ZJ-12 超高真空熱陰極電離規(guī)（真空規(guī)管）
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上海雙旭ZJ-12 超高真空熱陰極電離規(guī)（真空規(guī)管）
一、產(chǎn)品核心參數(shù)
ZJ-12是一款專為超高真空環(huán)境設(shè)計(jì)的熱陰極電離規(guī)管，核心參數(shù)如下：
- 測(cè)量范圍：1×10⁻¹⁰ Pa ~ 1×10⁻¹ Pa，覆蓋超高真空到低真空區(qū)間，適配多種精密真空?qǐng)鼍?/li>
- 規(guī)管結(jié)構(gòu)：采用直熱式陰極設(shè)計(jì)，搭配三極式電離結(jié)構(gòu)（陰極、柵極、收集極），確保電離效率與測(cè)量穩(wěn)定性
- 陰極材料：選用高抗氧化、低逸出功的特殊金屬材質(zhì)，有效延長(zhǎng)超高真空環(huán)境下的使用壽命
- 工作電壓：柵極推薦電壓200V~300V，收集極相對(duì)于陰極為-25V~-30V（具體需匹配配套電源）
- 加熱電流：陰極加熱電流范圍1.2A~1.5A，可根據(jù)真空環(huán)境微調(diào)以優(yōu)化性能
- 連接方式：采用KF16快接法蘭（或可定制其他接口規(guī)格），便于快速安裝與密封，滿足超高真空密封要求
- 適用環(huán)境溫度：-10℃~50℃，儲(chǔ)存溫度范圍-20℃~60℃，需避免劇烈溫度波動(dòng)
二、產(chǎn)品特點(diǎn)與應(yīng)用
ZJ-12憑借精準(zhǔn)的測(cè)量性能與穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，廣泛適用于超高真空需求場(chǎng)景：
其超高的測(cè)量下限可滿足真空鍍膜設(shè)備、半導(dǎo)體制造工藝、真空冶金、空間環(huán)境模擬艙、科研實(shí)驗(yàn)室超高真空系統(tǒng)等場(chǎng)景的真空度監(jiān)測(cè)需求；直熱式陰極設(shè)計(jì)響應(yīng)速度快，能實(shí)時(shí)反饋真空環(huán)境變化，搭配配套電離規(guī)電源可實(shí)現(xiàn)數(shù)字化顯示與數(shù)據(jù)輸出，便于集成到自動(dòng)化控制系統(tǒng)中。
三、關(guān)鍵使用注意事項(xiàng)
為確保規(guī)管測(cè)量精度與使用壽命，使用過程中需嚴(yán)格遵循以下要求：
- 真空預(yù)處理要求：規(guī)管接入系統(tǒng)前，需確保真空系統(tǒng)已預(yù)抽到1×10⁻³ Pa以下的真空度，禁止在低真空（≥1×10⁻¹ Pa）環(huán)境下開啟陰極加熱，避免陰極因氧化快速失效。
- 加熱電流控制：禁止長(zhǎng)時(shí)間超過額定加熱電流工作，若發(fā)現(xiàn)陰極發(fā)紅嚴(yán)重，需立即調(diào)低電流；真空度升高時(shí)，可適當(dāng)降低加熱電流以保護(hù)陰極。
- 避免污染與過載：嚴(yán)禁在系統(tǒng)存在油蒸氣、腐蝕性氣體或粉塵的環(huán)境下使用，此類雜質(zhì)會(huì)污染陰極與收集極，導(dǎo)致測(cè)量誤差增大；若真空系統(tǒng)突然暴露大氣，需立即關(guān)閉規(guī)管電源，待系統(tǒng)重新抽至安全真空度后再重啟。
- 安裝與密封規(guī)范：安裝前需清潔法蘭密封面，確保無灰塵、油污，使用符合超高真空標(biāo)準(zhǔn)的氟橡膠或金屬墊片，擰緊法蘭螺栓時(shí)需均勻施力，保證密封可靠性；規(guī)管應(yīng)垂直或傾斜安裝，避免冷凝物沉積在陰極表面。
- 電源匹配要求：必須使用與ZJ-12配套的電離規(guī)電源，禁止隨意更換不匹配的電源設(shè)備，防止因電壓、電流異常損壞規(guī)管內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
- 定期維護(hù)校準(zhǔn)：長(zhǎng)期使用后，需定期檢查規(guī)管的靈敏度變化，建議每1~2年進(jìn)行一次專業(yè)校準(zhǔn)；若出現(xiàn)測(cè)量數(shù)據(jù)漂移、陰極頻繁燒斷等情況，需及時(shí)排查系統(tǒng)真空環(huán)境或更換規(guī)管。
- 存放與運(yùn)輸注意：閑置時(shí)需將規(guī)管端口密封，存放在干燥、無腐蝕性氣體的環(huán)境中；運(yùn)輸過程中避免劇烈碰撞、振動(dòng)，防止內(nèi)部電極結(jié)構(gòu)移位影響精度。
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ZJ-12 超高真空熱陰極電離規(guī)（真空規(guī)管）
上海雙旭 ZJ-12 超高真空熱陰極電離規(guī) 使用說明
ZJ-12 是一種基于熱陰極電離原理的超高真空測(cè)量器件，適用于 10^-2 至 10^-8 Pa 范圍。安裝前需確保系統(tǒng)潔凈，避免油污或顆粒物污染陰極。使用時(shí)應(yīng)先開啟真空系統(tǒng)，待壓力低于 10^-1 Pa 后，再緩慢施加燈絲電壓（通常為 6.3V AC/DC），避免燈絲在高壓下氧化損壞。測(cè)量時(shí)，收集極電流與壓力成正比，需配合配套控制器讀取。每次使用后，應(yīng)先關(guān)閉燈絲電源，再關(guān)閉真空系統(tǒng)，以延長(zhǎng)壽命。
優(yōu)點(diǎn)
- 高靈敏度：可檢測(cè)低至 10^-8 Pa 的超高真空，適合科研與半導(dǎo)體工藝。
- 寬量程：從高真空到超高真空連續(xù)覆蓋，無測(cè)量盲區(qū)。
- 快速響應(yīng)：電子發(fā)射穩(wěn)定，壓力變化實(shí)時(shí)反饋。
- 抗污染設(shè)計(jì)：雙層屏蔽結(jié)構(gòu)減少離子干擾，長(zhǎng)期穩(wěn)定性強(qiáng)。
- 兼容性佳：標(biāo)準(zhǔn) CF35 法蘭接口，易于集成到現(xiàn)有系統(tǒng)。 |
