)產(chǎn)品使用說(shuō)明
1. **安裝規(guī)范**:安裝前需確認(rèn)規(guī)管接口與真空系統(tǒng)接口匹配,安裝過(guò)程中避免碰撞玻璃外殼,防止碎裂。規(guī)管應(yīng)垂直或水平安裝于真空系統(tǒng)的合適位置,確保測(cè)量區(qū)域氣體流通順暢,避免安裝在高氣流沖擊或溫度突變區(qū)域。
2. **預(yù)熱與校準(zhǔn)**:接通電源后,需預(yù)熱15-30分鐘,待規(guī)管內(nèi)部溫度穩(wěn)定后再進(jìn)行測(cè)量。首次使用或長(zhǎng)時(shí)間停用后,需使用標(biāo)準(zhǔn)真空校準(zhǔn)系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn),確保測(cè)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。校準(zhǔn)過(guò)程需嚴(yán)格按照操作手冊(cè)步驟執(zhí)行,記錄校準(zhǔn)參數(shù)以備后續(xù)參考。
3. **測(cè)量操作**:通過(guò)配套的真空計(jì)控制器設(shè)置測(cè)量參數(shù),包括電離電流、測(cè)量量程等。測(cè)量過(guò)程中密切關(guān)注真空計(jì)顯示數(shù)據(jù),若出現(xiàn)數(shù)據(jù)異常波動(dòng),需檢查規(guī)管與系統(tǒng)的連接密封性,或排查電源穩(wěn)定性。當(dāng)真空度低于規(guī)管測(cè)量下限(通常為10^-1 Pa)時(shí),應(yīng)及時(shí)關(guān)閉規(guī)管電源,防止規(guī)管燈絲損壞。
4. **維護(hù)與保養(yǎng)**:定期檢查規(guī)管玻璃外殼是否有裂紋、污漬,若有污漬可用無(wú)水乙醇輕輕擦拭外殼表面。長(zhǎng)期使用后,規(guī)管燈絲可能會(huì)老化,需根據(jù)使用頻率定期更換燈絲。更換燈絲時(shí)需關(guān)閉電源并確保真空系統(tǒng)處于大氣壓狀態(tài),操作過(guò)程中避免觸碰燈絲電極。
5. **注意事項(xiàng)**:規(guī)管工作時(shí)內(nèi)部處于高溫狀態(tài),避免觸碰外殼以防燙傷。禁止在規(guī)管通電狀態(tài)下拆卸或調(diào)整接口,防止觸電或損壞規(guī)管。若規(guī)管出現(xiàn)故障,請(qǐng)勿自行拆解,應(yīng)聯(lián)系專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員進(jìn)行維修。
### 上海雙旭ZJ-27高真空規(guī)管(電離規(guī)玻璃)產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
1. **高精度測(cè)量**:采用先進(jìn)的電離規(guī)技術(shù),能夠精準(zhǔn)測(cè)量10^-1 ~ 10^-8 Pa范圍內(nèi)的高真空度,測(cè)量誤差小,數(shù)據(jù)穩(wěn)定性強(qiáng),適用于對(duì)真空度要求嚴(yán)格的科研、工業(yè)生產(chǎn)場(chǎng)景。
2. **優(yōu)質(zhì)玻璃材質(zhì)**:外殼選用高強(qiáng)度耐高溫玻璃,具備良好的氣密性和化學(xué)穩(wěn)定性,可適應(yīng)復(fù)雜的真空環(huán)境,耐腐蝕性強(qiáng),有效延長(zhǎng)規(guī)管的使用壽命。
3. **快速響應(yīng)性能**:規(guī)管燈絲啟動(dòng)速度快,預(yù)熱時(shí)間短,能夠迅速捕捉真空系統(tǒng)內(nèi)的壓力變化,實(shí)時(shí)反饋準(zhǔn)確數(shù)據(jù),提高工作效率。
4. **兼容性強(qiáng)**:標(biāo)準(zhǔn)化接口設(shè)計(jì),可與市面上大多數(shù)真空計(jì)控制器配套使用,無(wú)需額外適配改造,方便集成到現(xiàn)有真空系統(tǒng)中。
5. **低功耗設(shè)計(jì)**:優(yōu)化內(nèi)部電路結(jié)構(gòu),降低工作能耗,在保證測(cè)量精度的同時(shí),減少能源消耗,符合節(jié)能環(huán)保的生產(chǎn)理念。 |