RBF-181 電阻電離復(fù)合真空變送器（皮拉尼冷陰極真空計）
上海雙旭 RBF-181 電阻電離復(fù)合真空變送器（皮拉尼冷陰極真空計）介紹
產(chǎn)品概述：RBF-181 為上海雙旭電子有限公司研制的電阻電離復(fù)合式真空測量儀器，集成皮拉尼熱導(dǎo)與冷陰極離子化兩種測量原理，可在寬量程范圍內(nèi)實現(xiàn)高精度真空度檢測，適用于科研、半導(dǎo)體、鍍膜、真空爐及分析儀器等場景。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量原理：皮拉尼熱導(dǎo) + 冷陰極（潘寧放電）復(fù)合式
- 測量范圍：1×105 Pa ~ 1×10-8 Pa（連續(xù)覆蓋）
- 分 辨 率：≤0.01 Pa（高真空段可達 1×10-9 Pa 顯示分辨率）
- 精 度：±15%（皮拉尼段），±30%（冷陰極段，取決于氣體種類）
- 響應(yīng)時間：≤1 s（皮拉尼段），≤2 s（冷陰極段切換）
- 工作溫度：0℃ ~ 50℃
- 存儲溫度：-20℃ ~ 70℃
- 供電電壓：DC 24 V ±10%，功耗 ≤5 W
- 輸出信號：模擬 0~10 V / 4~20 mA（可選），RS485/Modbus（可選）
- 探頭耐溫：≤100℃（傳感器部分）
- 耐壓能力：≤2000 Pa（瞬間），連續(xù)運行≤1500 Pa
- 氣體兼容性：空氣、N2、O2、Ar、He 等，特殊氣體需校準
- 安裝接口：CF16 / KF16 / DN16（可定制）
- 重量：約 250 g（不含電纜）
功能特點
采用雙原理自動切換技術(shù)，低真空由皮拉尼快速響應(yīng)，進入中高真空后自動切入冷陰極提高靈敏度；內(nèi)置溫度補償和防污染算法，提升長期穩(wěn)定性；結(jié)構(gòu)緊湊，法蘭兼容主流真空系統(tǒng)，適配多種工業(yè)總線與模擬控制系統(tǒng)。
使用注意事項
- 安裝前確認法蘭規(guī)格與系統(tǒng)匹配，避免漏氣；安裝時保持探頭垂直或按說明書指定方向，防止熱偶絲與陰極受機械應(yīng)力。
- 通電前確保真空腔體壓力在測量范圍內(nèi)，禁止在高壓強（＞1×105 Pa）下直接啟動冷陰極，以防陰極損壞。
- 首次使用或長時間停用后，需在進氣過程中逐步降壓，避免壓差沖擊損壞皮拉尼元件。
- 冷陰極對油污、粉塵、水汽敏感，高污染環(huán)境應(yīng)先加防護或定期清潔/更換探頭。
- 不同氣體類型會影響冷陰極校準系數(shù)，測非標氣體需重新標定或使用修正系數(shù)。
- 避免探頭暴露于超過 100℃ 的熱源或機械振動環(huán)境，防止內(nèi)部結(jié)構(gòu)位移影響精度。
- 模擬輸出型注意負載阻抗匹配，RS485 通信需設(shè)正確波特率及地址，防止通訊異常。
- 定期（建議每 6~12 個月）進行零點與量程檢查，必要時返廠或經(jīng)培訓(xùn)人員校準。
- 斷電前若系統(tǒng)為高真空，應(yīng)避免快速進氣至大氣壓，應(yīng)緩慢破空以防熱脹冷縮損傷元件。
RBF-181 電阻電離復(fù)合真空變送器（皮拉尼冷陰極真空計）
上海雙旭RBF-181 電阻電離復(fù)合真空變送器（皮拉尼冷陰極真空計）使用說明
RBF-181是一款集皮拉尼電阻傳感器與冷陰極電離傳感器于一體的復(fù)合真空變送器，用于測量1×10⁻⁵至1.0×10⁵ Pa的寬范圍真空度。安裝時，確保變送器垂直或水平安裝，避免振動和高溫環(huán)境。連接電源（建議24V DC，需符合規(guī)格），并通過RS485或模擬輸出接口（0-10V或4-20mA）對接PLC或上位機。啟動前，檢查系統(tǒng)密封性；冷陰極部分需注意高電壓安全（通常啟動電壓2000V以上）。使用期間，定期清潔陰極板及電阻絲，防止污染影響精度。更換或維修時，必須斷電并放空真空室。
主要優(yōu)點
1. 寬量程高精度：電阻與冷陰極復(fù)合測量，覆蓋大氣壓到高真空，無需更換傳感器。2. 耐腐蝕設(shè)計：冷陰極無熱絲，適合氧氣、腐蝕性氣體環(huán)境，壽命長。3. 快速響應(yīng)：電離部分啟動迅速，測量延遲小于1秒。4. 抗污染：皮拉尼段自動溫度補償，減少油污或沉積物影響。5. 數(shù)字通信：支持Modbus RTU或多路模擬輸出，集成方便。6. 緊湊堅固：全金屬外殼，適合工業(yè)真空系統(tǒng)或?qū)嶒炇沂褂谩?/p> |
