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 產(chǎn)品詳細(xì)
ZDL-14C 冷陰極高真空電離真空計表(電離規(guī)/冷規(guī)) 
產(chǎn)品名稱: ZDL-14C 冷陰極高真空電離真空計表(電離規(guī)/冷規(guī))
產(chǎn)品型號: shaungxu
產(chǎn)品報價:
 
   
 產(chǎn)品詳細(xì):

ZDL-14C 冷陰極高真空電離真空計表(電離規(guī)/冷規(guī))

 

上海雙旭ZDL-14C 冷陰極高真空電離真空計表(電離規(guī)/冷規(guī))

上海雙旭ZDL-14C冷陰極高真空電離真空計是專為高真空、超高真空環(huán)境設(shè)計的測量儀表,采用冷陰極電離規(guī)技術(shù),無需加熱燈絲,具備抗污染、耐高真空腐蝕等特性,廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、空間模擬、真空冶金等工業(yè)及科研領(lǐng)域。

核心產(chǎn)品參數(shù)

參數(shù)類別 具體參數(shù)
測量范圍 1×10⁻¹ Pa ~ 1×10⁻⁸ Pa
測量精度 ±15%(滿量程范圍內(nèi))
規(guī)管類型 冷陰極電離規(guī)(磁控放電型)
供電電壓 AC 220V ±10%,50Hz
規(guī)管工作電壓 直流3000V(典型值)
顯示方式 數(shù)字式液晶顯示,支持壓力值、單位自動切換
輸出信號 0-10V模擬輸出(可選),RS485數(shù)字通訊接口(可選)
環(huán)境適應(yīng)性 工作溫度:0℃~40℃;相對濕度:≤80%(無凝露)
規(guī)管接口 標(biāo)準(zhǔn)KF16或CF35真空法蘭接口,可定制特殊接口
外觀尺寸 主機(jī):160×80×200mm(寬×高×深);規(guī)管:φ40mm×180mm(直徑×長度)

使用注意事項

規(guī)管安裝前需檢查真空接口清潔度,避免油污、灰塵進(jìn)入規(guī)管內(nèi)部,否則會導(dǎo)致測量精度下降或規(guī)管損壞。
開機(jī)前需確保測量系統(tǒng)已達(dá)到預(yù)真空狀態(tài)(建議≤1Pa),禁止在大氣壓或低真空環(huán)境下啟動規(guī)管高壓,防止規(guī)管內(nèi)發(fā)生氣體放電損壞部件。
測量過程中若出現(xiàn)數(shù)值跳變、無顯示異常,需先切斷規(guī)管高壓,檢查真空系統(tǒng)密封性,排除漏氣、污染等問題后再重新啟動。
規(guī)管長期暴露在大氣中后,再次使用前需進(jìn)行烘烤除氣處理(溫度≤150℃,持續(xù)2-4小時),去除規(guī)管內(nèi)部吸附的水汽和雜質(zhì)。
主機(jī)應(yīng)安裝在通風(fēng)、干燥、無強(qiáng)電磁干擾的環(huán)境中,避免與高頻設(shè)備、高壓電源近距離放置,防止電磁干擾影響測量穩(wěn)定性。
定期校準(zhǔn):建議每年對儀表進(jìn)行一次專業(yè)校準(zhǔn),或使用標(biāo)準(zhǔn)真空比對系統(tǒng)進(jìn)行精度驗證,確保測量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。
維護(hù)時需切斷電源,嚴(yán)禁帶電拆卸規(guī)管或主機(jī)外殼,避免高壓觸電風(fēng)險;非專業(yè)人員請勿自行拆解內(nèi)部電路或調(diào)整參數(shù)。
若測量環(huán)境存在腐蝕性氣體或大量顆粒污染物,需在規(guī)管前端加裝過濾裝置,延長規(guī)管使用壽命。

產(chǎn)品優(yōu)勢

  • 無加熱燈絲設(shè)計,耐污染、抗沖擊,適合惡劣真空環(huán)境長期使用
  • 寬量程測量,覆蓋高真空到超高真空區(qū)間,滿足多場景需求
  • 數(shù)字式顯示直觀清晰,支持模擬量、數(shù)字通訊輸出,便于集成自動化系統(tǒng)
  • 規(guī)管結(jié)構(gòu)堅固,具備良好的真空密封性和抗熱形變能力

 

ZDL-14C 冷陰極高真空電離真空計表(電離規(guī)/冷規(guī))

 

一、產(chǎn)品使用說明

1. 安裝與連接:將ZDL-14C冷陰極高真空電離真空計表平穩(wěn)安裝在通風(fēng)、干燥且無強(qiáng)電磁干擾的環(huán)境中,確保設(shè)備水平放置。根據(jù)真空系統(tǒng)接口規(guī)格,選用適配的連接管路將冷規(guī)與真空腔體密封連接,連接過程中需保證接口處清潔無雜質(zhì),避免漏氣影響測量精度。

2. 開機(jī)前檢查:開啟設(shè)備前,先確認(rèn)電源電壓與設(shè)備額定電壓一致,檢查各連接線路是否牢固,冷規(guī)組件外觀有無破損。若真空系統(tǒng)處于大氣狀態(tài),需先對系統(tǒng)進(jìn)行預(yù)抽真空,待真空度達(dá)到冷規(guī)啟動要求(通常需低于10^-2 Pa)后,再開啟真空計表電源。

3. 參數(shù)設(shè)置與測量:開機(jī)后,設(shè)備進(jìn)入初始狀態(tài),可通過面板按鍵設(shè)置測量單位、數(shù)據(jù)刷新頻率等參數(shù)。確認(rèn)參數(shù)設(shè)置無誤后,設(shè)備自動開始真空度測量,顯示屏實時顯示當(dāng)前真空數(shù)值。測量過程中,若需切換測量模式或查看歷史數(shù)據(jù),可通過對應(yīng)按鍵操作。

4. 維護(hù)與保養(yǎng):定期檢查冷規(guī)組件的清潔度,若發(fā)現(xiàn)規(guī)管內(nèi)壁有污染物沉積,需按照說明書要求進(jìn)行清潔或更換。長期不使用時,應(yīng)關(guān)閉設(shè)備電源,保持真空系統(tǒng)處于低真空狀態(tài),避免規(guī)管暴露在大氣中受潮氧化。同時,定期校準(zhǔn)設(shè)備,確保測量精度符合要求。

5. 注意事項:測量過程中避免設(shè)備受到劇烈震動,禁止在真空系統(tǒng)未達(dá)到預(yù)抽真空要求時開啟冷規(guī),防止規(guī)管損壞。若顯示屏出現(xiàn)異常數(shù)值或報警提示,需立即停止測量,檢查真空系統(tǒng)及設(shè)備連接情況,排除故障后再繼續(xù)使用。

二、產(chǎn)品優(yōu)點

  • 寬量程測量:具備較寬的真空測量范圍,可覆蓋從低真空到高真空區(qū)間(通常為10^-1~10^-7 Pa),滿足多種真空應(yīng)用場景的測量需求,無需更換不同量程的真空計。
  • 冷陰極技術(shù)優(yōu)勢:采用冷陰極電離規(guī)技術(shù),無需加熱燈絲,避免了熱規(guī)因燈絲老化、氧化導(dǎo)致的壽命短、維護(hù)頻繁等問題,設(shè)備使用壽命更長,穩(wěn)定性更強(qiáng),尤其適合長期連續(xù)運行的真空系統(tǒng)。
  • 高精度與穩(wěn)定性:內(nèi)置高精度測量電路與數(shù)據(jù)處理芯片,能夠精準(zhǔn)捕捉真空度變化,測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠。具備良好的抗干擾能力,在復(fù)雜電磁環(huán)境下仍能保持準(zhǔn)確測量。
  • 操作簡便直觀:配備清晰的液晶顯示屏,實時顯示真空數(shù)值與設(shè)備狀態(tài),操作面板按鍵布局合理,參數(shù)設(shè)置與功能切換簡單易懂,無需專業(yè)培訓(xùn)即可快速上手使用。
  • 耐用性與可靠性:整體結(jié)構(gòu)設(shè)計堅固,規(guī)管組件采用耐腐蝕性材料制作,能夠適應(yīng)苛刻的真空環(huán)境。設(shè)備具備完善的保護(hù)機(jī)制,如過壓保護(hù)、過熱保護(hù)等,有效降低故障發(fā)生率,保障長期穩(wěn)定運行。
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