ZJ-1P-12TBVMT 壓阻真空規(guī)（電容真空規(guī)）
上海雙旭 ZJ-1P-12TBVMT 壓阻/電容復(fù)合真空規(guī)
產(chǎn)品概述
ZJ-1P-12TBVMT 是一款由上海雙旭電子有限公司生產(chǎn)的復(fù)合型真空測量傳感器。它集成了壓阻式（Pirani）和電容薄膜式（Capacitance Manometer）兩種測量原理，能夠在從大氣壓到高真空的寬量程范圍內(nèi)提供精確、穩(wěn)定的壓力測量。該型號通常配備VMT接頭，適用于工業(yè)真空和科研領(lǐng)域。
核心產(chǎn)品參數(shù)
- 型號：ZJ-1P-12TBVMT
- 測量原理：壓阻（低真空段）與電容薄膜（中高真空段）復(fù)合
- 測量范圍：典型范圍 1.0×105 Pa ~ 1.0×10-1 Pa (760 Torr ~ 約10-3 Torr)，具體取決于傳感器配置
- 精度：電容段精度較高，通常可達讀數(shù)的0.25%或更高；壓阻段精度稍低，典型為讀數(shù)的1-3%。
- 輸出信號：通常為模擬信號（如0-10V DC）或RS485通訊接口，需配套控制器使用。
- 供電要求：由配套控制器或電源提供，常見為24V DC。
- 接液材料：傳感器膜片通常為不銹鋼或特殊合金，密封材料為氟橡膠或金屬密封。
- 過程連接：VMT快速接頭（或根據(jù)訂單指定的KF、CF法蘭）。
- 適用氣體：氮氣等效（對于電容規(guī)），對惰性氣體和干燥潔凈氣體測量準(zhǔn)確，對輕質(zhì)氣體（如H2、He）需修正。
使用注意事項
- 介質(zhì)兼容性：嚴禁測量腐蝕性、易燃易爆、強氧化性、導(dǎo)電性粉塵或會凝結(jié)在傳感器內(nèi)部的蒸汽。否則會導(dǎo)致傳感器永久損壞。
- 過壓保護：電容薄膜傳感器非常精密，絕對禁止超過其規(guī)定的最大耐受壓力（通常為大氣壓或稍高），否則會導(dǎo)致陶瓷或金屬膜片破裂。
- 清潔與安裝：安裝前確保真空系統(tǒng)管路清潔無污染。安裝時避免讓異物、油脂接觸傳感器膜片。對于VMT接頭，確�？ü堪惭b到位，密封圈完好。
- 供電與接線：務(wù)必在斷電情況下進行接線，并確保供電電壓與極性正確，錯誤的接線可能燒毀傳感器或控制器。
- 預(yù)熱與校準(zhǔn)：通電后需要一定的預(yù)熱時間（通常30分鐘以上）以達到最佳穩(wěn)定性。電容規(guī)需定期進行零點校準(zhǔn)，以消除漂移影響。
- 環(huán)境條件：避免在強電磁干擾、劇烈振動、溫度急劇變化或冷凝可能發(fā)生的環(huán)境中使用。
- 系統(tǒng)操作：在向真空腔體充入大氣時，應(yīng)緩慢進行，避免氣流直接沖擊傳感器膜片造成過壓或損壞。
- 維護：非專業(yè)人員請勿嘗試拆卸傳感器。如被污染，需由廠家或?qū)I(yè)人員進行清潔處理。
典型應(yīng)用
廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體工藝、真空冶金、加速器、空間模擬、冷凍干燥、科研實驗等需要寬量程、高可靠性真空度監(jiān)測的場合。
注：以上信息基于該系列產(chǎn)品的通用技術(shù)特征。具體技術(shù)指標(biāo)、接口和性能請務(wù)必以上海雙旭電子有限公司提供的官方產(chǎn)品說明書為準(zhǔn)。
ZJ-1P-12TBVMT 壓阻真空規(guī)（電容真空規(guī)）
上海雙旭 ZJ-1P-12TBVMT 壓阻真空規(guī)（電容真空規(guī)）使用說明
安裝： 將規(guī)管通過標(biāo)準(zhǔn)KF16或CF35法蘭垂直或水平安裝于真空系統(tǒng)，確保密封墊圈完好。電氣接口為D-sub 9針，連接至匹配控制器，供電電壓為+15V至+24V DC，最大功耗2W。
操作： 接通電源后，規(guī)管自動開始測量。輸出信號為0-10V線性對應(yīng)1×10⁻⁵ Torr至1000 Torr范圍（默認氮氣校準(zhǔn)）。如需調(diào)整零點，在1×10⁻⁵ Torr以下真空環(huán)境下用控制器調(diào)零電位器；量程校準(zhǔn)需在760 Torr大氣壓下進行（注意：避免在高壓下頻繁操作）。
維護： 避免接觸腐蝕性氣體和顆粒物。長期使用后若出現(xiàn)漂移，用無水乙醇清潔膜片表面并重新校準(zhǔn)。存儲溫度：-20°C至70°C。
主要優(yōu)點
- 高精度與重復(fù)性： 采用硅壓阻式MEMS傳感器，全量程精度±0.15%讀數(shù)，重復(fù)性±0.05%，優(yōu)于傳統(tǒng)熱電偶規(guī)。
- 寬量程： 從1×10⁻⁵ Torr到1000 Torr，覆蓋高真空到大氣壓，無需切換規(guī)管。
- 耐腐蝕與沖擊： 不銹鋼膜片及陶瓷基板，耐受200°C烘烤，抗振動5g RMS。
- 抗污染： 電容式結(jié)構(gòu)不受油蒸氣、水汽影響，無需定期更換燈絲。
- 快速響應(yīng)： 壓力變化10%時響應(yīng)時間小于10ms，適合過程控制。
|
