ZDR-27B-II 熱陰極電離真空計（電離規(guī)）
上海雙旭 ZDR-27B-II 熱陰極電離真空計（電離規(guī)）
產(chǎn)品概述
ZDR-27B-II 是一款由上海雙旭電子有限公司生產(chǎn)的熱陰極電離真空計，用于高真空和超高真空范圍的精確測量。該儀器通常由電離規(guī)管（傳感器）和控制器（測量顯示單元）組成，通過熱陰極發(fā)射電子使氣體分子電離，通過測量離子流來反推真空度。
主要技術(shù)參數(shù)
- 測量范圍： 典型范圍為 1.0×10-1 ~ 1.0×10-5 Pa（可能擴展至 10-6 Pa量級，具體請參閱說明書）。
- 規(guī)管類型： 熱陰極電離規(guī)管（如ZJ-27型或兼容規(guī)管）。
- 發(fā)射電流： 通常為1mA或可調(diào)（依據(jù)規(guī)管要求）。
- 顯示方式： 數(shù)字LED或LCD顯示，單位可切換（Pa、Torr等）。
- 控制輸出： 通常配備模擬電壓輸出（如0-10V）及繼電器控制觸點。
- 供電電源： AC 220V ±10%，50/60Hz。
- 工作環(huán)境： 溫度0-40°C，相對濕度≤80%。
- 安裝接口： 規(guī)管標準接口為CF法蘭或金屬密封法蘭。
使用注意事項
- 規(guī)管保護： 必須在真空度優(yōu)于10-1 Pa（通常建議<0.1Pa）時方可開啟規(guī)管燈絲，防止燈絲氧化燒毀。
- 大氣暴露： 規(guī)管暴露于大氣時嚴禁通電，更換規(guī)管或前級管道時必須先關(guān)閉規(guī)管電源。
- 清潔與污染物： 避免測量腐蝕性、可凝結(jié)性及強氧化性氣體，此類氣體可能污染或損壞規(guī)管。
- 校準與精度： 儀器需定期進行校準，測量讀數(shù)對氣體種類敏感（以氮氣為校準基準），測量不同氣體時需乘以修正系數(shù)。
- 安裝位置： 規(guī)管應安裝在真空腔體上氣流暢通、代表性好的位置，避免直接對準進氣口或泵口。
- 電氣安全： 確保接地良好，連接電纜避免與高壓線路并行，防止干擾。
- 燈絲壽命： 頻繁在大氣壓下開啟或真空不良時使用將極大縮短燈絲壽命。
典型應用
廣泛應用于真空鍍膜、半導體工藝、加速器、真空冶金、科研實驗等高真空和超高真空系統(tǒng)的壓力監(jiān)測與控制。
注：以上信息基于該型號典型規(guī)格，具體操作請務必參照隨附的官方說明書。
ZDR-27B-II 熱陰極電離真空計（電離規(guī)）
產(chǎn)品使用說明
安裝與連接：將電離規(guī)（ZJ-27B 或類似型號）通過標準 KF16/CF35 法蘭或接口連接至真空系統(tǒng)，確保密封無泄漏。使用配套電纜連接至 ZDR-27B-II 控制單元，注意接插方向，避免反接或短路。通電前檢查電源電壓要求（通常 AC 220V ±10%，50Hz），接地良好。
操作步驟：開機預熱至少 15 分鐘，使燈絲和電極穩(wěn)定。按“啟動”按鈕激活電離單元，此時顯示當前壓力值（單位 Torr 或 Pa，可設置）。測量范圍通常為 10-1 至 10-5 Pa（粗測）或更低至 10-7 Pa（精細模式）。使用“量程”鍵切換檔位，自動或手動調(diào)節(jié)燈絲電流和發(fā)射電流。關(guān)機前確保系統(tǒng)已恢復常壓或真空度高于安全閾值，然后按“停止”鍵關(guān)閉電離源，最后切斷主電源。
注意事項：嚴禁在高壓或氣體放電環(huán)境下操作；燈絲為易耗件，避免在過壓或污染環(huán)境中長時間運行；定期校準（建議每 6 個月或更換燈絲后），使用標準真空計或參考氣體；測量時避免振動或強磁場干擾。
產(chǎn)品優(yōu)點
高精度與寬量程：采用熱陰極電離原理，線性度好，測量范圍覆蓋 10-1 至 10-7 Pa，滿足高真空至超高真空需求，讀數(shù)誤差 < ±10%（經(jīng)校準環(huán)境）。
快速響應與穩(wěn)定性：燈絲加熱時間短，信號響應時間 < 50ms，適合動態(tài)真空過程監(jiān)測；內(nèi)置數(shù)字濾波和溫度補償，減少漂移，輸出穩(wěn)定。支持 4-20mA 模擬輸出和 RS-232/485 數(shù)字接口，便于系統(tǒng)集成。
可靠性與易用性：燈絲采用抗氧化鎢絲，帶過流保護，延長壽命；全自動量程切換，操作界面簡單，顯示清晰。支持一鍵校準和自動報警功能（壓力超標時觸發(fā)蜂鳴和繼電器輸出）。緊湊型設計，占用空間小，適合實驗室和工業(yè)產(chǎn)線使用。 |
