ZJ-2 電離規(guī)管（真空規(guī)管）
上海雙旭 ZJ-2 電離規(guī)管（真空規(guī)管）介紹
產(chǎn)品概述：ZJ-2 電離規(guī)管為熱陰極電離式真空測量器件，適用于高真空及超高真空范圍的壓力檢測。基于電子碰撞氣體分子產(chǎn)生離子電流的原理，將氣體壓力線性轉(zhuǎn)換為電流信號(hào)，廣泛用于科研、半導(dǎo)體制造、真空爐、鍍膜設(shè)備等需要精確真空監(jiān)控的場合。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量范圍：1×10⁻¹ Pa ~ 1×10⁻⁵ Pa（部分工況可擴(kuò)展至 1×10⁻⁶ Pa）
- 工作電壓：加熱燈絲 DC 6.3 V / AC 6.3 V（可調(diào)），收集極與柵極高壓 DC 0~+1000 V（常用 +200 V 柵極，+25 V 收集極）
- 發(fā)射電流：典型 5 mA（可調(diào)范圍 1~10 mA）
- 靈敏度：約 0.15~0.2 Pa⁻¹（N₂ 標(biāo)定）
- 零點(diǎn)漂移：≤±2%（8 h 連續(xù)工作）
- 重復(fù)性誤差：≤±5% FS
- 響應(yīng)時(shí)間：≤1 s（從大氣壓到 1×10⁻³ Pa）
- 工作溫度：-20℃ ~ +50℃（環(huán)境），規(guī)管內(nèi)烘烤 ≤450℃（需拆下防護(hù)罩）
- 耐壓：外殼與真空系統(tǒng)耐壓 ≥1×10⁵ Pa（大氣端）
- 材質(zhì)：玻璃或金屬殼體可選，電極材料鎢/鉬，引線陶瓷絕緣
- 接口：CF16、KF16、Φ15 等法蘭或螺紋可選
使用注意事項(xiàng)
- 嚴(yán)禁在高壓、強(qiáng)磁場、強(qiáng)輻射環(huán)境下使用，避免干擾電子軌跡及離子收集。
- 禁止在粗真空或大氣壓狀態(tài)下長時(shí)間通電加熱燈絲，否則會(huì)迅速燒毀燈絲；應(yīng)在系統(tǒng)壓力進(jìn)入 1×10⁻¹ Pa 以下再開啟電離規(guī)電源。
- 規(guī)管安裝須保證密封可靠，防止漏氣導(dǎo)致測量失準(zhǔn)或污染內(nèi)部電極。
- 避免暴露于油蒸氣、腐蝕性氣體及顆粒污染物，此類介質(zhì)會(huì)毒化燈絲或污染電極，降低靈敏度甚至失效。
- 更換或維護(hù)前必須斷電并充分放氣，防止殘余高壓電擊及燈絲遇空氣氧化。
- 烘烤系統(tǒng)時(shí)需按規(guī)格書規(guī)定溫度與時(shí)間操作，超溫會(huì)導(dǎo)致玻璃殼破裂或金屬變形，且燈絲材料退火失去發(fā)射能力。
- 長期停用應(yīng)存放在干燥無塵環(huán)境，建議取出電池類輔助供電模塊，防止漏液腐蝕。
- 規(guī)管校準(zhǔn)周期視使用頻率與環(huán)境而定，推薦每 12 個(gè)月或在精度明顯下降時(shí)重新標(biāo)定。
- 不同氣體靈敏度差異明顯，用于非 N₂ 氣體時(shí)應(yīng)進(jìn)行換算或使用專用修正系數(shù)。
特點(diǎn)與應(yīng)用
ZJ-2 電離規(guī)管結(jié)構(gòu)緊湊、響應(yīng)快、穩(wěn)定性好，適配多數(shù)國產(chǎn)及進(jìn)口真空計(jì)控制器。適合作為主測或輔助測點(diǎn)在高真空階段提供精確讀數(shù)，配合皮拉尼或電容薄膜規(guī)實(shí)現(xiàn)全量程覆蓋。典型應(yīng)用包括分子泵組真空監(jiān)控、電子束蒸發(fā)臺(tái)、磁控濺射設(shè)備、粒子加速器真空段以及高真空熱處理爐。
ZJ-2 電離規(guī)管（真空規(guī)管）
ZJ-2 電離規(guī)管使用說明
安裝與連接：將ZJ-2規(guī)管通過標(biāo)準(zhǔn)KF或CF法蘭安裝到真空系統(tǒng)，確保密封良好且無油污。連接電離真空計(jì)控制器時(shí)，使用專用屏蔽電纜，避免信號(hào)干擾，并確認(rèn)電極觸點(diǎn)（燈絲、收集極、加速極）接觸可靠。
開機(jī)與操作：在系統(tǒng)真空度達(dá)到10⁻¹ Pa以下時(shí)開啟規(guī)管（避免燈絲氧化燒毀）。打開控制器，預(yù)熱5分鐘以穩(wěn)定熱陰極發(fā)射電流。設(shè)置測量范圍，通常為10⁻¹ ~ 10⁻⁶ Pa；讀取數(shù)字表頭或模擬指針數(shù)值時(shí)，需排除因氣體成分變化導(dǎo)致的微小誤差。測量結(jié)束后，先關(guān)閉規(guī)管電源，再放氣或停泵。
維護(hù)與故障排除：定期清洗規(guī)管外殼（僅用無水乙醇），避免有機(jī)物污染影響測量精度。若讀數(shù)不穩(wěn)定，檢查接地是否良好或燈絲是否老化（壽命約3000小時(shí)）。如果燈絲斷裂，更換同規(guī)格鎢絲；若收集極短路，需專業(yè)處理。嚴(yán)禁在真空度高于1 Pa時(shí)強(qiáng)行啟動(dòng)
核心優(yōu)點(diǎn)
高精度與寬量程：基于熱陰極電離原理，可精確測量10⁻¹至10⁻⁶ Pa的超高真空范圍，線性度優(yōu)于±5%，重復(fù)性高，適合半導(dǎo)體鍍膜、表面分析等關(guān)鍵工藝。
快速響應(yīng)與穩(wěn)定性：燈絲熱慣性小，反應(yīng)時(shí)間＜2秒，能實(shí)時(shí)追蹤真空變化�？刮廴灸芰�(qiáng)（柵極鍍金），在油蒸汽或殘余水汽環(huán)境下仍保持低漂移，減少校準(zhǔn)頻率。
堅(jiān)固耐用與經(jīng)濟(jì)性：采用金屬-陶瓷密封結(jié)構(gòu)，耐熱沖擊（200°C烘烤除氣）且抗機(jī)械振動(dòng)。單次采購成本低于同精度進(jìn)口規(guī)管，燈絲更換簡便；通用接口兼容國內(nèi)外主流電離計(jì)，降低后期維護(hù)成本。 |
