CF35 真空規(guī)管法蘭接口
上海雙旭 CF35 真空規(guī)管法蘭接口介紹
產(chǎn)品參數(shù)：
- 型號(hào)：CF35（ConFlat 法蘭規(guī)格）
- 法蘭標(biāo)準(zhǔn)：符合 ISO 2861 / ConFlat 標(biāo)準(zhǔn)，公稱外徑 70 mm，螺栓孔分布圓直徑 54 mm
- 法蘭材質(zhì)：通常為 304 不銹鋼（可選 316L 不銹鋼）
- 密封方式：銅墊圈或氟橡膠 O 型圈（依據(jù)真空度需求選用）
- 適用真空范圍：10⁻⁵ Pa ~ 10⁵ Pa（取決于規(guī)管類(lèi)型及密封配置）
- 規(guī)管兼容類(lèi)型：熱陰極電離規(guī)、冷陰極磁控規(guī)、皮拉尼計(jì)等常用真空測(cè)量規(guī)管
- 接口形式：法蘭面平口焊接或?qū)高B接，適配 CF35 法蘭腔體或管路
- 耐溫性能：-20℃ ~ +150℃（常規(guī)工況），高溫版本可達(dá) 200℃
- 泄漏率：≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s（裝配合格條件下）
- 安裝螺栓：M8 內(nèi)六角螺栓，數(shù)量 6 枚，推薦扭矩 4~6 N·m
結(jié)構(gòu)與功能概述：
CF35 真空規(guī)管法蘭接口為超高真空與高真空系統(tǒng)常用的標(biāo)準(zhǔn)化連接件，采用金屬密封原理，保證系統(tǒng)在寬壓力范圍內(nèi)的氣密性。法蘭與規(guī)管本體通過(guò)焊接或螺紋轉(zhuǎn)接固定，法蘭面平整度高，可重復(fù)使用且保持良好密封性能。該接口便于在真空腔體、泵組、閥門(mén)之間快速拆裝規(guī)管，利于維護(hù)與校準(zhǔn)。
使用注意事項(xiàng)：
- 安裝前檢查法蘭面與密封墊圈無(wú)劃痕、凹陷或污染，必要時(shí)用無(wú)水乙醇或丙酮清潔并干燥。
- 密封墊圈選型須匹配真空度要求：銅墊圈適用于超高真空（≤10⁻⁷ Pa），氟橡膠適用于高真空及中真空。
- 螺栓緊固應(yīng)按對(duì)角順序均勻加力，避免單側(cè)過(guò)緊導(dǎo)致法蘭變形；扭矩過(guò)大可能損傷密封面。
- 規(guī)管插入法蘭前確認(rèn)電氣接頭絕緣與真空密封均完好，防止烘烤或運(yùn)行中泄漏。
- 在烘烤系統(tǒng)時(shí)，需確認(rèn)密封材料耐溫范圍，銅墊圈可在 450℃以下烘烤，氟橡膠應(yīng)在 ≤150℃使用。
- 拆卸時(shí)避免硬撬法蘭，以免損傷面型精度；建議保留原配墊圈用于重復(fù)使用時(shí)評(píng)估狀態(tài)。
- 規(guī)管更換或長(zhǎng)期停用后復(fù)裝，應(yīng)進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏驗(yàn)證接口泄漏率合格后方可投入使用。
CF35 真空規(guī)管法蘭接口
上海雙旭 CF35 真空規(guī)管法蘭接口 產(chǎn)品使用說(shuō)明
概述：CF35真空規(guī)管法蘭接口用于連接真空規(guī)管與真空系統(tǒng)，適用于高真空和超高真空環(huán)境，采用銅墊圈密封，法蘭材料為不銹鋼。
安裝步驟：
- 確保法蘭端面和銅墊圈清潔無(wú)油污、無(wú)劃痕。
- 將銅墊圈放置在法蘭密封槽內(nèi)，貼合良好。
- 對(duì)法蘭接口，均勻擰緊螺栓，建議使用扭矩扳手，擰緊順序?yàn)閷?duì)角交叉，扭矩值參考20-30 N·m。
- 安裝后使用檢漏儀檢測(cè)漏率，確保漏率低于1×10-10 mbar·l/s。
注意事項(xiàng)：
- 適用真空度：1×10-12 mbar 至 1×103 mbar。
- 不可在鋁合金法蘭上直接使用CF35接口，需采用適配器。
- 避免反復(fù)拆卸銅墊圈超過(guò)3次，防止密封失效。
- 若需烘烤除氣，最高溫度不超過(guò)450°C（法蘭處），規(guī)管處需參照其規(guī)格。
優(yōu)點(diǎn)
- 極高密封性：金屬銅墊圈密封，漏率極低，滿足超高真空要求。
- 耐高溫烘烤：不銹鋼法蘭設(shè)計(jì)，可耐受高溫烘烤除氣，適應(yīng)苛刻工藝。
- 通用性強(qiáng)：標(biāo)準(zhǔn)CF35尺寸兼容多數(shù)真空規(guī)管，替換維護(hù)便捷。
- 長(zhǎng)壽命：無(wú)橡膠密封件老化問(wèn)題，耐腐蝕，適合長(zhǎng)期真空系統(tǒng)使用。
- 抗機(jī)械應(yīng)力：法蘭結(jié)構(gòu)強(qiáng)度高，不易變形，可承受較大外部作用力。
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