上海雙旭ZDF-X-LED雙電阻單電離復(fù)合真空計(jì)測量儀
核心產(chǎn)品參數(shù)
ZDF-X-LED是一款集成雙電阻規(guī)與單電離規(guī)的復(fù)合真空測量儀器，可覆蓋從低真空到高真空的寬量程測量需求，參數(shù)如下：
- 測量量程：電阻規(guī)1（粗低真空）1×10⁵ Pa~1×10⁻¹ Pa；電阻規(guī)2（低真空）1×10⁻¹ Pa~1×10⁻³ Pa；電離規(guī)（高真空）1×10⁻³ Pa~1×10⁻⁸ Pa
- 顯示方式：LED數(shù)碼管數(shù)字顯示，清晰直觀，支持量程自動(dòng)切換顯示
- 規(guī)管配置：標(biāo)配雙電阻規(guī)管（如ZJ-52T型）+ 單電離規(guī)管（如ZJ-27型），可兼容同類型標(biāo)準(zhǔn)規(guī)管
- 測量精度：電阻規(guī)±10%，電離規(guī)±15%（滿量程范圍內(nèi)）
- 控制功能：具備過壓保護(hù)、規(guī)管失效報(bào)警、燈絲狀態(tài)指示，支持手動(dòng)/自動(dòng)量程切換
- 供電要求：AC 220V±10%，50Hz，功率≤30W
- 工作環(huán)境：溫度0℃~40℃，相對濕度≤80%（無冷凝）
- 外形尺寸：嵌入式安裝尺寸160mm×80mm×200mm（寬×高×深），適配標(biāo)準(zhǔn)機(jī)柜開孔
產(chǎn)品核心特點(diǎn)
作為復(fù)合式真空測量設(shè)備，ZDF-X-LED兼顧寬量程覆蓋與測量穩(wěn)定性，適用于真空鍍膜、真空熱處理、半導(dǎo)體制造等場景：
1. 多量程復(fù)合設(shè)計(jì)，一臺設(shè)備即可完成從大氣環(huán)境到高真空的連續(xù)測量，無需更換儀器，簡化真空系統(tǒng)配置；
2. LED數(shù)碼管顯示在工業(yè)環(huán)境中具備良好的可視性，即使在強(qiáng)光或遠(yuǎn)距離下也能清晰讀取數(shù)值；
3. 內(nèi)置多重保護(hù)機(jī)制，規(guī)管過流、過壓時(shí)自動(dòng)切斷供電，有效延長規(guī)管使用壽命，保障設(shè)備安全；
4. 模塊化規(guī)管接口，支持快速更換規(guī)管，維護(hù)便捷，適配不同真空工藝的測量需求。
使用注意事項(xiàng)
為確保測量準(zhǔn)確性與設(shè)備使用壽命，使用過程中需注意以下要點(diǎn)：
1. 規(guī)管安裝與檢漏：規(guī)管需垂直安裝于真空系統(tǒng)的高真空區(qū)域，避免靠近氣源或放氣部件；安裝后需先對系統(tǒng)檢漏，確保真空密封良好，嚴(yán)禁在大氣狀態(tài)下開啟電離規(guī)燈絲。
2. 燈絲使用規(guī)范：電離規(guī)燈絲僅在系統(tǒng)真空度達(dá)到1×10⁻² Pa以下時(shí)方可開啟，避免燈絲在高氣壓下氧化燒斷；長期不使用時(shí)需關(guān)閉燈絲供電。
3. 校準(zhǔn)要求：新設(shè)備啟用或每使用12個(gè)月后，需使用標(biāo)準(zhǔn)真空校準(zhǔn)裝置進(jìn)行精度校準(zhǔn)，避免因規(guī)管老化導(dǎo)致測量誤差。
4. 環(huán)境防護(hù)：設(shè)備需安裝在無腐蝕性氣體、無強(qiáng)電磁干擾的環(huán)境中，避免與大功率設(shè)備共用同一供電回路，必要時(shí)加裝電源濾波器。
5. 日常維護(hù)：定期檢查規(guī)管接口密封性，清潔規(guī)管內(nèi)壁（電離規(guī)管可通過電子轟擊除氣）；若出現(xiàn)測量值異常波動(dòng)，先排查規(guī)管連接線路，再更換規(guī)管測試。
6. 操作順序：真空系統(tǒng)啟動(dòng)時(shí)，先開啟電阻規(guī)測量，待真空度達(dá)標(biāo)后再開啟電離規(guī)；停機(jī)時(shí)需先關(guān)閉電離規(guī)燈絲，再關(guān)閉設(shè)備供電，最后對系統(tǒng)破真空。
