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 產(chǎn)品詳細
ZDM-2 電容薄膜真空計 
產(chǎn)品名稱: ZDM-2 電容薄膜真空計
產(chǎn)品型號: shaungxu
產(chǎn)品報價:
 
   
 產(chǎn)品詳細:

ZDM-2 電容薄膜真空計

 

上海雙旭 ZDM-2 電容薄膜真空計

產(chǎn)品概述
ZDM-2 為上海雙旭電子有限公司研制的電容薄膜式真空計,基于金屬薄膜在真空中受壓力變形引起電容變化的原理工作。適用于高、中、低真空范圍的精確測量,廣泛用于科研實驗、半導體制造、真空鍍膜、真空熱處理及分析儀器配套。

產(chǎn)品參數(shù)

  • 測量范圍:1×10⁵ Pa ~ 1×10⁻⁴ Pa(1000 mbar ~ 1×10⁻⁶ mbar)
  • 精度等級:±1.5% FS(滿量程)
  • 分辨率:1×10⁻⁴ Pa(在 1×10⁻¹ Pa 附近可達更高分辨)
  • 響應時間:≤ 500 ms(典型值,隨氣體種類略有差異)
  • 工作溫度:+5℃ ~ +50℃
  • 存儲溫度:-20℃ ~ +70℃
  • 供電電壓:DC 24V ±10%
  • 輸出信號:4~20 mA(兩線制)、0~10 V(可選三線制)
  • 電氣連接:標準 M12 航空插頭或端子排
  • 傳感器材質(zhì):316L 不銹鋼、陶瓷/石英薄膜
  • 防護等級:IP65(傳感器探頭部分)
  • 耐壓能力:最大 200 kPa(絕對壓力過載)
  • 重復性:≤ ±0.5% FS
  • 零點漂移:≤ ±0.5% FS / 年
  • 安裝方式:法蘭式(KF16/KF25/CF等)、螺紋接口可選

工作原理

采用單電容或差分電容結構,金屬薄膜作為可動電極,與固定電極構成可變電容器。當真空度變化時,薄膜受氣體壓力作用產(chǎn)生位移,導致電容值線性變化,經(jīng)電路轉(zhuǎn)換為標準電流/電壓信號輸出。該結構對氣體成分依賴性小,適合多種工況。

使用注意事項

  • 安裝前確認真空系統(tǒng)清潔,避免顆;蛴臀畚廴緜鞲衅鞅∧ぃ駝t會導致靈敏度下降或永久損壞。
  • 禁止在高壓氣體沖擊或爆炸性氣體環(huán)境下直接使用,需加裝安全隔離裝置。
  • 開機前確保供電電壓穩(wěn)定,防止過壓或反接燒毀變送器電路。
  • 傳感器不可暴露于大氣突曝環(huán)境(從超高真空瞬間到大氣壓),應緩慢調(diào)壓,防止薄膜因壓差過大變形失效。
  • 測量腐蝕性氣體或含冷凝成分的介質(zhì)時,應選用耐腐型號或進行特殊防護處理,否則會腐蝕薄膜及電極。
  • 定期校準(建議每 12 個月一次)以保證精度,校準應在標準真空基準下進行。
  • 電纜布線應遠離強電磁干擾源,屏蔽層單端接地,避免信號漂移或噪聲疊加。
  • 拆卸探頭時須先對系統(tǒng)進行卸壓至常壓,嚴禁帶壓操作。
  • 長期存放應保持干燥,傳感器端口用保護帽密封,防止潮氣及灰塵進入。
  • 若輸出信號異;驘o響應,應先檢查供電與接線,再排查傳感器是否受損,必要時返廠維修。

適用領域

科研真空系統(tǒng)、半導體工藝腔體、真空鍍膜設備、真空冷凍干燥、質(zhì)譜儀、電子束焊接機、空間模擬艙、工業(yè)爐真空監(jiān)控等。

ZDM-2 電容薄膜真空計

 

上海雙旭ZDM-2電容薄膜真空計產(chǎn)品使用說明

一、安裝準備:安裝前需確認真空計主體與被測真空系統(tǒng)的接口適配性,根據(jù)系統(tǒng)接口類型選擇合適的連接法蘭或接頭,確保密封部件無破損、變形。安裝環(huán)境應避免劇烈振動、強磁場干擾,同時保證環(huán)境溫度在設備標注的工作范圍內(nèi)(通常為-10℃至40℃),避免陽光直射和腐蝕性氣體接觸。

二、連接與通電:將真空計通過密封接頭與被測真空系統(tǒng)連接,注意擰緊力度適中,防止密封失效。連接完成后,按照設備說明書要求接入適配的電源,檢查電源電壓與設備額定電壓一致后,開啟電源開關,等待設備完成自檢,顯示屏正常顯示初始狀態(tài)信息即為通電成功。

三、參數(shù)設置:根據(jù)測量需求,通過設備控制面板的按鍵或配套軟件(若有)設置測量單位、數(shù)據(jù)采樣頻率、報警閾值等參數(shù)。設置完成后,可進行零點校準:在已知的真空環(huán)境(如大氣壓下或標準真空腔)中,按照校準流程完成零點調(diào)整,確保測量數(shù)據(jù)的準確性。

四、測量與數(shù)據(jù)讀。涸O備進入測量狀態(tài)后,顯示屏將實時顯示當前真空度數(shù)值,部分型號支持數(shù)據(jù)存儲與導出功能,可通過USB接口或網(wǎng)絡連接將測量數(shù)據(jù)傳輸至電腦進行分析。測量過程中若出現(xiàn)數(shù)值異;驁缶崾荆瑧皶r檢查真空系統(tǒng)密封性、設備連接狀態(tài),必要時重啟設備或聯(lián)系售后人員。

五、維護與保養(yǎng):定期檢查真空計的密封部件,若發(fā)現(xiàn)老化、破損應及時更換;使用一段時間后,可根據(jù)使用環(huán)境清潔真空計表面及接口部位,避免灰塵雜物影響測量精度。長期不使用時,應斷開電源,將真空計妥善放置在干燥、陰涼的環(huán)境中,避免重壓和碰撞。

上海雙旭ZDM-2電容薄膜真空計產(chǎn)品優(yōu)點

1. 高精度測量:采用電容薄膜傳感技術,能夠?qū)崿F(xiàn)寬量程內(nèi)的高精度真空度測量,測量誤差小,數(shù)據(jù)穩(wěn)定性強,可滿足科研、工業(yè)生產(chǎn)等多種場景下的精確測量需求。

2. 寬量程覆蓋:具備較寬的測量量程范圍,可從低真空到高真空環(huán)境進行連續(xù)測量,無需更換不同量程的真空計,減少設備投入和操作復雜度。

3. 抗干擾能力強:針對工業(yè)環(huán)境設計,具備良好的抗振動、抗電磁干擾性能,在復雜的生產(chǎn)車間或科研實驗環(huán)境中,仍能保持穩(wěn)定的測量效果,避免外界因素對數(shù)據(jù)準確性的影響。

4. 操作便捷:設備配備直觀的顯示屏和簡潔的操作按鍵,參數(shù)設置和數(shù)據(jù)讀取簡單易懂,即使是初次使用的操作人員也能快速上手,部分型號支持遠程數(shù)據(jù)傳輸與控制,進一步提升操作便利性。

5. 耐用性強:選用優(yōu)質(zhì)的材料制造,密封結構設計合理,能夠適應長期連續(xù)工作的需求,減少設備故障發(fā)生率,降低維護成本,延長設備使用壽命。

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