ZDF-5214BY 電阻規(guī)冷規(guī)復(fù)合真空計（超高真空）
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上海雙旭ZDF-5214BY 電阻規(guī)冷規(guī)復(fù)合真空計（超高真空）
一、產(chǎn)品概述
ZDF-5214BY是上海雙旭推出的超高真空測量專用復(fù)合真空計，整合電阻真空規(guī)與冷陰極電離真空規(guī)技術(shù)，可實現(xiàn)從低真空到超高真空的寬量程連續(xù)測量，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實驗、真空冶金等對真空度要求嚴苛的領(lǐng)域，具備測量精度高、穩(wěn)定性強、操作便捷等特點。
二、核心技術(shù)參數(shù)
- 測量范圍：電阻規(guī)段 10⁵～10⁻¹ Pa；冷規(guī)段 10⁻²～10⁻⁸ Pa，覆蓋低真空至超高真空全區(qū)間
- 測量精度：電阻規(guī)≤±10%（滿量程）；冷規(guī)≤±20%（10⁻³～10⁻⁸ Pa區(qū)間）
- 規(guī)管配置：標配國產(chǎn)高性能電阻規(guī)管+冷陰極電離規(guī)管，支持規(guī)管參數(shù)校準與替換
- 顯示方式：四位LED數(shù)字顯示，自動切換量程，真空度數(shù)值與單位同步顯示
- 控制功能：具備真空度超限聲光報警、規(guī)管保護觸發(fā)、模擬信號輸出（0-10V/4-20mA），可聯(lián)動真空系統(tǒng)設(shè)備
- 電源規(guī)格：AC 220V±10%，50Hz，功率≤30W
- 工作環(huán)境：溫度0～40℃，相對濕度≤85%（無冷凝），無強磁場、振動干擾環(huán)境
- 外形尺寸：主機160×80×220mm（寬×高×深），嵌入式或臺式安裝均可
- 接口配置：規(guī)管接口KF10/KF16快裝法蘭；信號輸出接口DB9；電源接口航空插頭
三、使用注意事項
1. 規(guī)管安裝與防護：冷陰極電離規(guī)管僅允許在真空度優(yōu)于10⁻¹ Pa時開啟，嚴禁在大氣壓下啟動冷規(guī)，否則會造成規(guī)管永久性損壞；電阻規(guī)管安裝前需確認接口密封完好，避免因泄漏導(dǎo)致測量誤差。
2. 開機與操作規(guī)范：開機后需先預(yù)熱電阻規(guī)15-30分鐘，待數(shù)值穩(wěn)定后開始測量；切換冷規(guī)時，需確認系統(tǒng)真空度達到10⁻¹ Pa以下，通過主機按鍵或自動觸發(fā)開啟冷規(guī)，禁止強制啟動。
3. 環(huán)境與維護要求：設(shè)備需安裝在通風(fēng)干燥的環(huán)境中，避免接觸腐蝕性氣體；定期檢查規(guī)管表面清潔度，若有灰塵或污染，需斷電后用無水乙醇擦拭，嚴重污染時需更換規(guī)管。
4. 校準與檢修：每12個月需對規(guī)管進行一次真空度校準，可使用標準真空比對法或送專業(yè)計量機構(gòu)校準；出現(xiàn)測量數(shù)值異常、報警失靈等故障時，需斷開電源后聯(lián)系專業(yè)人員檢修，禁止自行拆解主機內(nèi)部電路。
5. 系統(tǒng)聯(lián)動安全：當與真空機組、閥門等設(shè)備聯(lián)動時，需提前設(shè)置好真空度閾值，避免因誤觸發(fā)導(dǎo)致系統(tǒng)過載；設(shè)備運行過程中，禁止觸碰高壓接口與規(guī)管電極，防止觸電風(fēng)險。
四、產(chǎn)品優(yōu)勢
該復(fù)合真空計采用模塊化電路設(shè)計，規(guī)管與主機分離式布局，便于現(xiàn)場安裝與維護；針對超高真空場景優(yōu)化了規(guī)管保護邏輯，可有效延長規(guī)管使用壽命；豐富的信號輸出與控制功能，滿足工業(yè)自動化真空系統(tǒng)的監(jiān)測與控制需求，是超高真空領(lǐng)域性價比突出的測量設(shè)備。
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ZDF-5214BY 電阻規(guī)冷規(guī)復(fù)合真空計（超高真空）
上海雙旭ZDF-5214BY電阻規(guī)冷規(guī)復(fù)合真空計（超高真空）產(chǎn)品使用說明
一、開機前準備
1. 檢查真空計主機、電阻規(guī)管、冷規(guī)管及連接線纜外觀是否完好，無破損、銹蝕等情況。確保各部件連接牢固，電阻規(guī)管與冷規(guī)管正確接入對應(yīng)接口，避免接反。
2. 確認供電電源符合設(shè)備要求（通常為AC220V±10%，50Hz），將電源插頭插入合格的電源插座中，確保接地可靠，防止靜電干擾及觸電風(fēng)險。
3. 檢查被測真空系統(tǒng)的密封性，確保系統(tǒng)處于正�？蓽y試狀態(tài)，避免因系統(tǒng)泄漏導(dǎo)致測量數(shù)據(jù)異�；驌p壞規(guī)管。
二、開機與基本操作
1. 按下主機面板上的電源開關(guān)，設(shè)備啟動，進入初始化界面。等待數(shù)秒，待系統(tǒng)完成自檢后，進入主測量界面。
2. 模式切換：通過面板上的“模式選擇”按鍵，可在電阻規(guī)測量模式、冷規(guī)測量模式及復(fù)合測量模式間切換。電阻規(guī)適用于低真空到高真空范圍測量，冷規(guī)則針對超高真空環(huán)境，復(fù)合模式可同時顯示兩種規(guī)管的測量數(shù)據(jù)。
3. 參數(shù)設(shè)置：如需調(diào)整測量參數(shù)（如校準系數(shù)、報警閾值等），按“設(shè)置”鍵進入設(shè)置菜單，通過上下方向鍵選擇參數(shù)，確認鍵進行數(shù)值修改，修改完成后按“確認”保存并退出菜單。
三、測量過程
1. 電阻規(guī)測量：切換至電阻規(guī)模式，待規(guī)管預(yù)熱完成（通常需數(shù)分鐘，面板指示燈提示），即可讀取真空度數(shù)值。測量過程中，避免系統(tǒng)真空度劇烈波動，若需對系統(tǒng)進行放氣操作，建議先關(guān)閉電阻規(guī)測量功能，防止規(guī)管因過載損壞。
2. 冷規(guī)測量：切換至冷規(guī)模式，開啟冷規(guī)電源，等待規(guī)管冷卻至工作溫度（一般需30分鐘左右，設(shè)備會顯示冷卻進度）。冷卻完成后，系統(tǒng)自動開始超高真空測量，此時需保持系統(tǒng)穩(wěn)定，避免震動或磁場干擾影響測量精度。
3. 數(shù)據(jù)記錄：設(shè)備支持手動記錄或自動存儲測量數(shù)據(jù)，按“記錄”鍵可手動保存當前數(shù)據(jù)，自動存儲可在設(shè)置菜單中開啟，數(shù)據(jù)可通過USB接口導(dǎo)出至電腦進行分析。
四、關(guān)機與維護
1. 關(guān)機前，先關(guān)閉冷規(guī)電源，等待規(guī)管自然升溫至室溫（約1小時），避免因冷熱驟變損壞規(guī)管。再關(guān)閉電阻規(guī)測量功能，最后按下電源開關(guān)關(guān)閉主機。
2. 定期檢查規(guī)管清潔度，若發(fā)現(xiàn)規(guī)管內(nèi)部有污染物，可按照說明書指導(dǎo)進行清潔或更換規(guī)管。清潔時需佩戴無塵手套，避免手部接觸規(guī)管敏感部件。
3. 保持主機通風(fēng)良好，避免在高溫、高濕度或腐蝕性氣體環(huán)境中使用設(shè)備。定期用干凈軟布擦拭主機外殼，清理灰塵。
上海雙旭ZDF-5214BY電阻規(guī)冷規(guī)復(fù)合真空計（超高真空）產(chǎn)品優(yōu)點
1. 寬范圍高精度測量
整合電阻規(guī)與冷規(guī)技術(shù)，實現(xiàn)從低真空（10⁵Pa）到超高真空（10⁻¹⁰Pa）的全量程覆蓋，不同真空區(qū)間均能保持高精度測量，滿足科研、半導(dǎo)體制造、真空鍍膜等多領(lǐng)域的復(fù)雜真空環(huán)境檢測需求。
2. 智能復(fù)合測量模式
支持電阻規(guī)、冷規(guī)單獨測量及復(fù)合同時測量模式，用戶可根據(jù)實際真空環(huán)境靈活切換。復(fù)合模式下可實時對比兩種規(guī)管的測量數(shù)據(jù)，便于校準與驗證，提升測量結(jié)果的可靠性。
3. 人性化操作與顯示
配備高清液晶顯示屏，數(shù)據(jù)顯示清晰直觀，支持真空度數(shù)值、測量模式、規(guī)管狀態(tài)等信息同步展示。操作按鍵布局合理，功能明確，即使是初次使用的用戶也能快速上手，同時支持中英文界面切換，適配不同用戶需求。
4. 高穩(wěn)定性與耐用性
采用高品質(zhì)規(guī)管部件及精密電路設(shè)計，具備良好的抗干擾能力，可在復(fù)雜工業(yè)環(huán)境中穩(wěn)定運行。規(guī)管經(jīng)過嚴格老化測試，使用壽命長，降低設(shè)備維護成本與更換頻率。
5. 豐富的數(shù)據(jù)管理功能
內(nèi)置數(shù)據(jù)存儲模塊，可存儲大量測量數(shù)據(jù)，支持手動與自動存儲兩種方式。通過USB接口可輕松將數(shù)據(jù)導(dǎo)出至電腦，方便進行數(shù)據(jù)分析、報表生成及數(shù)據(jù)追溯，提升工作效率。 |
