ZJ-1C 壓阻真空規(guī)(電容真空規(guī))
上海雙旭ZJ-1C壓阻真空規(guī)(電容真空規(guī))
一、核心產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)類別 |
具體參數(shù) |
| 測(cè)量范圍 |
1.0×10⁵ Pa ~ 1.0×10⁻¹ Pa |
| 測(cè)量精度 |
±10%(滿量程) |
| 供電電壓 |
DC 24V ± 10% |
| 輸出信號(hào) |
DC 0~10V 或 4~20mA(可選) |
| 工作溫度 |
-10℃ ~ +50℃ |
| 連接方式 |
KF16 法蘭連接(可定制其他接口) |
| 響應(yīng)時(shí)間 |
≤1s(壓力變化階躍響應(yīng)) |
| 規(guī)管材質(zhì) |
不銹鋼(304/316L 可選) |
| 防護(hù)等級(jí) |
IP54 |
二、產(chǎn)品概述
上海雙旭ZJ-1C壓阻真空規(guī)是一款基于壓阻式傳感原理的真空測(cè)量?jī)x表,也常被稱為電容真空規(guī),主要用于工業(yè)真空系統(tǒng)、真空鍍膜設(shè)備、真空熱處理爐等場(chǎng)景的壓力監(jiān)測(cè)。
該規(guī)管采用高精度壓阻式傳感器,結(jié)合專用信號(hào)處理電路,能夠在寬量程內(nèi)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定、準(zhǔn)確的真空度測(cè)量,輸出信號(hào)可直接對(duì)接PLC、DCS等控制系統(tǒng),滿足自動(dòng)化生產(chǎn)的監(jiān)測(cè)需求。
三、使用注意事項(xiàng)
1. 安裝環(huán)境:規(guī)管應(yīng)安裝在無(wú)劇烈振動(dòng)、無(wú)強(qiáng)電磁干擾的環(huán)境中,避免直接接觸腐蝕性氣體或液體,安裝位置需便于后期維護(hù)與校準(zhǔn)。
2. 開(kāi)機(jī)預(yù)熱:設(shè)備首次開(kāi)機(jī)或長(zhǎng)時(shí)間停機(jī)后重啟,需預(yù)熱30分鐘以上,待傳感器穩(wěn)定后再進(jìn)行正式測(cè)量,確保數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。
3. 校準(zhǔn)周期:建議每6個(gè)月進(jìn)行一次精度校準(zhǔn),可采用標(biāo)準(zhǔn)真空源比對(duì)法,校準(zhǔn)過(guò)程需嚴(yán)格按照操作手冊(cè)執(zhí)行。
4. 供電要求:需確保供電電壓穩(wěn)定在DC24V±10%范圍內(nèi),避免電壓波動(dòng)導(dǎo)致測(cè)量數(shù)據(jù)異常,必要時(shí)可加裝穩(wěn)壓電源。
5. 清潔維護(hù):若規(guī)管進(jìn)氣口出現(xiàn)油污或雜質(zhì)堵塞,需停機(jī)后用無(wú)水乙醇小心清潔,禁止使用尖銳物體刮擦傳感部件。
6. 超量程使用:禁止在超過(guò)測(cè)量上限(1.0×10⁵ Pa)或下限(1.0×10⁻¹ Pa)的環(huán)境中使用,否則可能造成傳感器永久損壞。
7. 接線規(guī)范:輸出信號(hào)接線需與強(qiáng)電線路分開(kāi)布置,避免信號(hào)干擾,接線完成后需檢查接線牢固性,防止虛接引發(fā)數(shù)據(jù)跳變。
四、適用場(chǎng)景
廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、真空干燥、真空包裝、半導(dǎo)體制造、實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)等領(lǐng)域,為各類真空工藝提供可靠的壓力監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù),保障工藝穩(wěn)定性與產(chǎn)品質(zhì)量。
ZJ-1C 壓阻真空規(guī)(電容真空規(guī))
上海雙旭ZJ-1C壓阻真空規(guī)(電容真空規(guī))使用說(shuō)明
安裝與連接:確保真空規(guī)接口與真空系統(tǒng)匹配(通常為KF16或CF35法蘭)。使用前檢查密封圈是否完好,避免漏氣。將規(guī)管連接至控制器(推薦上海雙旭配套儀表),并接通電源(直流24V或標(biāo)準(zhǔn)供電模塊)。注意:嚴(yán)禁在帶電狀態(tài)下插拔連接器。
操作步驟:開(kāi)啟電源后,等待至少30秒預(yù)熱,使內(nèi)部傳感器穩(wěn)定。在常壓環(huán)境下(大氣壓約101.3 kPa)進(jìn)行零點(diǎn)校準(zhǔn):通過(guò)控制器面板上的“ZERO”按鈕或外接校準(zhǔn)接口,輸出歸零信號(hào)。隨后關(guān)閉系統(tǒng)至目標(biāo)真空度,讀取電壓信號(hào)(0-10V線性對(duì)應(yīng)0-1000 Torr或定制量程)。
維護(hù)與注意事項(xiàng):避免暴露于高濕度或腐蝕性氣體中,否則會(huì)損壞壓阻芯片。長(zhǎng)期不用時(shí)建議保持真空狀態(tài)或干燥儲(chǔ)存。定期檢查膜片是否變形(可目視觀察外殼頂部鉑金絲)。溫度波動(dòng)影響精度,推薦在15-35°C環(huán)境使用,超出范圍需進(jìn)行溫度補(bǔ)償計(jì)算。
主要優(yōu)點(diǎn)
高精度與重復(fù)性:采用壓阻式壓力傳感技術(shù),膜片直接感受氣體壓力,無(wú)阻尼腔體,響應(yīng)快。測(cè)量誤差低于±0.5%滿量程,重復(fù)性優(yōu)于±0.2%,適合苛刻的真空控制要求。
寬量程與線性輸出:標(biāo)準(zhǔn)量程覆蓋1×10⁻³ Torr至1000 Torr(可選定制),輸出0-10V線性模擬信號(hào),與主流PLC或數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)直連,無(wú)需換算出壓比。
堅(jiān)固與長(zhǎng)壽命:不銹鋼外殼與硅基壓阻芯片,抗過(guò)載能力可達(dá)10倍滿量程。無(wú)活動(dòng)機(jī)械部件,防震性能優(yōu)異,適用于頻繁啟動(dòng)的系統(tǒng)。平均無(wú)故障時(shí)間(MTBF)超過(guò)50,000小時(shí)。
低維護(hù)與易集成:無(wú)需定期加油或替換真空泵油,免排氣設(shè)計(jì)。整體重量輕(<200g),體積緊湊,方便用于高密度安裝或便攜式設(shè)備。 |