ZDF-4 四路測(cè)量高真空復(fù)合真空計(jì)
上海雙旭 ZDF-4 四路測(cè)量高真空復(fù)合真空計(jì)
產(chǎn)品概述
ZDF-4 型四路測(cè)量高真空復(fù)合真空計(jì)是上海雙旭電子有限公司生產(chǎn)的一款多功能真空測(cè)量?jī)x器。該設(shè)備集成了四路獨(dú)立的真空測(cè)量通道,可同時(shí)連接并監(jiān)測(cè)多個(gè)真空計(jì)管,適用于需要多點(diǎn)、寬范圍真空度監(jiān)測(cè)的復(fù)雜真空系統(tǒng),如真空鍍膜、真空冶煉、加速器、真空爐及科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量通道:4路獨(dú)立測(cè)量與控制通道。
- 測(cè)量范圍:
- 熱偶規(guī)管(TC): 1.0×105 ~ 1.0×10-1 Pa (760 ~ 0.001 Torr)
- 電離規(guī)管(IG): 1.0×10-1 ~ 1.0×10-5 Pa (0.001 ~ 1×10-7 Torr)
- 顯示方式:數(shù)字LED或LCD顯示,每路獨(dú)立顯示壓強(qiáng)值。
- 控制輸出:每路可獨(dú)立設(shè)置多點(diǎn)繼電器控制輸出,用于自動(dòng)控制真空設(shè)備(如閥門、擴(kuò)散泵等)。
- 規(guī)管類型支持:兼容標(biāo)準(zhǔn)熱偶規(guī)管和鎢陰極或銥釔涂層陰極電離規(guī)管。
- 通信接口:通常配備RS-232或RS-485通信接口,便于與計(jì)算機(jī)連接進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控和數(shù)據(jù)采集。
- 電源:AC 220V ±10%, 50/60 Hz。
- 工作環(huán)境:溫度 0~40°C,相對(duì)濕度 ≤85%。
使用注意事項(xiàng)
- 規(guī)管安裝與保護(hù):
- 電離規(guī)管必須在真空度優(yōu)于0.1 Pa(通常要求熱偶規(guī)指示值)時(shí)方可開啟,防止燈絲氧化燒毀。
- 規(guī)管連接處應(yīng)確保密封良好,防止漏氣。
- 避免規(guī)管受到劇烈機(jī)械沖擊或振動(dòng)。
- 開機(jī)與關(guān)機(jī)順序:
- 開機(jī):先啟動(dòng)真空系統(tǒng)抽氣,待低真空(熱偶規(guī)測(cè)量范圍)達(dá)到一定值后,再開啟電離規(guī)測(cè)量功能。
- 關(guān)機(jī):應(yīng)先關(guān)閉電離規(guī)各通道的燈絲發(fā)射,待燈絲冷卻后,再關(guān)閉主機(jī)電源和真空系統(tǒng)。若系統(tǒng)直接暴露大氣,必須先確保電離規(guī)已關(guān)閉。
- 系統(tǒng)維護(hù):
- 定期檢查規(guī)管是否污染或失效,必要時(shí)進(jìn)行清洗或更換。
- 保持儀器通風(fēng)良好,防止灰塵堵塞散熱孔。
- 清潔儀器表面時(shí),請(qǐng)使用干軟布,避免使用化學(xué)溶劑。
- 安全警告:
- 儀器內(nèi)部有高壓部分,非專業(yè)人員請(qǐng)勿打開機(jī)箱,以防觸電。
- 儀器和規(guī)管的接地端必須可靠接地,確保操作安全并減少測(cè)量干擾。
- 在可能存在易燃?xì)怏w的環(huán)境中使用時(shí),需采取特殊防爆措施。
- 參數(shù)設(shè)置:用戶應(yīng)根據(jù)所連接規(guī)管的型號(hào),在儀器菜單中正確選擇規(guī)管類型和設(shè)定參數(shù)(如發(fā)射電流),不正確的設(shè)置可能導(dǎo)致測(cè)量誤差或規(guī)管損壞。
注:以上信息基于該型號(hào)真空計(jì)的典型技術(shù)資料,具體參數(shù)和操作請(qǐng)務(wù)必以上海雙旭電子有限公司提供的官方最新說(shuō)明書為準(zhǔn)。
ZDF-4 四路測(cè)量高真空復(fù)合真空計(jì)
上海雙旭 ZDF-4 四路測(cè)量高真空復(fù)合真空計(jì) 產(chǎn)品使用說(shuō)明
1. 開箱檢查:確認(rèn)主機(jī)、四路傳感器(通常包括熱偶規(guī)和電離規(guī))、電源線及連接線齊全,外觀無(wú)損壞。
2. 安裝接線:將傳感器通過專用電纜接入主機(jī)后部的對(duì)應(yīng)通道接口(CH1至CH4),確保連接牢固;接通220V交流電源。
3. 開機(jī)預(yù)熱:按下電源開關(guān),待顯示屏亮起,推薦預(yù)熱15分鐘以上以穩(wěn)定測(cè)量。
4. 量程選擇:若配備自動(dòng)切換功能,儀器會(huì)根據(jù)真空度自動(dòng)在熱偶規(guī)(大氣壓至10⁻¹ Pa)和電離規(guī)(10⁻¹至10⁻⁵ Pa)間切換;手動(dòng)模式下需根據(jù)指示手動(dòng)設(shè)定。
5. 測(cè)量與讀。核穆吠ǖ廓(dú)立顯示當(dāng)前真空度數(shù)值(單位通常為Pa),通過按鍵切換查看各通道數(shù)據(jù)。
6. 校準(zhǔn)建議:定期使用標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)或參照說(shuō)明書進(jìn)行零點(diǎn)與滿量程校準(zhǔn),以維持精度。
7. 關(guān)機(jī)順序:先關(guān)閉測(cè)量功能,再切斷電源,避免傳感器受損。
主要優(yōu)點(diǎn)
四路獨(dú)立測(cè)量,可同時(shí)監(jiān)控四個(gè)不同腔體或位置,大幅提升多工位真空系統(tǒng)的監(jiān)測(cè)效率。采用復(fù)合設(shè)計(jì),集熱導(dǎo)與電離原理于一體,覆蓋從低真空至高真空的寬量程范圍(10⁵至10⁻⁵ Pa),無(wú)需頻繁更換傳感器。顯示屏清晰直觀,支持?jǐn)?shù)值實(shí)時(shí)顯示,響應(yīng)速度快,可靠性優(yōu)于同類基礎(chǔ)型產(chǎn)品。內(nèi)置抗干擾電路,適用于鍍膜、科研、半導(dǎo)體等工業(yè)環(huán)境中長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行。相比同規(guī)格進(jìn)口設(shè)備,性價(jià)比突出,且售后配件易得,維護(hù)成本低。 |