產(chǎn)品使用說明
一、安裝前準(zhǔn)備
1. 檢查規(guī)管外觀，確保玻璃外殼無裂紋、金屬部件無銹蝕，CF35法蘭密封面清潔無劃痕，避免因密封面損傷導(dǎo)致真空泄漏。
2. 確認(rèn)配套真空測(cè)量系統(tǒng)的兼容性，ZJ-12規(guī)管需搭配具備B-A規(guī)測(cè)量模式的電離真空計(jì)使用，提前核對(duì)設(shè)備接口與供電參數(shù)，規(guī)管工作電壓需符合說明書標(biāo)注范圍。
3. 準(zhǔn)備專用安裝工具，使用無油真空扳手操作CF35法蘭，避免使用普通工具造成法蘭變形，同時(shí)確保安裝環(huán)境清潔，減少粉塵進(jìn)入真空系統(tǒng)。
二、安裝步驟
1. 將規(guī)管CF35法蘭與真空系統(tǒng)對(duì)應(yīng)法蘭對(duì)齊，放置適配的金屬密封圈（如銅密封圈），注意密封圈需保持干燥無油污，均勻涂抹少量真空硅脂以提升密封性。
2. 對(duì)稱擰緊法蘭螺栓，遵循交叉分步擰緊原則，每遍擰緊力度適中，避免一次性過度擰緊導(dǎo)致法蘭翹曲，確保密封面均勻貼合。
3. 連接規(guī)管與真空計(jì)的信號(hào)線纜，確保插頭插緊且引腳對(duì)應(yīng)正確，避免因接觸不良導(dǎo)致測(cè)量數(shù)據(jù)異常；若為水冷型規(guī)管，需連接符合要求的水冷管路，確保冷卻水流量穩(wěn)定。
三、操作與使用
1. 啟動(dòng)真空系統(tǒng)，待系統(tǒng)預(yù)抽真空至低于1×10⁻² Pa后，方可開啟規(guī)管電源，避免低真空下熱陰極氧化損壞，延長(zhǎng)陰極使用壽命。
2. 按照真空計(jì)操作手冊(cè)設(shè)置測(cè)量參數(shù)，選擇B-A規(guī)測(cè)量模式，待規(guī)管預(yù)熱10-15分鐘后，讀取穩(wěn)定的真空度數(shù)據(jù)，預(yù)熱期間避免頻繁切換測(cè)量模式。
3. 測(cè)量過程中實(shí)時(shí)監(jiān)控規(guī)管工作狀態(tài)，若出現(xiàn)電流異常波動(dòng)、真空度驟變等情況，應(yīng)立即關(guān)閉規(guī)管電源，排查真空系統(tǒng)是否存在泄漏或規(guī)管故障。
四、維護(hù)與保養(yǎng)
1. 定期檢查規(guī)管密封面狀態(tài)，若發(fā)現(xiàn)密封圈老化或密封面有磨損，及時(shí)更換密封圈并修復(fù)密封面，確保真空密封性。
2. 規(guī)管長(zhǎng)時(shí)間使用后，熱陰極可能出現(xiàn)損耗，當(dāng)測(cè)量靈敏度明顯下降時(shí)，需按照說明書步驟更換同型號(hào)熱陰極，更換過程需在清潔環(huán)境中進(jìn)行，避免雜質(zhì)進(jìn)入規(guī)管內(nèi)部。
3. 設(shè)備停用期間，需保持規(guī)管處于真空狀態(tài)，避免大氣進(jìn)入導(dǎo)致內(nèi)部部件氧化，同時(shí)斷開規(guī)管電源，減少不必要的損耗。
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
1. 寬量程高精準(zhǔn)測(cè)量
作為B-A型電離規(guī)管，ZJ-12具備1×10⁻¹⁰ Pa至1×10⁻² Pa的寬測(cè)量量程，覆蓋高真空至超高真空范圍，測(cè)量精度可達(dá)±10%，能滿足半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、空間模擬等多種高精度真空?qǐng)鼍暗男枨蟆?/p>
2. 穩(wěn)定耐用的熱陰極設(shè)計(jì)
采用特制耐高溫?zé)彡帢O材料，具備出色的抗中毒性能，在含有少量雜質(zhì)氣體的真空環(huán)境中仍能穩(wěn)定工作，陰極使用壽命可達(dá)數(shù)千小時(shí)，減少頻繁更換部件的成本與停機(jī)時(shí)間。
3. 可靠的真空密封性能
配備CF35標(biāo)準(zhǔn)法蘭接口，采用金屬密封結(jié)構(gòu)，相較于橡膠密封具備更高的密封可靠性與耐溫性，可承受真空系統(tǒng)的冷熱循環(huán)，有效防止真空泄漏，保障系統(tǒng)長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
4. 適配性強(qiáng)與操作便捷
兼容市面上主流的B-A規(guī)真空計(jì)，無需額外定制適配設(shè)備；規(guī)管安裝與操作流程簡(jiǎn)潔，預(yù)熱時(shí)間短，能快速進(jìn)入穩(wěn)定測(cè)量狀態(tài)，降低操作人員的學(xué)習(xí)成本與操作難度。
5. 專業(yè)制造品質(zhì)保障
上海雙旭作為真空測(cè)量設(shè)備專業(yè)廠商，ZJ-12規(guī)管嚴(yán)格遵循行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制造，每臺(tái)產(chǎn)品出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的真空性能測(cè)試與校準(zhǔn)，確保產(chǎn)品品質(zhì)穩(wěn)定可靠，為用戶提供持久的測(cè)量保障。
