ZDM-I-5 電容薄膜真空計(jì)
上海雙旭ZDM-I-5 電容薄膜真空計(jì)
產(chǎn)品概述
上海雙旭ZDM-I-5為電容薄膜式真空計(jì)，基于金屬薄膜電容器在壓力作用下形變引起電容值變化的原理實(shí)現(xiàn)真空度測(cè)量。適用于低至中真空范圍精確檢測(cè)，常用于科研、半導(dǎo)體制造、真空鍍膜及工業(yè)真空系統(tǒng)監(jiān)控。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量范圍：1×105 Pa ~ 1×10-1 Pa（可擴(kuò)展至1×10-2 Pa）
- 精度等級(jí)：±(0.5%讀數(shù)+0.2%滿量程)（在恒溫條件下）
- 分辨率：1×10-3 Pa（在10-1~102 Pa區(qū)間）
- 響應(yīng)時(shí)間：≤200 ms（典型值，隨壓力變化）
- 工作溫度：0℃ ~ +50℃；存儲(chǔ)溫度：-20℃ ~ +70℃
- 供電電壓：DC 24V ±10%，功耗≤2W
- 輸出信號(hào)：4~20 mA（兩線制）/ RS485（可選）
- 壓力接口：KF16、KF25或CF法蘭（可選）
- 防護(hù)等級(jí)：IP65（傳感器部分），儀表殼體IP54
- 零點(diǎn)漂移：≤±0.05% FS/月
- 重復(fù)性：≤±0.2% FS
結(jié)構(gòu)與工作原理
ZDM-I-5核心為彈性金屬薄膜，兩側(cè)分別形成固定電極與可動(dòng)電極構(gòu)成電容器。當(dāng)真空度變化，薄膜受氣體壓力作用產(chǎn)生微小位移，改變極板間距，從而電容值變化。電路將電容變化轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)電流或數(shù)字信號(hào)輸出。傳感器采用溫度補(bǔ)償結(jié)構(gòu)，降低環(huán)境溫度對(duì)測(cè)量的影響。
性能特點(diǎn)
- 全量程線性度好，適合連續(xù)監(jiān)測(cè)與過(guò)程控制
- 抗過(guò)載能力強(qiáng)，短時(shí)間可承受大氣壓沖擊
- 支持多種安裝接口，適配不同真空系統(tǒng)
- 模擬與數(shù)字雙輸出，便于集成自動(dòng)化系統(tǒng)
- 長(zhǎng)期穩(wěn)定性高，適合無(wú)人值守場(chǎng)合
使用注意事項(xiàng)
- 安裝前檢查傳感器外觀無(wú)損傷，連接法蘭密封面清潔無(wú)顆粒
- 避免在高粉塵、強(qiáng)腐蝕性氣體環(huán)境直接使用，必要時(shí)加過(guò)濾或隔離裝置
- 通電前確認(rèn)供電電壓符合DC 24V±10%，防止過(guò)壓損壞電子單元
- 傳感器不可暴露于超過(guò)大氣壓力的環(huán)境超過(guò)規(guī)定時(shí)間，防止薄膜永久變形
- 首次使用或更換介質(zhì)后需進(jìn)行零點(diǎn)校準(zhǔn)，尤其在測(cè)量氣體種類變化時(shí)
- 定期清潔壓力接口及膜片周圍，防止污染物附著影響靈敏度
- 輸出信號(hào)電纜應(yīng)屏蔽并遠(yuǎn)離動(dòng)力線布置，減少電磁干擾
- 長(zhǎng)期停用應(yīng)斷電并存放在干燥潔凈環(huán)境，避免受潮導(dǎo)致絕緣性能下降
- 嚴(yán)禁敲擊或劇烈振動(dòng)傳感器，以免破壞薄膜機(jī)械結(jié)構(gòu)
- 若測(cè)量介質(zhì)含油蒸氣或顆粒物，應(yīng)在前端加裝冷阱或過(guò)濾器保護(hù)傳感器
ZDM-I-5 電容薄膜真空計(jì)
上海雙旭ZDM-I-5 電容薄膜真空計(jì) 使用說(shuō)明
安裝時(shí)確保真空計(jì)垂直放置，且被測(cè)氣體干燥、無(wú)腐蝕性。連接標(biāo)準(zhǔn)KF或ISO法蘭接口，使用扭力扳手均勻緊固。首次通電前檢查供電電壓是否匹配DC 24V±10%。上電后需預(yù)熱15分鐘以穩(wěn)定零點(diǎn)。量程范圍0.01至1000 mbar（可選單位Torr或Pa），通過(guò)面板按鍵切換。校準(zhǔn)操作：在<10^-4 mbar真空環(huán)境下長(zhǎng)按“ZERO”鍵3秒自動(dòng)歸零；滿量程校準(zhǔn)需連接標(biāo)準(zhǔn)壓力源，按住“SPAN”鍵調(diào)整至標(biāo)稱值。輸出信號(hào)為0-10V模擬電壓或RS485數(shù)字接口，可連接PLC或上位機(jī)。禁止在真空計(jì)帶壓時(shí)拆卸，避免膜片損壞；長(zhǎng)期停用應(yīng)保持真空狀態(tài)或干燥氮?dú)獗Ｗo(hù)。
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
采用陶瓷電容敏感膜片，溫度穩(wěn)定性優(yōu)于金屬膜片30%，溫漂系數(shù)低至0.02%/℃。全不銹鋼結(jié)構(gòu)耐受腐蝕性氣體，無(wú)油、無(wú)介質(zhì)污染，適合潔凈工藝環(huán)境。響應(yīng)時(shí)間小于5ms，支持高動(dòng)態(tài)真空過(guò)程測(cè)量�？惯^(guò)載能力達(dá)10倍量程，意外壓力沖擊不損壞傳感器。內(nèi)置數(shù)字濾波算法，有效抑制泵體振動(dòng)和電磁干擾。用戶可現(xiàn)場(chǎng)通過(guò)按鍵或上位機(jī)軟件調(diào)整濾波等級(jí)、響應(yīng)速度等參數(shù)。平均無(wú)故障時(shí)間（MTBF）超過(guò)80,000小時(shí)，提供兩年質(zhì)保。模塊化拆卸設(shè)計(jì)，用戶可獨(dú)立更換電子單元，降低維護(hù)成本。 |
