ZJ-14C 潘寧規(guī)（真空規(guī)管/電離規(guī)管）
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上海雙旭ZJ-14C潘寧規(guī)是一款適用于高真空測(cè)量的電離式真空規(guī)管，通過潘寧放電原理實(shí)現(xiàn)寬范圍真空度檢測(cè)，常配套真空計(jì)使用，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空熱處理等工業(yè)及科研領(lǐng)域。
核心產(chǎn)品參數(shù)：
- 測(cè)量范圍：1×10⁻¹ Pa ~ 1×10⁻⁵ Pa，覆蓋高真空區(qū)間核心檢測(cè)需求
- 規(guī)管類型：冷陰極電離規(guī)（潘寧規(guī)），無需加熱燈絲，適用于含少量腐蝕性氣體的真空環(huán)境
- 外形結(jié)構(gòu)：采用玻璃外殼封裝，標(biāo)準(zhǔn)金屬電極接口，安裝規(guī)格適配主流真空系統(tǒng)法蘭
- 工作電壓：配套真空計(jì)供電，典型工作電壓為直流2000V~3000V，放電電流范圍10μA~100μA
- 響應(yīng)時(shí)間：≤30s，可快速反饋真空度變化
- 使用壽命：在正常真空環(huán)境下，連續(xù)工作壽命≥10000小時(shí)
使用注意事項(xiàng)：
- 真空環(huán)境適配：需在系統(tǒng)真空度達(dá)到1×10⁻¹ Pa以下時(shí)開啟規(guī)管，避免低真空狀態(tài)下大電流放電損壞電極；禁止在大氣壓或粗真空環(huán)境下給規(guī)管加電。
- 氣體兼容性：雖適用于部分含微量腐蝕性氣體的環(huán)境，但禁止用于含大量活潑性氣體（如氯氣、氟氣）或易燃易爆氣體的真空系統(tǒng)，防止電極腐蝕或發(fā)生安全風(fēng)險(xiǎn)。
- 安裝規(guī)范：規(guī)管需垂直或水平安裝在真空系統(tǒng)的合理位置，避免靠近氣源或放氣量大的部件，連接接口需確保密封良好，防止漏氣影響測(cè)量精度。
- 清潔與維護(hù)：長期使用后若出現(xiàn)測(cè)量偏差增大，可在真空狀態(tài)下對(duì)規(guī)管進(jìn)行烘烤除氣（烘烤溫度≤150℃），禁止拆解規(guī)管內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
- 供電要求：必須使用原廠配套的真空計(jì)控制器，禁止隨意更改供電電壓或電流參數(shù)，防止規(guī)管過載燒毀。
- 存放條件：閑置時(shí)需保持規(guī)管內(nèi)部干燥，存放于常溫、干燥、無腐蝕性氣體的環(huán)境中，避免玻璃外殼碰撞碎裂。
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ZJ-14C 潘寧規(guī)（真空規(guī)管/電離規(guī)管）
上海雙旭ZJ-14C潘寧規(guī)（真空規(guī)管/電離規(guī)管）產(chǎn)品使用說明
一、安裝準(zhǔn)備
安裝前請(qǐng)確保工作環(huán)境無強(qiáng)電磁干擾、無劇烈振動(dòng)，且環(huán)境溫度處于-10℃~45℃范圍內(nèi)，相對(duì)濕度不超過80%。佩戴防靜電手套，避免規(guī)管表面沾染污漬或因靜電造成內(nèi)部元件損壞。檢查規(guī)管外觀，確認(rèn)無裂紋、變形等物理損傷，接口處螺紋完好無毛刺。
二、規(guī)管安裝
將ZJ-14C潘寧規(guī)通過標(biāo)準(zhǔn)螺紋接口與真空系統(tǒng)連接，連接時(shí)需在螺紋處涂抹真空密封脂，確保密封性能，旋緊力度適中，避免過度用力導(dǎo)致接口變形。規(guī)管安裝位置應(yīng)盡量靠近被測(cè)真空區(qū)域，且避免處于氣流直接沖擊的位置，以保證測(cè)量準(zhǔn)確性。安裝完成后，需對(duì)連接部位進(jìn)行檢漏，確認(rèn)無漏氣情況。
三、電氣連接
參照配套說明書，將規(guī)管的電源線、信號(hào)線與對(duì)應(yīng)的真空測(cè)量控制儀進(jìn)行連接，注意正負(fù)極區(qū)分，嚴(yán)禁接反。連接完成后，檢查線路是否牢固，避免松動(dòng)導(dǎo)致接觸不良。確�？刂苾x供電電壓符合規(guī)管要求，一般為220V交流電，電壓波動(dòng)需控制在±10%以內(nèi)。
四、開機(jī)與校準(zhǔn)
接通電源后，先預(yù)熱30分鐘，使規(guī)管內(nèi)部元件達(dá)到穩(wěn)定工作狀態(tài)。首次使用或長期停用后重新使用時(shí)，需進(jìn)行校準(zhǔn)操作：將真空系統(tǒng)抽至已知標(biāo)準(zhǔn)真空度，通過控制儀調(diào)整校準(zhǔn)參數(shù)，使規(guī)管顯示值與標(biāo)準(zhǔn)值一致。日常使用中，建議每3個(gè)月進(jìn)行一次校準(zhǔn)，以保證測(cè)量精度。
五、測(cè)量操作
預(yù)熱完成后，即可啟動(dòng)測(cè)量程序，規(guī)管將實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)真空系統(tǒng)內(nèi)的壓強(qiáng)值，并通過控制儀顯示出來。測(cè)量過程中，避免頻繁切換真空系統(tǒng)狀態(tài)，如突然放氣、抽氣等，以免影響測(cè)量穩(wěn)定性。若發(fā)現(xiàn)顯示值異常波動(dòng)，需檢查真空系統(tǒng)是否漏氣、規(guī)管是否受污染等情況。
六、維護(hù)與保養(yǎng)
定期檢查規(guī)管外觀及連接部位，清理表面灰塵，若發(fā)現(xiàn)接口密封脂老化，及時(shí)更換。當(dāng)規(guī)管測(cè)量精度下降或出現(xiàn)異常時(shí)，可對(duì)規(guī)管進(jìn)行清洗：將規(guī)管從系統(tǒng)中拆下，使用無水乙醇浸泡清洗內(nèi)部，晾干后重新安裝。嚴(yán)禁使用強(qiáng)酸、強(qiáng)堿等腐蝕性液體清洗。長期不使用時(shí)，需將規(guī)管從系統(tǒng)中拆下，密封保存于干燥、陰涼環(huán)境中。
七、注意事項(xiàng)
規(guī)管工作時(shí)內(nèi)部帶有高壓，嚴(yán)禁在通電狀態(tài)下拆卸或觸摸規(guī)管電極部分。避免規(guī)管接觸油污、水汽等污染物，以免影響電離效果。真空系統(tǒng)壓強(qiáng)高于10Pa時(shí)，請(qǐng)勿開啟規(guī)管測(cè)量，防止規(guī)管內(nèi)部元件損壞。
上海雙旭ZJ-14C潘寧規(guī)產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
一、寬量程測(cè)量
ZJ-14C潘寧規(guī)具備寬廣的測(cè)量范圍，可覆蓋10⁻¹~10⁻⁵Pa的真空區(qū)間，能夠滿足從低真空到高真空的多種場(chǎng)景測(cè)量需求，無需更換不同量程的規(guī)管，適配工業(yè)生產(chǎn)、科研實(shí)驗(yàn)等多種真空應(yīng)用場(chǎng)景。
二、高穩(wěn)定性與精度
采用優(yōu)質(zhì)的內(nèi)部電極結(jié)構(gòu)與精密的制造工藝，規(guī)管工作狀態(tài)穩(wěn)定，測(cè)量數(shù)據(jù)波動(dòng)小，長期使用仍能保持良好的一致性。其測(cè)量精度可達(dá)±10%，能夠?yàn)檎婵障到y(tǒng)提供準(zhǔn)確可靠的壓強(qiáng)數(shù)據(jù)，保障工藝過程的精準(zhǔn)控制。
三、抗污染能力強(qiáng)
針對(duì)真空系統(tǒng)中常見的油污、粉塵等污染物，ZJ-14C潘寧規(guī)設(shè)計(jì)了特殊的內(nèi)部防護(hù)結(jié)構(gòu)，降低污染物對(duì)電離過程的影響，即使在相對(duì)復(fù)雜的真空環(huán)境中，也能維持正常的測(cè)量性能，減少因污染導(dǎo)致的維護(hù)頻率。
四、耐用性突出
規(guī)管主體采用高強(qiáng)度耐高溫材料制作，能夠耐受真空系統(tǒng)中的溫度變化與一定程度的機(jī)械沖擊，延長使用壽命。合理的電路設(shè)計(jì)降低了元件損耗，減少故障發(fā)生率，降低長期使用成本。
五、適配性廣泛
采用標(biāo)準(zhǔn)螺紋接口，可與市場(chǎng)上大部分真空測(cè)量控制儀及真空系統(tǒng)兼容，安裝更換簡(jiǎn)便，無需額外定制適配部件。同時(shí)，規(guī)管的電氣參數(shù)符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，便于與現(xiàn)有設(shè)備集成，提升設(shè)備升級(jí)改造的便利性。 |
