ZDR-1AV01 熱陰極電離真空計(jì)（超高真空計(jì)/電離規(guī)）
上海雙旭 ZDR-1AV01 熱陰極電離真空計(jì)
產(chǎn)品概述
ZDR-1AV01 為上海雙旭電子有限公司研制的超高真空測量儀器，采用熱陰極電離規(guī)原理，適用于 10⁻² Pa 至 10⁻⁹ Pa 范圍的高精度真空度檢測，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、科研真空系統(tǒng)及高能物理實(shí)驗(yàn)裝置等需穩(wěn)定超高真空環(huán)境的場合。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量范圍：1×10⁻² Pa ～ 1×10⁻⁹ Pa（可擴(kuò)展至 1×10⁻¹⁰ Pa）
- 顯示分辨率：0.01×10⁻ⁿ Pa（n=2~9），數(shù)字顯示
- 工作電壓：AC 220V ±10%，50Hz
- 發(fā)射電流：可調(diào)范圍 0.1mA～10mA，標(biāo)準(zhǔn)值 4mA
- 預(yù)熱時(shí)間：≤15 min（達(dá)到穩(wěn)定讀數(shù)）
- 響應(yīng)時(shí)間：≤2 s（滿量程變化）
- 零點(diǎn)漂移：≤±5% / 8h（恒溫環(huán)境）
- 線性誤差：≤±10%（全量程）
- 規(guī)管結(jié)構(gòu)：裸規(guī)或帶CF法蘭安裝，兼容多種接口
- 規(guī)管壽命：≥2000 h（常規(guī)使用條件）
- 工作溫度：5℃～40℃；存儲(chǔ)溫度：-20℃～60℃
- 外形尺寸：主機(jī)約 240mm×160mm×80mm；規(guī)管長度依型號(hào)不同約 100mm～150mm
- 重量：主機(jī)約 1.5kg；規(guī)管約 0.2kg
工作原理
熱陰極電離真空計(jì)利用加熱燈絲發(fā)射熱電子，電子在加速電場作用下與氣體分子碰撞產(chǎn)生正離子，離子流大小與氣體壓力成正比。通過測量離子流并經(jīng)校準(zhǔn)換算，得到真空度值。ZDR-1AV01 采用穩(wěn)定恒流源控制燈絲溫度，配合高增益離子收集電路，實(shí)現(xiàn)寬范圍、低噪聲測量。
主要功能與特點(diǎn)
- 寬量程覆蓋從粗真空到超高真空連續(xù)測量
- 數(shù)字顯示直觀，支持 RS-485/模擬信號(hào)輸出，便于集成監(jiān)控
- 內(nèi)置自診斷與過載保護(hù)，防止燈絲燒毀
- 可切換不同發(fā)射電流適應(yīng)不同量程段，提高線性度
- 規(guī)管可選防腐型，適配腐蝕性氣體測量
- 模塊化設(shè)計(jì)，便于維護(hù)更換規(guī)管
使用注意事項(xiàng)
- 嚴(yán)禁在壓力高于 1×10⁻¹ Pa 時(shí)開啟電離規(guī)，避免燈絲氧化燒毀
- 首次啟動(dòng)或長時(shí)間停用后，需先對(duì)真空系統(tǒng)進(jìn)行粗抽至 ≤1×10⁻¹ Pa 再接通電離規(guī)電源
- 規(guī)管燈絲脆弱，搬運(yùn)與安裝時(shí)避免機(jī)械沖擊與振動(dòng)
- 不要在含大量油蒸氣或顆粒物的環(huán)境中長期使用，防止污染規(guī)管
- 測量腐蝕性氣體須選用專用防腐規(guī)管并縮短使用壽命預(yù)期
- 更換規(guī)管時(shí)注意靜電防護(hù)，避免柵極與收集極受損
- 定期校準(zhǔn)零點(diǎn)和量程，建議每 6~12 個(gè)月一次
- 斷電前應(yīng)先關(guān)閉電離規(guī)高壓，防止突發(fā)高壓損壞電路
- 規(guī)管壽命受發(fā)射電流大小影響，長期高電流運(yùn)行會(huì)顯著縮短壽命
- 高溫環(huán)境或強(qiáng)磁場會(huì)影響電子軌跡與離子收集效率，應(yīng)避開此類工況
ZDR-1AV01 熱陰極電離真空計(jì)（超高真空計(jì)/電離規(guī)）
上海雙旭ZDR-1AV01 熱陰極電離真空計(jì)使用說明
本產(chǎn)品為熱陰極電離真空計(jì)，適用于超高真空測量。安裝前確保系統(tǒng)無壓差沖擊，規(guī)管朝上安裝，連接線束緊密。通電前檢查接地是否可靠，并確認(rèn)電源電壓符合銘牌標(biāo)識(shí)（通常220V/50Hz）。開機(jī)后預(yù)熱5-10分鐘，等待燈絲穩(wěn)定。測量時(shí)切換至“測量”檔，讀數(shù)為壓力值（單位Pa或Torr）。清潔規(guī)管時(shí)使用無水乙醇，禁止水洗或硬物刮擦。關(guān)機(jī)時(shí)先關(guān)閉燈絲電源，再切斷總電源。
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
1. 超高測量上限：覆蓋10^-5至10^-1 Pa量級(jí)，適合高真空環(huán)境。
2. 快速響應(yīng)：燈絲加熱后傳感器反饋時(shí)間＜1秒，實(shí)時(shí)監(jiān)測壓力變化。
3. 長壽命設(shè)計(jì)：抗污染陽極涂層，減少碳沉積，燈絲壽命＞3000小時(shí)。
4. 抗干擾能力強(qiáng)：內(nèi)置屏蔽電路，避免射頻干擾造成讀數(shù)抖動(dòng)。
5. 兼容性佳：支持多種通訊接口（RS485/模擬輸出），便于集成至PLC或上位機(jī)系統(tǒng)。
6. 安全保護(hù)：過流、過熱自動(dòng)切斷燈絲，防止事故。 |
