ZDH-1 超高真空計(jì)（電離真空計(jì)）
上海雙旭 ZDH-1 超高真空計(jì)（電離真空計(jì)）介紹
產(chǎn)品概述：ZDH-1 為上海雙旭電子有限公司研制的超高真空測量儀器，基于熱陰極電離原理，適用于10-3 Pa至10-9 Pa范圍的超高真空環(huán)境檢測，廣泛用于真空爐、半導(dǎo)體鍍膜、粒子加速器及科研真空系統(tǒng)。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量范圍：10-3 Pa ～ 10-9 Pa（分段顯示）
- 顯示方式：數(shù)字直讀，LCD/LED雙模式可選
- 分辨率：10-10 Pa（在10-9 Pa檔）
- 精度：±15%（滿量程）
- 響應(yīng)時(shí)間：≤1.5 s（從10-4 Pa到10-8 Pa變化）
- 工作電壓：AC 220V ±10%，50Hz
- 發(fā)射電流：0.1 mA～10 mA可調(diào)
- 燈絲材質(zhì)：鎢絲，可更換式結(jié)構(gòu)
- 離子收集極：不銹鋼屏蔽型
- 預(yù)熱時(shí)間：≤3 min（達(dá)到穩(wěn)定讀數(shù)）
- 工作溫度：5℃～40℃
- 外形尺寸：約240mm×180mm×100mm
- 重量：約2.5 kg
- 接口：標(biāo)準(zhǔn)CF/KF法蘭，支持與真空規(guī)管直接連接
- 防護(hù)等級：IP20（室內(nèi)使用）
功能特點(diǎn)
采用模塊化電路設(shè)計(jì)，具備自動(dòng)量程切換與零點(diǎn)校正；內(nèi)置過壓保護(hù)與燈絲斷絲報(bào)警；兼容多種規(guī)管型號，適配性強(qiáng)；可輸出RS-485或模擬信號用于遠(yuǎn)程監(jiān)控。
使用注意事項(xiàng)
- 必須在真空度高于10-2 Pa時(shí)開啟電離真空計(jì)，否則會(huì)導(dǎo)致燈絲氧化燒毀。
- 高真空狀態(tài)下避免長時(shí)間大發(fā)射電流工作，防止燈絲過熱加速老化。
- 規(guī)管安裝須保證密封良好，防止漏氣影響測量準(zhǔn)確性并損壞燈絲。
- 不可在含腐蝕性氣體、粉塵或油蒸氣的環(huán)境中使用，以免污染規(guī)管與電路。
- 更換燈絲需在斷電且規(guī)管內(nèi)壓力低于10-3 Pa條件下進(jìn)行，避免空氣進(jìn)入燒損燈絲。
- 定期校準(zhǔn)零點(diǎn)與量程，建議每6個(gè)月進(jìn)行一次性能檢查。
- 長期停用應(yīng)斷開電源并妥善存放，防止潮氣侵入內(nèi)部電路。
- 嚴(yán)禁帶電插拔規(guī)管電纜接頭，防止高壓沖擊損壞電路。
- 如顯示屏出現(xiàn)“FL”等異常代碼，應(yīng)立即停機(jī)檢查燈絲狀態(tài)與真空度條件。
應(yīng)用領(lǐng)域
真空冶金、半導(dǎo)體薄膜沉積、電子束蒸發(fā)、空間環(huán)境模擬、高能物理實(shí)驗(yàn)裝置、質(zhì)譜分析系統(tǒng)等需要精確測量超高真空的場合。
ZDH-1 超高真空計(jì)（電離真空計(jì)）
上海雙旭ZDH-1超高真空計(jì)（電離真空計(jì)）產(chǎn)品使用說明
一、前期準(zhǔn)備
1. 開箱檢查：打開包裝后，確認(rèn)ZDH-1超高真空計(jì)主機(jī)、電離規(guī)管、連接線纜、說明書及配件齊全，無外觀損壞。
2. 環(huán)境要求：將設(shè)備放置在干燥、通風(fēng)且無強(qiáng)電磁干擾的環(huán)境中，環(huán)境溫度控制在10℃-35℃，相對濕度不超過80%，避免陽光直射和劇烈振動(dòng)。
3. 規(guī)管安裝：根據(jù)真空系統(tǒng)接口類型，選擇合適的連接件，將電離規(guī)管垂直安裝于真空系統(tǒng)上，確保連接部位密封良好，無漏氣情況；安裝時(shí)注意輕拿輕放，避免規(guī)管碰撞受損。
二、操作步驟
1. 連接線路：使用配套線纜將主機(jī)與電離規(guī)管牢固連接，確保插頭完全插入接口，同時(shí)將主機(jī)電源連接至符合要求的市電插座。
2. 開機(jī)預(yù)熱：按下主機(jī)電源開關(guān)，設(shè)備進(jìn)入預(yù)熱狀態(tài)，預(yù)熱時(shí)間約為15-30分鐘，待主機(jī)顯示穩(wěn)定后可進(jìn)行后續(xù)操作。
3. 真空度測量：預(yù)熱完成后，將主機(jī)切換至測量模式，設(shè)備自動(dòng)開始采集真空系統(tǒng)內(nèi)的真空度數(shù)據(jù)，并在顯示屏上實(shí)時(shí)顯示；測量過程中，避免頻繁切換模式或關(guān)閉設(shè)備。
4. 參數(shù)設(shè)置：如需調(diào)整測量參數(shù)，可通過主機(jī)面板上的按鍵進(jìn)入設(shè)置界面，對測量范圍、報(bào)警閾值等參數(shù)進(jìn)行調(diào)整，設(shè)置完成后保存并返回測量界面。
5. 關(guān)機(jī)操作：測量結(jié)束后，先將主機(jī)切換至待機(jī)模式，再關(guān)閉電源開關(guān)，斷開電源連接；若長期不使用，需將電離規(guī)管從真空系統(tǒng)上拆下，妥善存放。
三、維護(hù)與注意事項(xiàng)
1. 定期校準(zhǔn)：建議每12個(gè)月對真空計(jì)進(jìn)行一次專業(yè)校準(zhǔn)，確保測量精度符合要求；校準(zhǔn)需由專業(yè)技術(shù)人員或授權(quán)機(jī)構(gòu)進(jìn)行。
2. 規(guī)管清潔：當(dāng)測量精度下降或規(guī)管表面有明顯污染物時(shí)，需對電離規(guī)管進(jìn)行清潔；清潔時(shí)需使用專用清潔劑，避免損壞規(guī)管內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
3. 故障排查：若設(shè)備出現(xiàn)顯示異常、測量數(shù)據(jù)不穩(wěn)定等故障，先檢查線路連接是否正常、規(guī)管安裝是否牢固，若無法解決，需聯(lián)系廠家售后人員，切勿自行拆機(jī)維修。
4. 安全注意：設(shè)備運(yùn)行過程中，避免接觸高壓部位；真空系統(tǒng)未達(dá)到一定真空度時(shí)，禁止啟動(dòng)電離規(guī)管，以免損壞規(guī)管。
上海雙旭ZDH-1超高真空計(jì)（電離真空計(jì)）產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
1. 超高測量精度：采用先進(jìn)的電離規(guī)管技術(shù)，能夠精準(zhǔn)測量10^-1Pa至10^-8Pa范圍內(nèi)的超高真空度，測量誤差小，數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠，滿足科研、半導(dǎo)體制造等高精度真空環(huán)境的測量需求。
2. 響應(yīng)速度快：設(shè)備具備快速響應(yīng)機(jī)制，開機(jī)預(yù)熱完成后可迅速捕捉真空系統(tǒng)內(nèi)的真空度變化，實(shí)時(shí)更新測量數(shù)據(jù)，幫助用戶及時(shí)掌握真空環(huán)境狀態(tài)，提高工作效率。
3. 操作便捷人性化：主機(jī)配備清晰的顯示屏和簡潔的操作按鍵，界面直觀易懂，無需復(fù)雜培訓(xùn)即可上手操作；同時(shí)支持參數(shù)自定義設(shè)置，可根據(jù)不同應(yīng)用場景調(diào)整測量模式，提升使用靈活性。
4. 穩(wěn)定性與耐用性強(qiáng)：選用優(yōu)質(zhì)的電子元器件和堅(jiān)固的外殼材質(zhì)，設(shè)備抗干擾能力強(qiáng)，能夠在復(fù)雜工業(yè)環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行；電離規(guī)管經(jīng)過特殊工藝處理，使用壽命長，降低了后期維護(hù)成本。
5. 兼容性廣泛：適配多種類型的真空系統(tǒng)接口，可靈活安裝于不同的真空設(shè)備上，同時(shí)支持?jǐn)?shù)據(jù)輸出功能，能夠與其他測控設(shè)備聯(lián)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)真空環(huán)境的自動(dòng)化監(jiān)測與控制。 |
