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ZDV-IC 冷陰極電離真空計(超高真空計) 
產(chǎn)品名稱: ZDV-IC 冷陰極電離真空計(超高真空計)
產(chǎn)品型號: shaungxu
產(chǎn)品報價:
 
   
 產(chǎn)品詳細:

ZDV-IC 冷陰極電離真空計(超高真空計)

 

上海雙旭 ZDV-IC 冷陰極電離真空計(超高真空計)介紹

產(chǎn)品概述:ZDV-IC 為上海雙旭電子有限公司研制的冷陰極電離真空計,專用于測量超高真空環(huán)境(10⁻³ ~ 10⁻¹⁰ Pa),采用無熱陰極結構,避免燈絲燒毀風險,適合長期連續(xù)運行及惡劣工況下的真空監(jiān)測。

產(chǎn)品參數(shù)

  • 測量范圍:1×10⁻³ Pa ~ 1×10⁻¹⁰ Pa(分段線性/對數(shù)輸出)
  • 工作電壓:DC ±15V(控制與供電一體),功耗 ≤5W
  • 發(fā)射電流:0.5~5 mA(可調(diào))
  • 響應時間:≤200 ms(滿量程切換)
  • 輸出信號:0~10V 模擬量 / RS485 數(shù)字通信(可選)
  • 耐壓能力:傳感器可短時承受 1×10⁻² Pa 大氣沖擊(≤10秒)
  • 工作溫度:傳感器 -20℃ ~ +80℃,控制器 0℃ ~ +50℃
  • 預熱時間:≤30 min(達到穩(wěn)定讀數(shù))
  • 安裝接口:CF16 / KF25 / DN16 ISO-KF(可選法蘭)
  • 尺寸重量:傳感器 φ28×120 mm,約 150 g;控制器 160×100×60 mm,約 500 g

功能特點

冷陰極無燈絲設計,壽命長、抗污染能力強;高靈敏度電離室配合自動零點抑制,低真空段亦能精準測量;內(nèi)置過壓保護與自診斷,異常狀態(tài)自動報警;支持多通道擴展與遠程監(jiān)控,適配真空系統(tǒng)自動化集成。

使用注意事項

  • 嚴禁在壓力 ≥1×10⁻² Pa(接近大氣壓)狀態(tài)下長時間通電,否則會導致離子流過載損壞傳感器。
  • 首次安裝或長期停用后啟用,需按規(guī)程預熱≥30分鐘,確保讀數(shù)穩(wěn)定后方可記錄數(shù)據(jù)。
  • 被測氣體含油蒸氣、粉塵或腐蝕性成分時,應在真空計前端加裝冷阱或過濾裝置,防止污染電離室。
  • 避免機械振動與強磁場干擾,傳感器引線須屏蔽并遠離大功率設備。
  • 定期校準(建議每12個月一次),尤其在高精度測量或關鍵工藝環(huán)節(jié)前。
  • 斷電前若系統(tǒng)處于高真空,應先關閉電離計電源再放氣,防止瞬時沖擊。
  • 控制器應避免潮濕與灰塵侵入,保持通風良好,防止過熱。

典型應用

半導體薄膜沉積、粒子加速器真空系統(tǒng)、表面分析儀器(XPS/AES)、空間模擬艙、科研級超高真空實驗平臺等對真空度穩(wěn)定性與測量可靠性要求極高的場合。

ZDV-IC 冷陰極電離真空計(超高真空計)

 

上海雙旭 ZDV-IC 冷陰極電離真空計(超高真空計)產(chǎn)品使用說明

1. 安裝與連接:將真空計通過標準KF或CF法蘭接口牢固安裝在真空系統(tǒng)上,確保密封無泄漏。連接電源線(220V AC,50Hz)和信號輸出線(如RS485或模擬輸出),注意極性正確,避免短路。

2. 啟動操作:首次使用前,確認真空系統(tǒng)壓力低于10⁻² Pa,否則高電壓放電可能損壞電極。按下電源開關,等待儀器自檢(約10秒),顯示屏顯示當前壓力值。若未顯示,檢查連接或電壓。

3. 測量與范圍:ZDV-IC 適用于10⁻¹ Pa 至 10⁻⁷ Pa 的真空度測量,超出范圍(如高氣壓時)自動報警并切斷高壓以防過載。讀取數(shù)據(jù)時,注意環(huán)境溫度(0-40°C)和磁場干擾,避免影響精度。

4. 校準與維護:儀器出廠時已校準,但建議每年或更換電極后返廠校準。日常使用中,定期檢查電極是否污染,用無水乙醇清潔表面(斷電后操作)。若測量漂移顯著,需更換冷陰極單元。

5. 安全與關機:操作時避免觸碰高壓端子(最高3kV),關機前先關斷高壓(如有獨立開關),再切斷總電源。長期閑置時,存放于干燥環(huán)境。

上海雙旭 ZDV-IC 冷陰極電離真空計 優(yōu)點

1. 超高測量范圍:覆蓋從10⁻¹ Pa到10⁻⁷ Pa的寬真空度區(qū)間,尤其適用于超高真空環(huán)境,無需像熱陰極計那樣對低真空敏感。

2. 長壽命與低維護:采用冷陰極電離原理,無燈絲燒毀風險,電極壽命超過20,000小時,顯著減少更換頻率和停機成本。適合苛刻的工業(yè)或科研場景。

3. 高精度與穩(wěn)定性:內(nèi)置微處理器和溫度補償電路,測量誤差≤±15%(讀數(shù)),重復性優(yōu)異。信號輸出線性度良好,可集成到自動控制系統(tǒng)中。

4. 緊湊與耐震動:機身緊湊(約150mm高),抗震動和沖擊設計,適合安裝在移動設備或振動環(huán)境中。無移動部件,可靠性高。

5. 智能報警與通訊:支持預設上下限報警,自動回應過壓或故障狀態(tài)?蛇x配RS485接口,實現(xiàn)遠程監(jiān)控和數(shù)據(jù)記錄,提升操作效率。

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