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ZDF-5227AZ 復合真空計(電阻電離真空計) 
產(chǎn)品名稱: ZDF-5227AZ 復合真空計(電阻電離真空計)
產(chǎn)品型號: shaungxu
產(chǎn)品報價:
 
   
 產(chǎn)品詳細:

ZDF-5227AZ 復合真空計(電阻電離真空計)

 

上海雙旭 ZDF-5227AZ 復合真空計(電阻電離真空計)介紹

產(chǎn)品概述:ZDF-5227AZ 為上海雙旭電子有限公司生產(chǎn)的復合型真空測量儀器,集成電阻規(guī)與電離規(guī)于一體,可覆蓋從大氣壓到高真空范圍的連續(xù)測量。適用于科研、半導體制造、真空鍍膜、真空爐及各類真空系統(tǒng)的壓力監(jiān)測與控制。

產(chǎn)品參數(shù)

  • 測量范圍:1×105 Pa ~ 1×10-8 Pa(電阻規(guī):105~100 Pa;電離規(guī):100~10-8 Pa)
  • 顯示分辨率:電阻規(guī) ≤ 1 Pa;電離規(guī)低段 ≤ 1×10-9 Pa(顯示值)
  • 測量精度:±15%(全量程,恒溫條件下)
  • 響應時間:≤ 1 s(電阻規(guī)),≤ 0.5 s(電離規(guī))
  • 工作溫度:0℃ ~ +40℃(主機);規(guī)管適用溫度 -20℃ ~ +100℃
  • 供電電源:AC 220V ±10%,50Hz / 60Hz,功率 ≤ 30W
  • 輸出接口:模擬輸出 0~10V / 4~20mA(可選),RS485/232 數(shù)字通訊
  • 規(guī)管類型:內置或外接 ZJ-52T 電阻規(guī)、ZJ-27 熱陰極電離規(guī)
  • 顯示方式:LED 或 LCD 數(shù)字顯示(多單位切換:Pa、mbar、Torr)
  • 防護等級:IP20(主機),規(guī)管按型號不同可達 IP65
  • 重量:約 2.5 kg(不含規(guī)管)
  • 尺寸:寬 240 mm × 高 90 mm × 深 280 mm(主機)

功能特點

復合式測量,自動切換電阻規(guī)與電離規(guī)工作區(qū)間,無需手動更換規(guī)管;具備零點校正和滿度校準功能;支持多點校準曲線存儲;具有過壓、過流及規(guī)管失效保護;可連接外部控制器實現(xiàn)閉環(huán)控制;抗干擾能力強,適應工業(yè)現(xiàn)場環(huán)境。

使用注意事項

  • 規(guī)管安裝須保證密封良好,避免漏氣;連接法蘭與密封圈需匹配系統(tǒng)真空度要求。
  • 電離規(guī)在高壓力下長時間工作會燒毀燈絲,必須在進入電離規(guī)測量范圍前確認真空度低于 1 Pa,否則禁止開啟電離規(guī)。
  • 嚴禁在含腐蝕性氣體、粉塵或油蒸氣環(huán)境中直接使用未加防護的規(guī)管,必要時加裝冷阱或過濾裝置。
  • 測量過程中避免強烈振動與沖擊,以免影響規(guī)管加熱絲及電極結構穩(wěn)定性。
  • 電源電壓必須符合額定值,防止電壓波動損壞電路;接地必須可靠。
  • 定期清潔規(guī)管外殼與感應元件,保持規(guī)管散熱良好;長期停用應斷開電源并妥善存放。
  • 更換規(guī)管時須斷電操作,并確認新規(guī)格與原型號匹配,避免測量誤差或損壞主機。
  • 在高溫或強輻射環(huán)境下使用前需評估規(guī)管耐環(huán)境性能,超范圍使用將導致壽命急劇下降。

 

ZDF-5227AZ 復合真空計(電阻電離真空計)

 

上海雙旭ZDF-5227AZ 復合真空計(電阻電離真空計)使用說明

產(chǎn)品使用說明

1. 安裝與連接
將電阻規(guī)(皮拉尼規(guī))和電離規(guī)分別通過標準KF或CF法蘭連接至真空系統(tǒng)。確保密封圈完好,連接緊固。使用配套電纜連接傳感器至主機對應的“電阻規(guī)”和“電離規(guī)”接口,注意防反插。

2. 開機與預熱
接通電源(AC 220V 50Hz),按下電源開關。主機自動進入自檢狀態(tài),顯示屏顯示初始數(shù)值。電阻規(guī)部分需預熱5分鐘,電離規(guī)部分需在真空度≤10⁻¹ Pa時自動啟動或手動切換,避免燈絲氧化損壞。

3. 模式切換與測量
電阻規(guī)測量范圍:大氣壓至10⁻¹ Pa,適用于低真空段。電離規(guī)(熱陰極)測量范圍:10⁻¹至10⁻⁵ Pa,用于高真空段。儀器自動或手動切換測量模式:當真空度高于10⁻¹ Pa時,自動啟用電阻規(guī);低于10⁻¹ Pa時,切換至電離規(guī)。用戶可通過面板按鍵手動選擇“電阻”“電離”或“自動”模式。

4. 設定與校準
使用“設置”鍵進入?yún)?shù)菜單:可調節(jié)電離規(guī)燈絲電流、量程上下限、報警閾值等。電阻規(guī)需用干燥氮氣進行零點校準(大氣壓下校準至1.0×10⁵ Pa)。電離規(guī)需在10⁻³ Pa高真空環(huán)境下進行校準,確保線性度。

5. 數(shù)據(jù)輸出與報警
支持RS485通訊接口(Modbus協(xié)議),可遠程讀取實時真空度。內置獨立繼電器觸點輸出(常開/常閉),可設置真空度上下限報警,用于連鎖控制如真空閥門、泵組等。

6. 關機與維護
首先關閉電離規(guī)(若已啟動),待燈絲冷卻后,方可切斷主機電源。定期用無塵布蘸酒精清潔傳感器內部,避免油污污染。電離規(guī)燈絲壽命約3000小時,需定期更換。

產(chǎn)品優(yōu)點

寬量程一體化
集成電阻規(guī)和電離規(guī),測量范圍從大氣壓至10⁻⁵ Pa連續(xù)覆蓋,無需頻繁更換傳感器或外部切換裝置。

高精度與穩(wěn)定性
采用皮拉尼電阻橋和熱陰極電離雙重技術,電阻規(guī)精度±10%讀數(shù)值,電離規(guī)精度±5%讀數(shù)值,長期漂移小,重復性好。

快速響應與自動保護
傳感器信號響應時間<0.5秒,實時顯示變化。電離規(guī)內置過電流和真空突升保護,防止燈絲因曝氣燒斷。

模塊化設計與易維護
電阻規(guī)和電離規(guī)可獨立更換,主機后置接口標準統(tǒng)一,支持熱插拔傳感器。前面板帶狀態(tài)指示燈,故障時直接提示錯誤代碼。

工業(yè)級抗干擾
外殼采用金屬屏蔽箱體,抗射頻和電磁干擾能力強,適用于真空鍍膜機、刻蝕設備、實驗室高真空系統(tǒng)等惡劣環(huán)境。

操作界面友好
配備高亮度LCD顯示屏,支持中英文菜單切換。5個物理按鍵配合旋鈕調節(jié),邏輯簡潔,新手可快速上手。

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