ZDF-5227AXV01 電阻電離復(fù)合真空計(jì)
上海雙旭 ZDF-5227AXV01 電阻電離復(fù)合真空計(jì)
產(chǎn)品概述
ZDF-5227AXV01 為上海雙旭電子有限公司研制的電阻電離復(fù)合式真空計(jì)，集成熱阻規(guī)與電離規(guī)測(cè)量原理，覆蓋從大氣壓至超高真空寬范圍壓力檢測(cè)。適用于科研、半導(dǎo)體、真空鍍膜、分析儀器等需要精確真空監(jiān)控的場(chǎng)合，具備自動(dòng)量程切換與數(shù)字顯示功能。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量范圍：1×10⁵ Pa ~ 1×10⁻⁸ Pa（電阻規(guī) 1×10⁵~1×10⁻² Pa；電離規(guī) 1×10⁻¹~1×10⁻⁸ Pa）
- 分辨率：電阻規(guī) ≤0.1% FS；電離規(guī) ≤5% RD（滿量程或讀數(shù)）
- 精度等級(jí)：±15%（電阻規(guī)，1×10⁴~1×10⁻² Pa）；±30%（電離規(guī)，1×10⁻¹~1×10⁻⁷ Pa）
- 響應(yīng)時(shí)間：<1 s（電阻規(guī)）；<2 s（電離規(guī)切換后穩(wěn)定）
- 工作溫度：5℃~40℃；存儲(chǔ)溫度：-20℃~60℃
- 供電電源：AC 220V ±10%，50/60 Hz，功耗≤25 W
- 顯示方式：4位 LED 數(shù)字顯示，帶單位指示（Pa、Torr、mbar 可選）
- 控制接口：RS-485/RS-232（可選），支持模擬輸出 0~10 V / 4~20 mA
- 規(guī)管類型：標(biāo)配 ZJ-52T 電阻規(guī) + ZJ-14 電離規(guī)（可替換兼容型號(hào)）
- 安裝方式：面板嵌入式或支架固定，法蘭接口 CF16/CF35/KF16（依規(guī)管定）
- 防護(hù)等級(jí)：IP20（面板部分）
工作原理
采用雙規(guī)復(fù)合測(cè)量：在低真空段由電阻規(guī)（皮拉尼）通過(guò)熱敏元件溫度變化換算壓力；進(jìn)入中高真空段自動(dòng)切換至電離規(guī)，利用氣體分子電離產(chǎn)生的離子流與壓力線性關(guān)系檢測(cè)。控制電路實(shí)時(shí)判斷壓力區(qū)間并切換規(guī)管工作模式，保證全量程連續(xù)監(jiān)測(cè)。
主要功能特點(diǎn)
- 自動(dòng)量程切換，無(wú)需手動(dòng)干預(yù)
- 數(shù)字濾波抗干擾，顯示穩(wěn)定
- 規(guī)管老化提示及自診斷功能
- 多單位切換，適配不同系統(tǒng)需求
- 可選遠(yuǎn)程通信，便于系統(tǒng)集成
- 結(jié)構(gòu)緊湊，適配多種真空腔體接口
使用注意事項(xiàng)
- 規(guī)管安裝前確保真空腔體清潔，避免油蒸氣或顆粒物污染影響測(cè)量準(zhǔn)確性與壽命。
- 電離規(guī)對(duì)大氣沖擊敏感，必須在腔體壓力低于 1×10⁻¹ Pa 方可開(kāi)啟電離規(guī)高壓，否則極易燒毀燈絲。
- 電阻規(guī)在高壓力下長(zhǎng)時(shí)間工作可能導(dǎo)致熱絲氧化或斷裂，應(yīng)避免在 >100 Pa 環(huán)境持續(xù)通電。
- 更換規(guī)管需斷電操作，確認(rèn)型號(hào)匹配且密封面無(wú)損傷，按規(guī)范扭矩緊固法蘭螺栓。
- 不可在強(qiáng)電磁干擾、高頻放電或腐蝕性氣體環(huán)境中直接使用，必要時(shí)加屏蔽與過(guò)濾裝置。
- 定期校準(zhǔn)（建議每 12 個(gè)月一次），尤其用于高精度工藝控制的場(chǎng)合。
- 長(zhǎng)期停用應(yīng)斷開(kāi)電源，規(guī)管存放于干燥潔凈環(huán)境，防止潮氣侵入。
- 模擬輸出信號(hào)負(fù)載須在規(guī)定阻抗范圍內(nèi)，避免超出驅(qū)動(dòng)能力導(dǎo)致誤差或損壞。
- 嚴(yán)禁帶電插拔規(guī)管信號(hào)線，防止靜電或電涌損壞電路。
ZDF-5227AXV01 電阻電離復(fù)合真空計(jì)
### 上海雙旭ZDF-5227AXV01電阻電離復(fù)合真空計(jì)使用說(shuō)明
一、開(kāi)機(jī)準(zhǔn)備
1. 檢查設(shè)備外觀是否完好，連接電纜有無(wú)破損、松動(dòng)，確保真空規(guī)管與主機(jī)連接牢固。
2. 將設(shè)備連接至符合要求的電源，確認(rèn)電源電壓與設(shè)備額定電壓一致，接通電源前需關(guān)閉主機(jī)電源開(kāi)關(guān)。
二、操作流程
1. 開(kāi)機(jī)：打開(kāi)主機(jī)電源開(kāi)關(guān)，設(shè)備進(jìn)入自檢模式，待自檢完成后，顯示屏將顯示初始界面。
2. 參數(shù)設(shè)置：根據(jù)測(cè)量需求，通過(guò)面板按鍵設(shè)置測(cè)量單位、報(bào)警閾值等參數(shù)。按“設(shè)置”鍵進(jìn)入?yún)?shù)界面，使用上下鍵選擇參數(shù)，確認(rèn)鍵保存設(shè)置。
3. 測(cè)量啟動(dòng)：確認(rèn)真空系統(tǒng)連接正常后，按“測(cè)量”鍵啟動(dòng)測(cè)量，顯示屏將實(shí)時(shí)顯示當(dāng)前真空度數(shù)值。若使用電離規(guī)管測(cè)量高真空，需先確認(rèn)系統(tǒng)真空度達(dá)到電阻規(guī)管測(cè)量上限以下，再切換至電離規(guī)管模式，避免規(guī)管損壞。
4. 報(bào)警功能：當(dāng)真空度超出設(shè)定的報(bào)警閾值時(shí)，設(shè)備將發(fā)出聲光報(bào)警，此時(shí)需檢查真空系統(tǒng)是否存在泄漏或故障，排除問(wèn)題后按“復(fù)位”鍵解除報(bào)警。
5. 關(guān)機(jī)：測(cè)量結(jié)束后，先切換至電阻規(guī)管模式（若使用了電離規(guī)管），再關(guān)閉測(cè)量功能，最后關(guān)閉主機(jī)電源開(kāi)關(guān)，斷開(kāi)電源連接。
三、維護(hù)與注意事項(xiàng)
1. 定期檢查真空規(guī)管的清潔度，若規(guī)管內(nèi)有污染物堆積，需按照說(shuō)明書要求進(jìn)行清潔或更換，避免影響測(cè)量精度。
2. 設(shè)備應(yīng)放置在干燥、通風(fēng)、無(wú)腐蝕性氣體的環(huán)境中，避免劇烈震動(dòng)和高溫環(huán)境。
3. 長(zhǎng)時(shí)間不使用時(shí)，需斷開(kāi)電源，妥善保管設(shè)備，定期通電檢查設(shè)備性能。
4. 嚴(yán)禁在真空系統(tǒng)未達(dá)到安全真空度時(shí)啟動(dòng)電離規(guī)管，防止規(guī)管燒毀。
### 上海雙旭ZDF-5227AXV01電阻電離復(fù)合真空計(jì)產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
1. 寬量程復(fù)合測(cè)量，適配多場(chǎng)景需求
整合電阻規(guī)與電離規(guī)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)從低真空到高真空的寬量程連續(xù)測(cè)量，覆蓋范圍廣泛，可滿足半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等多種真空應(yīng)用場(chǎng)景的測(cè)量需求，無(wú)需更換不同規(guī)管，提升測(cè)量效率。
2. 高精度與高穩(wěn)定性，保障數(shù)據(jù)可靠
采用先進(jìn)的信號(hào)處理電路和精準(zhǔn)的傳感器校準(zhǔn)技術(shù)，測(cè)量精度高，數(shù)據(jù)穩(wěn)定性強(qiáng)。在復(fù)雜環(huán)境下仍能保持準(zhǔn)確的真空度顯示，為真空系統(tǒng)的運(yùn)行監(jiān)控和工藝控制提供可靠的數(shù)據(jù)支持。
3. 智能報(bào)警與保護(hù)，提升設(shè)備安全性
具備自定義報(bào)警閾值設(shè)置功能，當(dāng)真空度異常時(shí)及時(shí)發(fā)出聲光報(bào)警，提醒操作人員排查問(wèn)題。同時(shí)配備規(guī)管保護(hù)機(jī)制，在真空度未達(dá)到要求時(shí)自動(dòng)禁止電離規(guī)管啟動(dòng)，有效延長(zhǎng)規(guī)管使用壽命，降低設(shè)備損耗成本。
4. 操作便捷，用戶體驗(yàn)友好
采用簡(jiǎn)潔直觀的按鍵操作界面和清晰的顯示屏，參數(shù)設(shè)置與測(cè)量啟動(dòng)流程簡(jiǎn)單易懂，即使是初次使用的操作人員也能快速上手。同時(shí)設(shè)備體積小巧，安裝靈活，可輕松集成到各類真空系統(tǒng)中。 |
