ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
上海雙旭 ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量原理：皮拉尼（Pirani）+ 電阻（熱陰極電離）復(fù)合規(guī)，覆蓋中低真空至高真空范圍
- 測量范圍：1×105 Pa ~ 1×10-4 Pa（皮拉尼段）；1×10-1 Pa ~ 1×10-7 Pa（電阻規(guī)段）
- 工作電壓：加熱絲供電 DC 6.3 V（或 AC 6.3 V），燈絲電流 ≤ 50 mA
- 發(fā)射電流：電阻規(guī)段 0~100 μA（可調(diào)），皮拉尼段無發(fā)射電流需求
- 輸出信號：模擬電壓 0~10 V（線性對應(yīng)壓力），或可選 4~20 mA 電流輸出
- 精度等級：±15%（全量程，恒溫條件下）
- 重復(fù)性：≤ ±5%
- 響應(yīng)時間：≤ 2 s（皮拉尼段），≤ 1 s（電阻規(guī)段）
- 工作溫度：規(guī)管本體 -20℃ ~ +80℃，環(huán)境相對濕度 ≤ 85% RH（非凝露）
- 烘烤溫度：≤ 150℃（規(guī)管不可超過此溫度，否則損壞敏感元件）
- 接口形式：KF16、KF25、CF35 等標準法蘭（可定制）
- 材質(zhì)：304 不銹鋼殼體，鎢絲加熱體，鎳鉻合金電阻絲（電阻規(guī)段）
- 壽命：≥ 10,000 小時（正常工況下）
產(chǎn)品介紹
上海雙旭 ZJ-52T 真空規(guī)管采用皮拉尼與電阻復(fù)合測量技術(shù)，可在單一規(guī)管內(nèi)實現(xiàn)從大氣壓至超高真空的連續(xù)監(jiān)測。皮拉尼段利用氣體導(dǎo)熱系數(shù)隨壓力變化特性測量中低真空，電阻規(guī)段通過熱陰極電離效應(yīng)檢測高真空，結(jié)合兩種原理消除單規(guī)測量盲區(qū)。適用于科研真空系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造、鍍膜設(shè)備、分析儀器等對寬量程和高可靠性有要求的場景。
規(guī)管內(nèi)部采用耐高溫耐腐蝕不銹鋼結(jié)構(gòu)，適配多種真空法蘭接口，安裝維護簡便。信號輸出兼容主流真空控制系統(tǒng)，支持直接接入 PLC 或數(shù)采設(shè)備，便于系統(tǒng)集成與自動化監(jiān)控。
使用注意事項
- 安裝前檢查規(guī)管外觀及法蘭密封面，確保無損傷、無污染；安裝時避免機械沖擊和過度擰緊導(dǎo)致殼體變形。
- 皮拉尼段禁止在高真空（<1×10-2 Pa）長期工作，電阻規(guī)段在大氣或高壓下會迅速燒毀燈絲，需按壓力范圍切換工作狀態(tài)。
- 規(guī)管通電前必須確認真空度處于其允許范圍，禁止在大氣狀態(tài)下直接開啟電阻規(guī)加熱電源。
- 規(guī)管烘烤溫度不得超過 150℃，否則會導(dǎo)致加熱絲氧化失效或結(jié)構(gòu)變形；烘烤時需斷開規(guī)管電源并拆除信號線。
- 避免暴露于強電磁干擾、腐蝕性氣體或放射性環(huán)境，防止影響測量準確性及規(guī)管壽命。
- 定期清潔規(guī)管外部，保持散熱良好；若測量值異常漂移，應(yīng)檢查真空系統(tǒng)泄漏或規(guī)管污染情況，必要時更換。
- 規(guī)管為精密測量元件，運輸及儲存時應(yīng)置于防震防潮包裝內(nèi)，避免劇烈振動和高溫高濕環(huán)境。
- 更換規(guī)管時需匹配原系統(tǒng)法蘭規(guī)格與電氣接口，避免因不匹配造成真空泄漏或信號不兼容。
ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
上海雙旭ZJ-52T真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）產(chǎn)品說明
一、產(chǎn)品概述
上海雙旭ZJ-52T真空規(guī)管是一款基于皮拉尼原理（電阻規(guī)原理）設(shè)計的真空測量器件，主要用于中低真空環(huán)境的壓力檢測，測量范圍覆蓋10⁵Pa至10⁻¹Pa，廣泛適配真空鍍膜、真空熱處理、真空包裝、半導(dǎo)體制造等各類工業(yè)真空設(shè)備及科研實驗裝置。該規(guī)管通過檢測加熱絲在不同真空度下的熱傳導(dǎo)變化，將壓力信號轉(zhuǎn)化為電信號，配合對應(yīng)的真空計即可實現(xiàn)真空度的精準顯示與控制。
二、產(chǎn)品使用說明
1. 安裝準備
安裝前需確認規(guī)管及配套真空計電源處于斷開狀態(tài)，避免帶電操作損壞器件。檢查規(guī)管外觀是否有磕碰、裂痕等損壞，確保進氣口密封帽完好，防止雜質(zhì)進入內(nèi)部影響測量精度。同時確認安裝接口（通常為KF法蘭或螺紋接口）與設(shè)備真空系統(tǒng)接口匹配，準備好對應(yīng)的密封墊圈以保證真空密封性。
2. 安裝步驟
首先移除規(guī)管進氣口的密封帽，將密封墊圈放置在規(guī)管接口與設(shè)備接口之間，對齊接口后均勻擰緊固定螺栓或螺紋，確保密封可靠，避免漏氣影響測量。安裝過程中需輕拿輕放，避免碰撞規(guī)管內(nèi)部加熱絲組件。安裝完成后，檢查規(guī)管接線端口，按照真空計說明書的接線要求，正確連接規(guī)管的電源、信號輸出等線路，注意接線極性，防止接反導(dǎo)致器件燒毀。
3. 開機與校準
接通真空計和規(guī)管電源后，先進行預(yù)熱，預(yù)熱時間建議為15-30分鐘，待規(guī)管內(nèi)部溫度穩(wěn)定后再進行測量。首次使用或長期停用后重新啟用時，需在大氣壓環(huán)境下進行零點校準，部分真空計支持自動校準，可按照設(shè)備操作手冊完成校準流程；若為手動校準，需在確認系統(tǒng)處于大氣壓狀態(tài)下，調(diào)整真空計校準旋鈕至顯示標準大氣壓值（約101325Pa）。
4. 真空測量與維護
開啟真空系統(tǒng)抽氣后，規(guī)管將實時反饋真空度信號至真空計，可通過真空計顯示屏讀取當前壓力值。測量過程中需避免系統(tǒng)內(nèi)出現(xiàn)劇烈壓力波動，防止規(guī)管加熱絲因熱沖擊損壞。日常使用中，需定期檢查規(guī)管接口的密封性，若發(fā)現(xiàn)漏氣及時重新密封。當規(guī)管測量精度下降或出現(xiàn)顯示異常時，需排查是否存在污染：若規(guī)管內(nèi)部被油污、粉塵污染，可在真空狀態(tài)下對規(guī)管進行烘烤（烘烤溫度不超過150℃），去除污染物；若烘烤后仍無法恢復(fù)精度，需更換新的規(guī)管。
5. 注意事項
規(guī)管禁止在超過測量范圍的壓力環(huán)境下長期工作，尤其是高壓環(huán)境下長時間通電會導(dǎo)致加熱絲過載燒毀。避免規(guī)管接觸腐蝕性氣體或強氧化性氣體，防止內(nèi)部組件被腐蝕。運輸和存放過程中，需重新安裝進氣口密封帽，保持規(guī)管內(nèi)部干燥清潔，避免劇烈震動和碰撞。
三、產(chǎn)品優(yōu)點
- 寬范圍精準測量：覆蓋10⁵Pa至10⁻¹Pa的中低真空區(qū)間，測量精度高，誤差控制在±10%以內(nèi)，能夠滿足大多數(shù)工業(yè)真空場景的壓力檢測需求。
- 響應(yīng)速度快：基于熱傳導(dǎo)原理設(shè)計，壓力變化時能快速反饋信號，響應(yīng)時間短，可實時追蹤真空系統(tǒng)的壓力變化過程。
- 穩(wěn)定性強：內(nèi)部加熱絲采用高性能合金材料，抗老化、抗腐蝕能力優(yōu)異，長期使用過程中性能衰減慢，測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠。
- 安裝適配性好：提供多種接口規(guī)格（如KF16、KF25法蘭接口，M16×1.5螺紋接口等），可靈活適配不同類型的真空設(shè)備，安裝操作簡便。
- 性價比高：相較于其他類型真空規(guī)管，皮拉尼規(guī)管的制造成本更低，維護簡單，使用壽命長，在中低真空測量領(lǐng)域具有較高的性價比。
- 兼容性廣：可適配市面主流品牌的真空計設(shè)備，信號輸出符合行業(yè)標準，無需額外定制適配組件，降低設(shè)備升級或替換成本。
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