ZDF-III-LED 電阻電離真空計(jì)（復(fù)合真空計(jì)）
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上海雙旭ZDF-III-LED 電阻電離真空計(jì)（復(fù)合真空計(jì)）
ZDF-III-LED是一款集成電阻規(guī)與電離規(guī)的復(fù)合真空測量儀器，可覆蓋寬范圍真空度檢測，憑借LED顯示、高穩(wěn)定性等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空熱處理等工業(yè)與科研場景。
核心產(chǎn)品參數(shù)
- 測量范圍：電阻規(guī)10⁵~10⁻¹ Pa，電離規(guī)10⁻²~10⁻⁵ Pa，復(fù)合覆蓋10⁵~10⁻⁵ Pa全量程
- 顯示方式：LED數(shù)字顯示，可切換電阻規(guī)/電離規(guī)測量數(shù)值，直觀讀取真空度
- 規(guī)管配置：標(biāo)配熱陰極電離規(guī)管與電阻規(guī)管，支持規(guī)管校準(zhǔn)功能
- 控制功能：具備電離規(guī)燈絲過流保護(hù)、真空度超限聲光報(bào)警（可選）
- 輸出接口：模擬量輸出（0~10V/4~20mA），支持與PLC、上位機(jī)系統(tǒng)聯(lián)動
- 工作環(huán)境：溫度0~40℃，濕度≤80%RH（無冷凝），電源AC220V±10% 50Hz
- 外形尺寸：臺式機(jī)型約280×220×120mm，安裝式可選嵌入式面板設(shè)計(jì)
使用注意事項(xiàng)
1. 規(guī)管安裝規(guī)范：電阻規(guī)與電離規(guī)需垂直安裝于真空系統(tǒng)，規(guī)管接口需密封可靠，避免漏氣影響測量精度；電離規(guī)燈絲脆弱，安裝時避免碰撞、震動。
2. 開機(jī)預(yù)熱與啟動順序：開機(jī)后先預(yù)熱30分鐘再進(jìn)行測量；真空系統(tǒng)需先通過電阻規(guī)抽到10⁻¹ Pa以下真空度，方可開啟電離規(guī)，防止高氣壓下燒毀電離規(guī)燈絲。
3. 燈絲維護(hù)：電離規(guī)燈絲使用壽命受真空環(huán)境影響，若發(fā)現(xiàn)燈絲頻繁損壞，需檢查系統(tǒng)真空度是否達(dá)標(biāo)，是否存在腐蝕性氣體；定期清潔規(guī)管內(nèi)部，去除油污、灰塵沉積。
4. 校準(zhǔn)周期：建議每年對規(guī)管進(jìn)行一次專業(yè)校準(zhǔn)，或在測量精度異常時及時校準(zhǔn)，校準(zhǔn)需使用標(biāo)準(zhǔn)真空源或比對校準(zhǔn)法。
5. 環(huán)境與電源要求：避免在高溫、高濕、強(qiáng)電磁干擾環(huán)境下使用；電源需接地良好，防止靜電干擾測量數(shù)據(jù)，雷雨天氣建議斷開電源。
6. 故障應(yīng)急處理：若電離規(guī)顯示異常，需立即關(guān)閉電離規(guī)電源，檢查真空度是否符合啟動條件，燈絲是否斷裂；如出現(xiàn)測量值跳變，排查系統(tǒng)是否漏氣、規(guī)管是否失效。
7. 日常保養(yǎng)：定期清潔儀器表面與規(guī)管接口，保持通風(fēng)良好；長期停機(jī)時，需關(guān)閉電離規(guī)燈絲，斷開電源，將規(guī)管密封保存。
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ZDF-III-LED 電阻電離真空計(jì)（復(fù)合真空計(jì)）
一、產(chǎn)品使用說明
1. 開機(jī)前檢查
使用前需確認(rèn)設(shè)備供電電壓與銘牌標(biāo)識一致，通常為AC220V±10%、50Hz。檢查真空規(guī)管連接是否牢固，電阻規(guī)管（熱陰極規(guī)管）與電離規(guī)管需對應(yīng)接入設(shè)備指定接口，避免接反導(dǎo)致?lián)p壞。同時確保真空系統(tǒng)處于密封狀態(tài)，無明顯漏點(diǎn)。
2. 開機(jī)操作
接通電源后，按下設(shè)備電源開關(guān)，LED顯示屏將亮起并進(jìn)入初始化狀態(tài)。初始化完成后，設(shè)備默認(rèn)顯示電阻規(guī)測量的低真空數(shù)值。若需切換至高真空測量模式，可按下“量程切換”鍵，設(shè)備將自動切換至電離規(guī)測量模式，此時需等待數(shù)分鐘讓規(guī)管穩(wěn)定，確保讀數(shù)準(zhǔn)確。
3. 測量操作
在低真空階段（通常10³Pa至10⁻¹Pa），電阻規(guī)管自動工作，LED顯示屏實(shí)時顯示真空度數(shù)值，單位默認(rèn)為Pa。當(dāng)真空度達(dá)到電離規(guī)管啟動閾值（通常低于10⁻¹Pa），可手動開啟電離規(guī)測量模式，設(shè)備將自動調(diào)整量程，精確顯示高真空數(shù)值（最低可至10⁻⁵Pa量級）。測量過程中，若出現(xiàn)數(shù)值波動過大，需檢查真空系統(tǒng)密封性或規(guī)管是否污染。
4. 關(guān)機(jī)操作
關(guān)機(jī)前需先關(guān)閉電離規(guī)測量模式，按下“電離規(guī)關(guān)閉”鍵，等待規(guī)管冷卻10-15分鐘后，再關(guān)閉設(shè)備電源開關(guān)。若長期不使用，需斷開電源，并將規(guī)管與真空系統(tǒng)斷開，做好防塵保護(hù)。
5. 日常維護(hù)
定期檢查規(guī)管清潔度，若規(guī)管表面出現(xiàn)油污或灰塵，可使用無水乙醇輕輕擦拭；若污染嚴(yán)重，需更換規(guī)管。設(shè)備需放置在干燥、通風(fēng)的環(huán)境中，避免高溫、高濕及腐蝕性氣體影響。每半年可對設(shè)備進(jìn)行一次校準(zhǔn)，確保測量精度符合要求。
二、產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
1. 復(fù)合測量，量程寬廣
集成電阻規(guī)與電離規(guī)兩種測量技術(shù)，可覆蓋從大氣壓力至10⁻⁵Pa的寬量程真空測量，滿足低真空抽氣、高真空鍍膜等不同工藝階段的真空度監(jiān)測需求，無需更換設(shè)備即可完成全流程測量。
2. LED顯示，清晰直觀
采用高亮度LED數(shù)字顯示屏，即使在車間強(qiáng)光環(huán)境下也能清晰讀取數(shù)值，同時支持單位自動切換（Pa/bar/Torr可選），操作便捷，減少讀數(shù)誤差。
3. 穩(wěn)定可靠，精度出眾
電阻規(guī)管采用進(jìn)口熱絲材質(zhì)，抗污染能力強(qiáng)，低真空測量精度可達(dá)±5%；電離規(guī)管優(yōu)化了電子發(fā)射結(jié)構(gòu)，高真空測量穩(wěn)定性好，重復(fù)誤差小于±10%，確保生產(chǎn)工藝參數(shù)的準(zhǔn)確性。
4. 智能保護(hù)，延長壽命
內(nèi)置過壓保護(hù)、過熱保護(hù)及規(guī)管失效報(bào)警功能，當(dāng)真空度高于電離規(guī)啟動閾值時，設(shè)備自動禁止電離規(guī)啟動，避免規(guī)管因高氣壓下放電燒毀；若規(guī)管出現(xiàn)故障，顯示屏將實(shí)時顯示報(bào)警代碼，便于快速排查問題。
5. 操作簡便，維護(hù)成本低
采用一鍵式量程切換設(shè)計(jì)，無需復(fù)雜參數(shù)設(shè)置，操作人員經(jīng)簡單培訓(xùn)即可上手。規(guī)管采用插拔式安裝結(jié)構(gòu)，更換便捷，日常維護(hù)僅需定期清潔規(guī)管，維護(hù)成本遠(yuǎn)低于同類進(jìn)口設(shè)備。
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