ZDY-IV01 壓阻真空計(jì)（真空規(guī)/壓阻規(guī)）
上海雙旭 ZDY-IV01 壓阻真空計(jì)
產(chǎn)品概述：ZDY-IV01 壓阻真空計(jì)由上海雙旭電子科技有限公司研發(fā)，采用壓阻式傳感原理，用于測(cè)量氣體絕對(duì)壓力，量程覆蓋中低真空范圍。適用于科研、半導(dǎo)體、鍍膜、真空爐及各類(lèi)工業(yè)真空系統(tǒng)的壓力監(jiān)測(cè)與控制。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量原理：壓阻式（Piezo-resistive）
- 測(cè)量范圍：105 ~ 10-1 Pa（約760 Torr ~ 0.001 Torr）
- 精度等級(jí)：±1% F.S.（滿量程）
- 分辨率：≤1% F.S.
- 響應(yīng)時(shí)間：< 500 ms（典型值）
- 工作溫度：0℃ ~ +50℃（傳感器部分可耐 -20℃ ~ +80℃）
- 供電電壓：DC 24V ±10%
- 輸出信號(hào)：4~20 mA（兩線制）/ RS485（可選）
- 防護(hù)等級(jí)：IP65（外殼）
- 材質(zhì)：不銹鋼接口，陶瓷傳感器芯體
- 安裝方式：KF16/KF25/法蘭等（依型號(hào)配置）
- 重量：約200 g
- 校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)：符合 JJG 932-1998 壓力控制器檢定規(guī)程
功能特點(diǎn)
采用高穩(wěn)定性壓阻芯片，長(zhǎng)期漂移��；具備溫度補(bǔ)償，保證不同工況下測(cè)量一致性；結(jié)構(gòu)緊湊，易集成至真空系統(tǒng)；支持多種通訊接口，方便與 PLC/DCS 或數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)對(duì)接；抗振動(dòng)沖擊性能較好，適應(yīng)工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境。
使用注意事項(xiàng)
- 安裝前確認(rèn)被測(cè)介質(zhì)與傳感器材質(zhì)兼容，避免腐蝕性氣體或顆粒進(jìn)入導(dǎo)致?lián)p壞。
- 禁止在超過(guò)最大耐壓（≥150% F.S.）條件下使用，否則會(huì)永久損壞傳感器。
- 在高真空段（<10-1 Pa）測(cè)量時(shí)，壓阻規(guī)靈敏度下降，需結(jié)合電離規(guī)使用以獲得更寬量程覆蓋。
- 通電前應(yīng)檢查供電極性及電壓范圍，防止反接或過(guò)壓燒毀電路。
- 傳感器應(yīng)避免劇烈機(jī)械沖擊和強(qiáng)磁場(chǎng)干擾，以免影響零點(diǎn)及靈敏度。
- 定期校準(zhǔn)（建議每 12 個(gè)月一次），確保測(cè)量精度；校準(zhǔn)應(yīng)在與工況相近的溫度和壓力下進(jìn)行。
- 介質(zhì)溫度變化較大時(shí)，應(yīng)等待熱平衡后再讀數(shù)，以免溫度漂移影響結(jié)果。
- 清潔維護(hù)時(shí)勿用有機(jī)溶劑浸泡傳感器本體，僅可用干燥壓縮空氣或惰性氣體吹掃。
- 信號(hào)電纜應(yīng)選用屏蔽線并良好接地，減少電磁干擾對(duì)輸出穩(wěn)定性的影響。
典型應(yīng)用
真空獲得設(shè)備監(jiān)控、真空干燥箱壓力檢測(cè)、薄膜沉積工藝過(guò)程控制、制冷系統(tǒng)低壓側(cè)測(cè)量、科學(xué)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)真空度反饋。
ZDY-IV01 壓阻真空計(jì)（真空規(guī)/壓阻規(guī)）
上海雙旭ZDY-IV01壓阻真空計(jì)（真空規(guī)/壓阻規(guī)）
產(chǎn)品使用說(shuō)明
1. 安裝準(zhǔn)備：安裝前需確認(rèn)真空系統(tǒng)處于無(wú)泄漏、無(wú)雜質(zhì)狀態(tài)，選擇干燥、通風(fēng)且無(wú)強(qiáng)電磁干擾的環(huán)境進(jìn)行安裝。將壓阻規(guī)通過(guò)適配接口與真空系統(tǒng)連接，確保接口密封良好，避免因漏氣影響測(cè)量精度。安裝過(guò)程中避免碰撞壓阻規(guī)敏感元件，防止損壞內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
2. 開(kāi)機(jī)與校準(zhǔn)：接通電源后，設(shè)備進(jìn)入預(yù)熱模式，預(yù)熱時(shí)間建議不少于30分鐘，待系統(tǒng)穩(wěn)定后進(jìn)行校準(zhǔn)操作。可根據(jù)實(shí)際需求選擇零點(diǎn)校準(zhǔn)或滿量程校準(zhǔn)，校準(zhǔn)時(shí)需使用標(biāo)準(zhǔn)真空源作為參照，按照設(shè)備說(shuō)明書(shū)步驟完成參數(shù)設(shè)置，確保測(cè)量基準(zhǔn)準(zhǔn)確。
3. 測(cè)量操作：校準(zhǔn)完成后，進(jìn)入測(cè)量界面，設(shè)備將實(shí)時(shí)顯示真空度數(shù)值。如需記錄數(shù)據(jù)，可通過(guò)設(shè)備自帶的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能或連接外部計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)導(dǎo)出。測(cè)量過(guò)程中若出現(xiàn)數(shù)值異常波動(dòng)，需檢查真空系統(tǒng)密封性或壓阻規(guī)連接狀態(tài)，排除故障后再繼續(xù)測(cè)量。
4. 維護(hù)與保養(yǎng)：定期檢查壓阻規(guī)接口密封性，清理接口處的灰塵和雜質(zhì)；每月進(jìn)行一次零點(diǎn)校準(zhǔn)，確保測(cè)量精度。避免壓阻規(guī)接觸腐蝕性氣體或液體，如遇污染需及時(shí)使用專(zhuān)用清潔劑清潔。長(zhǎng)期不使用時(shí)，應(yīng)斷開(kāi)電源，將壓阻規(guī)存放在干燥、陰涼的環(huán)境中，并做好防塵保護(hù)。
5. 注意事項(xiàng)：設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中禁止打開(kāi)外殼，防止觸電；若出現(xiàn)故障，需聯(lián)系專(zhuān)業(yè)維修人員進(jìn)行處理，切勿自行拆解；測(cè)量高真空環(huán)境時(shí)，需確保壓阻規(guī)符合對(duì)應(yīng)量程要求，避免超量程使用造成元件損壞。
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
1. 寬量程高精度：ZDY-IV01壓阻真空計(jì)覆蓋寬量程真空測(cè)量范圍，從低真空到高真空環(huán)境均可精準(zhǔn)測(cè)量，測(cè)量精度可達(dá)行業(yè)先進(jìn)水平，能滿足多數(shù)工業(yè)生產(chǎn)、科研實(shí)驗(yàn)對(duì)真空度的嚴(yán)苛要求。
2. 響應(yīng)速度快：采用高性能壓阻式敏感元件，對(duì)真空度變化的響應(yīng)時(shí)間短，可實(shí)時(shí)反饋真空系統(tǒng)內(nèi)的壓力變化，尤其適用于動(dòng)態(tài)真空環(huán)境的監(jiān)測(cè)與控制，幫助用戶及時(shí)調(diào)整系統(tǒng)參數(shù)。
3. 穩(wěn)定性強(qiáng)：設(shè)備具備良好的抗干擾能力，可在復(fù)雜電磁環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行，測(cè)量數(shù)值波動(dòng)小。同時(shí)，元件材質(zhì)經(jīng)過(guò)特殊處理，耐磨損、耐腐蝕，長(zhǎng)期使用仍能保持出色的性能穩(wěn)定性。
4. 操作便捷：配備人性化操作界面，菜單設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔易懂，用戶無(wú)需復(fù)雜培訓(xùn)即可快速上手。支持?jǐn)?shù)據(jù)存儲(chǔ)、導(dǎo)出功能，方便后續(xù)數(shù)據(jù)分析與記錄，提升工作效率。
5. 適配性廣：提供多種規(guī)格的連接接口，可與不同類(lèi)型的真空系統(tǒng)靈活適配，適用于電子制造、半導(dǎo)體加工、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)室等多種場(chǎng)景，具備較強(qiáng)的通用性。 |
