ZDF-5201AX 超高真空復(fù)合真空計(jì)（ZJ-52T和ZJ-12復(fù)合）
上海雙旭ZDF-5201AX 超高真空復(fù)合真空計(jì)（ZJ-52T和ZJ-12復(fù)合）介紹
產(chǎn)品概述
ZDF-5201AX為上海雙旭電子有限公司推出的超高真空復(fù)合真空計(jì)，集成ZJ-52T熱陰極電離規(guī)與ZJ-12冷陰極磁控規(guī)，實(shí)現(xiàn)從大氣壓至10-8Pa寬量程連續(xù)測(cè)量，適用于科研、半導(dǎo)體、真空鍍膜及高能物理等對(duì)真空度要求嚴(yán)苛的場(chǎng)景。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量范圍：1×105Pa ~ 1×10-8Pa（自動(dòng)切換）
- 規(guī)管組合：ZJ-52T熱陰極電離規(guī) + ZJ-12冷陰極磁控規(guī)
- 顯示分辨率：熱偶段≤0.1Pa；電離段≤1×10-2Pa（低量程可達(dá)1×10-9Pa）
- 控制方式：按鍵+數(shù)字顯示，支持RS-485/232通訊接口
- 供電電源：AC 220V±10%，50Hz，功率≤30W
- 工作溫度：0℃~40℃，相對(duì)濕度≤80%（無(wú)凝露）
- 預(yù)熱時(shí)間：ZJ-52T ≤15min；ZJ-12 ≤5min
- 規(guī)管安裝法蘭：CF35（可根據(jù)需求定制KF/ISO）
- 防護(hù)等級(jí)：IP20（室內(nèi)使用）
- 外形尺寸：主機(jī)240mm×160mm×100mm；規(guī)管長(zhǎng)度依型號(hào)不同約150~250mm
功能特點(diǎn)
采用雙規(guī)復(fù)合設(shè)計(jì)，熱陰極段保證中高真空精度與穩(wěn)定性，冷陰段突破超高真空下限且耐沖擊、壽命長(zhǎng)；內(nèi)置自動(dòng)量程切換與過(guò)載保護(hù)，避免規(guī)管燒毀；具備零點(diǎn)校準(zhǔn)與滿(mǎn)度修正功能，適應(yīng)長(zhǎng)期漂移補(bǔ)償；可連接上位機(jī)實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)記錄與遠(yuǎn)程監(jiān)控。
使用注意事項(xiàng)
- 規(guī)管安裝須嚴(yán)格對(duì)中與密封，禁止強(qiáng)行敲擊或傾斜插拔，防止玻璃規(guī)管破裂或電極變形。
- 系統(tǒng)抽氣至1×10-2Pa以下方可開(kāi)啟電離規(guī)高壓，否則燈絲極易氧化燒毀。
- 在大氣或粗真空狀態(tài)下嚴(yán)禁長(zhǎng)時(shí)間開(kāi)啟電離規(guī)電源，冷陰極規(guī)雖耐沖擊但仍需避免頻繁啟停。
- 腐蝕性氣體、粉塵顆粒及油蒸氣會(huì)污染規(guī)管電極，測(cè)量此類(lèi)介質(zhì)需加前置過(guò)濾與冷凝捕集裝置。
- 更換規(guī)管前必須切斷整機(jī)電源并充分放氣，避免殘余高壓觸電或熱絲遇空氣瞬間氧化。
- 規(guī)管閑置時(shí)應(yīng)保持真空封存狀態(tài)，存放環(huán)境干燥、避光，避免機(jī)械振動(dòng)與強(qiáng)磁場(chǎng)干擾。
- 定期清潔規(guī)管外殼及法蘭面，確保密封性能；建議每6~12個(gè)月進(jìn)行一次零點(diǎn)與靈敏度校驗(yàn)。
- 高溫烘烤系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)確認(rèn)規(guī)管耐溫指標(biāo)（ZJ-52T通常≤450℃，ZJ-12≤150℃），超溫會(huì)導(dǎo)致規(guī)管永久失效。
- 通訊接線須按說(shuō)明書(shū)引腳定義操作，防止信號(hào)干擾導(dǎo)致讀數(shù)異常或控制失靈。
ZDF-5201AX 超高真空復(fù)合真空計(jì)（ZJ-52T和ZJ-12復(fù)合）
上海雙旭 ZDF-5201AX 超高真空復(fù)合真空計(jì) 產(chǎn)品使用說(shuō)明
概述： ZDF-5201AX 是一款復(fù)合型超高真空計(jì)，采用 ZJ-52T 熱陰極電離規(guī)管和 ZJ-12 冷陰極磁控規(guī)管復(fù)合設(shè)計(jì)，覆蓋從大氣壓到超高真空的全量程測(cè)量。適用于真空鍍膜、表面分析、加速器、空間模擬等領(lǐng)域。
安裝： 將 ZJ-52T 和 ZJ-12 規(guī)管分別安裝在真空系統(tǒng)的相應(yīng)接口上，確保密封良好（推薦使用金屬密封或氟橡膠密封圈）。連接規(guī)管電纜至主機(jī)對(duì)應(yīng)接口，注意插入方向并鎖緊。主機(jī)供電為220V AC，50Hz，確保接地可靠。
開(kāi)機(jī)： 接通電源，按下電源開(kāi)關(guān)，預(yù)熱15分鐘。顯示屏默認(rèn)顯示 ZJ-52T 電離模式測(cè)量值（10⁻¹~10⁻⁵ Pa 量程）。
量程切換： 系統(tǒng)自動(dòng)切換規(guī)管工作模式：當(dāng)真空度高于10⁻¹ Pa時(shí)，自動(dòng)啟用 ZJ-12 冷陰極模式（量程10⁻¹~10⁻⁵ Pa）；低于10⁻¹ Pa時(shí)，切換至 ZJ-52T 熱陰極模式（擴(kuò)展量程至10⁻⁷ Pa）。手動(dòng)模式可通過(guò)前面板“量程”鍵選擇特定規(guī)管。
校準(zhǔn)： 出廠前已進(jìn)行基準(zhǔn)校準(zhǔn)。若需重新校準(zhǔn)，在待測(cè)真空度穩(wěn)定后（建議在10⁻⁴ Pa附近），使用“校準(zhǔn)”旋鈕調(diào)節(jié)顯示值為標(biāo)準(zhǔn)參考值（如與參考真空計(jì)對(duì)比）。
維護(hù)： 定期清潔規(guī)管連接法蘭和密封面，避免油污污染。熱陰極規(guī)管燈絲壽命約2000小時(shí)，耗盡后需更換 ZJ-52T 規(guī)管。冷陰極規(guī)管若發(fā)生放電不穩(wěn)定，可嘗試用氬氣或氮?dú)鉀_洗重復(fù)使用。
主要優(yōu)點(diǎn)
- 寬量程覆蓋： 一臺(tái)設(shè)備即可測(cè)量從大氣壓（10⁵ Pa）到超高真空（10⁻⁷ Pa）的全范圍，無(wú)需外接多種真空計(jì)。
- 自動(dòng)復(fù)合切換： 內(nèi)置智能切換電路，根據(jù)真空度自動(dòng)選擇最佳規(guī)管模式，避免手動(dòng)干預(yù)，提高測(cè)量效率。
- 高精度與響應(yīng)速度： 熱陰極電離計(jì)靈敏度高達(dá)5×10⁻⁴ Pa⁻¹，冷陰極磁控計(jì)啟動(dòng)快，在超高真空段仍能保持±15%精度。
- 抗污染設(shè)計(jì)： ZJ-12 冷陰極結(jié)構(gòu)耐油氣污染，ZJ-52T 采用雙燈絲設(shè)計(jì)延長(zhǎng)壽命，適應(yīng)工業(yè)惡劣環(huán)境。
- 數(shù)字顯示與輸出： 大屏LED顯示實(shí)時(shí)壓力值，并提供RS232/485數(shù)字通訊接口，便于集成到自動(dòng)化系統(tǒng)中。
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