ZDF-5227 全量程復(fù)合真空計(jì)（高真空/多路測量）
上海雙旭 ZDF-5227 全量程復(fù)合真空計(jì)（高真空/多路測量）介紹
產(chǎn)品概述：ZDF-5227 為上海雙旭電子有限公司推出的全量程復(fù)合式真空測量儀器，集成熱偶真空計(jì)與電離真空計(jì)功能，支持高真空及多路測量模式，適用于科研、半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析儀器等領(lǐng)域，可實(shí)現(xiàn)從大氣壓至超高真空范圍的連續(xù)監(jiān)測與自動切換。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量范圍：1×10⁵ Pa ~ 1×10⁻⁸ Pa（熱偶段 1×10⁵ ~ 1×10⁻² Pa；電離段 1×10⁻¹ ~ 1×10⁻⁸ Pa）
- 顯示分辨率：0.01 Pa（低真空段）；0.1%讀數(shù)（高真空段）
- 測量通道數(shù)：4路獨(dú)立測量接口，可同時(shí)接入不同真空規(guī)管并分別顯示
- 控制方式：按鍵+菜單操作，支持自動量程切換、零點(diǎn)校準(zhǔn)、滿度校準(zhǔn)
- 顯示方式：4.3寸彩色液晶屏，實(shí)時(shí)曲線顯示，支持?jǐn)?shù)據(jù)存儲與USB導(dǎo)出
- 規(guī)管適配：兼容ZJ-52T熱偶規(guī)、ZJ-27電離規(guī)等常用規(guī)管型號
- 通訊接口：RS-485、USB、可選以太網(wǎng)，支持Modbus協(xié)議
- 電源要求：AC 220V±10%，50Hz，功率≤30W
- 工作環(huán)境：溫度 5~40℃，濕度 ≤80%RH，無強(qiáng)電磁干擾
- 外形尺寸：320mm(W)×240mm(H)×120mm(D)
- 重量：約4.5kg
功能特點(diǎn)
具備自動識別規(guī)管類型并匹配測量范圍，防止過載損壞；支持多路數(shù)據(jù)同步采集與獨(dú)立報(bào)警設(shè)定，可外接聲光報(bào)警器或繼電器控制真空系統(tǒng)閥門；內(nèi)置自診斷程序，實(shí)時(shí)檢測傳感器狀態(tài)；可在真空系統(tǒng)烘烤過程中保持監(jiān)測穩(wěn)定性，適應(yīng)高溫工況。
使用注意事項(xiàng)
- 安裝前確認(rèn)規(guī)管與儀器接口匹配，避免針腳錯位導(dǎo)致短路或損壞接口電路。
- 高真空電離規(guī)必須在粗抽至≤1×10⁻¹ Pa后方可通電工作，否則會加速燈絲氧化燒毀。
- 熱偶規(guī)不可用于高真空段測量，誤用將導(dǎo)致數(shù)據(jù)嚴(yán)重偏差且可能損壞規(guī)管。
- 多路測量時(shí)每路須單獨(dú)校準(zhǔn)零點(diǎn)和滿度，確保各通道數(shù)據(jù)準(zhǔn)確。
- 避免在高溫（＞50℃）、高濕或強(qiáng)腐蝕性氣體環(huán)境中長期運(yùn)行，防止電路板腐蝕或液晶失效。
- 更換規(guī)管或長時(shí)間停用后需重新進(jìn)行零點(diǎn)校準(zhǔn)，防止漂移誤差累積。
- 禁止在真空系統(tǒng)突然破空（快速進(jìn)氣至大氣壓）狀態(tài)下直接測量，應(yīng)待壓力平穩(wěn)后再啟動測量。
- 清潔機(jī)殼僅可使用干燥軟布，嚴(yán)禁液體或溶劑直接接觸面板與接口。
- 若發(fā)現(xiàn)顯示異�；驘o響應(yīng)，應(yīng)立即斷電檢查規(guī)管連接及電源電壓，勿自行拆解內(nèi)部電路。
ZDF-5227 全量程復(fù)合真空計(jì)（高真空/多路測量）
上海雙旭ZDF-5227全量程復(fù)合真空計(jì)產(chǎn)品使用說明
ZDF-5227是一款集成高真空與多路測量功能的復(fù)合真空計(jì)。安裝時(shí)，確保傳感器連接至對應(yīng)通道，并檢查電源電壓為AC 220V±10%，50Hz。操作前，先通電預(yù)熱30分鐘以達(dá)到穩(wěn)定讀數(shù)。通過前面板按鍵選擇測量范圍，默認(rèn)顯示為高真空模式（10⁻¹至10⁻⁵ Pa）。測量時(shí)，將探頭插入被測真空系統(tǒng)，避免急開閥門導(dǎo)致傳感器損壞。校準(zhǔn)可使用標(biāo)準(zhǔn)氣體或參考高精度標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)，通過菜單調(diào)整零點(diǎn)和滿度。輸出信號為0-10V模擬電壓或RS485數(shù)字接口，供外部設(shè)備讀取。關(guān)機(jī)前請先降低系統(tǒng)壓強(qiáng)至大氣壓，防止油蒸汽污染。
主要優(yōu)點(diǎn)
1. 全量程覆蓋：從大氣壓到10⁻⁵ Pa，無需更換傳感器，單臺設(shè)備滿足多種測量需求。2. 高精度與穩(wěn)定性：采用復(fù)合傳感器技術(shù)，誤差范圍在±5%以內(nèi)，長期漂移小。3. 多路測量能力：支持多通道同步測量，便于監(jiān)控多個(gè)真空室，提高效率。4. 直觀操作：中文菜單與液晶顯示，簡化設(shè)定流程，減少操作錯誤。5. 堅(jiān)固耐久：外殼采用合金材質(zhì)，抗振動、耐腐蝕，適合工業(yè)環(huán)境。6. 低維護(hù)成本：熱偶規(guī)與電離規(guī)集成，易損部件可單獨(dú)更換，延長設(shè)備壽命。7. 智能診斷：自動檢測傳感器狀態(tài)，故障時(shí)報(bào)警并顯示錯誤代碼。8. 可擴(kuò)展性：標(biāo)配模擬與數(shù)字接口，可集成至自動化控制系統(tǒng)。 |
