ZJ-14 冷陰極電離規(guī)（真空規(guī)管）
上海雙旭 ZJ-14 冷陰極電離規(guī)（真空規(guī)管）介紹
產(chǎn)品參數(shù)
- 型號：ZJ-14
- 測量范圍：1×10⁻² Pa ～ 1×10⁻⁹ Pa（可擴(kuò)展至更高極限）
- 工作電壓：DC 0～±24V（根據(jù)控制器匹配）
- 啟動(dòng)壓力：≤1×10⁻¹ Pa（冷陰極需預(yù)抽至可啟輝壓力）
- 發(fā)射電流：微安級（內(nèi)部自動(dòng)穩(wěn)定控制）
- 規(guī)管結(jié)構(gòu)：冷陰極磁控放電式，無熱燈絲，抗污染能力強(qiáng)
- 耐壓強(qiáng)度：殼體與真空系統(tǒng)間耐壓≥1500V DC
- 材料：不銹鋼殼體，陶瓷絕緣件，耐高溫、耐腐蝕
- 接口形式：CF16/CF25/CF35（可根據(jù)需求定制法蘭）
- 工作溫度：-20℃ ～ +80℃
- 壽命：正常使用≥10000小時(shí)（視工況而定）
- 重量：約200g～350g（依接口尺寸不同）
產(chǎn)品概述
ZJ-14冷陰極電離規(guī)由上海雙旭研制，采用磁增強(qiáng)冷陰極放電原理，無需加熱燈絲，避免了傳統(tǒng)熱陰極規(guī)在高壓強(qiáng)或污染環(huán)境下易燒毀的問題。適用于高真空及超高真空系統(tǒng)的殘余氣體壓力監(jiān)測，可在分子流區(qū)穩(wěn)定工作，廣泛用于半導(dǎo)體、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。
冷陰極結(jié)構(gòu)使規(guī)管對油蒸氣、粉塵等污染物耐受性優(yōu)于熱規(guī)，維護(hù)周期長，適合連續(xù)運(yùn)行。ZJ-14可與多種真空計(jì)控制器匹配，實(shí)現(xiàn)線性信號輸出和數(shù)字化顯示。
工作原理
在軸向磁場與徑向電場作用下，規(guī)管內(nèi)少量殘余氣體發(fā)生潘寧放電，產(chǎn)生穩(wěn)定的離子流，離子流大小與氣體壓力呈函數(shù)關(guān)系。通過檢測離子流并經(jīng)控制器電路換算，即可得到真空度讀數(shù)。冷陰極無需預(yù)熱，啟動(dòng)速度快，但需在足夠低的壓力下才能起輝。
使用注意事項(xiàng)
- 啟動(dòng)前確保系統(tǒng)真空度≤1×10⁻¹ Pa，否則無法啟輝，強(qiáng)行加高壓可能損壞規(guī)管。
- 嚴(yán)禁在高壓強(qiáng)（>1×10⁻¹ Pa）狀態(tài)下長時(shí)間施加工作電壓，避免電極濺射污染。
- 規(guī)管安裝應(yīng)避免機(jī)械沖擊與振動(dòng)，防止磁鋼退磁或內(nèi)部結(jié)構(gòu)位移。
- 不可在含大量可凝性蒸汽（如水、油蒸氣）環(huán)境中長期工作，凝結(jié)物會降低絕緣并導(dǎo)致放電不穩(wěn)。
- 規(guī)管與真空系統(tǒng)連接須保證密封可靠，法蘭清潔無劃傷，安裝扭矩按標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。
- 禁止拆解規(guī)管，內(nèi)部高電壓與強(qiáng)磁場危險(xiǎn)，僅可由專業(yè)人員更換。
- 若長期停用，應(yīng)在真空保護(hù)狀態(tài)下存放，防止潮氣進(jìn)入影響絕緣性能。
- 定期用已知校準(zhǔn)源或比對法檢驗(yàn)規(guī)管讀數(shù)的準(zhǔn)確性，異常偏差需及時(shí)更換。
- 控制器與規(guī)管阻抗必須匹配，錯(cuò)誤匹配會導(dǎo)致信號失真或規(guī)管過載。
ZJ-14 冷陰極電離規(guī)（真空規(guī)管）
上海雙旭ZJ-14 冷陰極電離規(guī)（真空規(guī)管）產(chǎn)品使用說明
1. 安裝前檢查： 確認(rèn)規(guī)管玻璃外殼無裂紋或破損，電極未變形。使用前用無水乙醇或丙酮清潔連接法蘭表面，確保密封性。
2. 安裝步驟： 將ZJ-14規(guī)管通過KF16或CF35法蘭連接到真空系統(tǒng)，確保O型密封圈或金屬墊圈就位，螺栓對角均勻擰緊，扭矩不超過規(guī)定值（通常為5-8 Nm）。
3. 電氣連接： 使用配套同軸電纜連接規(guī)管至真空計(jì)控制器，注意接地端優(yōu)先連接。檢查電極極性（陽極接高壓，陰極接地），避免接反。
4. 操作流程： 先啟動(dòng)真空系統(tǒng)抽空至粗真空（<10Pa），再開啟電離規(guī)電源。建議預(yù)熱5分鐘至穩(wěn)定讀數(shù)，避免在高氣壓下直接啟動(dòng)以防電極污染。
5. 量程與維護(hù)： 測量范圍1×10⁻¹ Pa至1×10⁻⁵ Pa。定期用標(biāo)準(zhǔn)參考規(guī)管校準(zhǔn)（建議每6個(gè)月一次），如出現(xiàn)讀數(shù)漂移或打火，用去離子水超聲清洗后烘干。
主要優(yōu)點(diǎn)
高靈敏度： 采用冷陰極放電原理，電子軌跡長且電離效率高，可檢測極低氣壓，在1×10⁻⁵ Pa下仍穩(wěn)定工作。
長壽命： 無熱絲結(jié)構(gòu)，從根本上避免了燒斷或蒸發(fā)污染問題，適合長期連續(xù)運(yùn)行，典型壽命超過3萬小時(shí)。
抗腐蝕與污染： 不銹鋼電極和硼硅玻璃外殼耐耐酸性氣體、水蒸氣及有機(jī)蒸氣，不易受化學(xué)侵蝕，清潔后恢復(fù)性強(qiáng)。
快速響應(yīng)： 氣體暴露后響應(yīng)時(shí)間小于1秒，適用于動(dòng)態(tài)真空系統(tǒng)或快速變化的壓力環(huán)境。
通用性： 符合標(biāo)準(zhǔn)KF/CF法蘭接口，可替代同類型進(jìn)口規(guī)管（如Edwards CP25），兼容大多數(shù)真空計(jì)控制器。
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